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本发明的一些实施例提供生物传感器装置及其形成方法。腔室形成于衬底中且经配置以接纳一或多个带电分子。晶体管形成于所述衬底中且包括在横向方向上与所述腔室空间分离的源极区域、漏极区域及沟道区域。所述晶体管的栅极放置于所述腔室下方且延伸于所述腔室与...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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