一种晶片传输系统技术方案

本发明专利技术公开了一种晶片传输系统，包括：加载腔室，呈长方体状，并在一侧设有开口；伸缩导向机构，安装在所述加载腔内，包括纵移导向装置和横移导向装置，其中所述横移导向装置以可移动的方式安装在所述纵移导向装置上，所述纵移导向装置安装固定在所述加载腔室中；机械手，为平板状，一端设有凹槽用于放置晶片，另一端安装在所述横移导向装置上,整体可从所述加载腔的开口处伸出；伸缩驱动机构，与所述横移导向装置相连接，带动所述机械手进行伸缩运动，从所述加载腔的开口处伸出或回收；伸缩限位机构，安装在所述伸缩驱动机构上，对所述机械手的初始位置和终点位置进行限制。进一步地，本发明专利技术还包括升降导向机构和升降驱动机构，可以实现对晶片的升降传输。

A type of chip transmission system

The invention discloses a wafer transmission system comprises a loading chamber, a cuboid shape, and one side is provided with an opening; the telescopic guide mechanism is arranged on the loading chamber, including vertical guide device and a sliding guide device, wherein the sliding guide device is movably mounted on the moving guide the longitudinal device, the vertical guide device is installed on the loading chamber; manipulator is flat, end is provided with a groove for placing the wafer, the other end is arranged on the sliding guide device, the whole can extend from the opening of the loading chamber; a telescopic driving mechanism, which is connected with the transverse guiding device, drive the manipulator telescopic movement, from the opening of the extended or loaded cavity expansion recovery; limiting mechanism, install the driver on the telescopic mechanism of the machine. The initial position and terminal position of the arms are restricted. Further, the invention also includes the lifting and guiding mechanism and the lifting and driving mechanism, which can carry out the transfer of the chip.

【技术实现步骤摘要】
一种晶片传输系统
本专利技术涉及半导体设备领域，具体涉及一种晶片传输系统。
技术介绍
在半导体工艺制程中经常会用到有毒或者危险气体，如硅烷(SiH4)和氨(NH3)等等。同时随着半导体制程精密度和要求的不断提高，晶片对颗粒和其他污染物越来越敏感，因此在高效率的半导体制造设备中需要一种大气或者真空下的晶片传输系统，以防止由小颗粒引起的污染和反应区域的有毒有害气体泄漏。与此同时在某些低成本单晶片制程设备中，除了在水平面内搬运晶片，还需要将晶片抬高或者降低一定位置。
技术实现思路
为了解决上述问题，本专利技术公开一种晶片传输系统，包括：加载腔室，呈长方体状，并在一侧设有开口；伸缩导向机构，安装在所述加载腔内，包括纵移导向装置和横移导向装置，其中所述横移导向装置以可移动的方式安装在所述纵移导向装置上，所述纵移导向装置安装固定在所述加载腔室中；机械手，为平板状，一端设有凹槽用于放置晶片，另一端安装在所述横移导向装置上,整体可从所述加载腔的开口处伸出；伸缩驱动机构，与所述横移导向装置相连接，带动所述机械手进行伸缩运动，从所述加载腔的开口处伸出或回收；以及伸缩限位机构，安装在所述伸缩驱动机构上，对所述机械手的初始位置和终点位置进行限制。本专利技术的晶片传输系统，优选为，所述纵移导向装置包括固定导向杆和固定座，通过所述固定座将所述固定导向杆以与所述加载腔室的设有所述开口的面相垂直的方式安装在所述加载腔室中。本专利技术的晶片传输系统，优选为，所述横移导向装置包括横移导向杆、滑块、过渡块和摇臂，其中，所述横移导向杆通过所述滑块以可移动的方式安装在所述固定导向杆上，所述过渡块以可移动的方式安装在所述横移导向杆上，所述过渡块与所述摇臂相连接，所述摇臂与所述伸缩驱动机构相连接。本专利技术的晶片传输系统，优选为，所述过渡块底部设有圆柱状凸起，所述摇臂一端对应设置有孔，所述圆柱状凸起插入所述孔中使所述过渡块与所述摇臂相连接。本专利技术的晶片传输系统，优选为，所述横移导向装置包括移动座和摇臂，所述移动座以可移动的方式安装在所述固定导向杆上，所述移动座与所述摇臂相连接，所述摇臂与所述伸缩驱动机构相连接。本专利技术的晶片传输系统，优选为，所述移动座底部设有圆柱状凸起，所述摇臂上对应设有长槽，所述圆柱状凸起插入所述长槽中并可在所述长槽内往复滑动。本专利技术的晶片传输系统，优选为，所述伸缩驱动机构包括电动机、减速器、联轴器、磁流体密封件和支撑座，所述电动机输出扭矩，通过所述减速器放大，所述减速器的输出轴与所述磁流体密封件的转子的一端通过所述联轴器相连接，所述磁流体密封件的转子的另一端与所述摇臂相连接，所述支撑座呈半圆筒状，所述减速器的输出轴与所述联轴器从所述支撑座中穿过，所述支撑座安装在所述装载腔室底部。本专利技术的晶片传输系统，优选为，所述伸缩限位机构包括遮光板和两个光电传感器，所述遮光板安装在所述联轴器的一侧，所述两个光电传感器设置在所述支撑座的半圆筒外壁上，并且位置可调节。本专利技术的晶片传输系统，优选为，还包括升降导向机构和升降驱动机构，所述升降导向机构包括导向滑套和转轴，所述导向滑套主体呈圆环套状并且内壁向轴心延伸形成有一个销键凸块，所述导向滑套的外壁背离轴心延伸形成一个尖端部，在所述尖端部并沿轴向对称延伸各形成一个圆柱销，所述转轴设有贯穿的轴向滑槽，一端与所述固定座相连接，另一端与所述升降驱动机构相连接，所述移动座主体呈平板状，底部中央区域具有中央凸部，所述中央凸部开设有纵向贯穿的中央通孔，所述平板状主体中部设有矩形槽，在所述矩形槽的两侧设有上下贯穿的上下通孔，所述转轴从所述移动座的纵向贯穿的中央通孔和所述导向滑套中穿过，所述导向滑套位于所述移动座的矩形槽内，在所述机械手底部，与所述移动座的上下贯穿的上下通孔相对应而设有两个向下突出的上下导向柱，所述上下导向柱插入所述上下贯穿的上下通孔中，在所述机械手的底部，与所述移动座的矩形槽对应的位置突出设置圆柱销滑动部，所述圆柱销滑动部的底部设置有圆柱销装配口，所述圆柱销从所述圆柱销装配口处装配到圆柱销滑动部的内部并可在其中横向滑动。本专利技术的晶片传输系统，优选为，所述升降驱动机构包括电动机、减速器、联轴器、磁流体密封件和支撑座，所述电动机输出扭矩，通过所述减速器放大，所述减速器的输出轴与所述磁流体密封件的转子的一端通过所述联轴器相连接，所述磁流体密封件的转子的另一端与所述转轴相连接，所述支撑座呈半圆筒状，所述减速器的输出轴与所述联轴器从所述支撑座中穿过，所述支撑座安装在所述装载腔室的侧壁。根据本专利技术，能够将晶片从一个腔室传送到另一个腔室，可以传输不同尺寸的晶片，而无需更换晶片机械手。此外，本专利技术通过增设升降导向机构和升降驱动机构，实现对晶片的升降传输，满足加工需求。进一步地，本专利技术通过伸缩限位机构和升降限位机构能够精确限定所传输晶片的位置，有效提高工艺的重复度和精确度。附图说明为了更清楚地说明本专利技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本专利技术的晶片传输系统的机械手位于加载腔室内时的晶片传输系统的立体结构示意图。图2是本专利技术的晶片传输系统的机械手伸出加载腔室时的晶片传输系统的立体结构示意图。图3中(a)是本专利技术第一实施方式中的伸缩导向机构的立体结构以及其与伸缩驱动机构的装配图，(b)是第一实施方式中的晶片传输系统的仰视图。图4是本专利技术第一实施方式中的伸缩驱动机构的立体结构示意图。图5中(a)是本专利技术第二实施方式的伸缩导向机构立体结构及其与伸缩驱动机构的装配图，(b)是本专利技术第二实施方式中的晶片传输系统的仰视图。图6(a)是本专利技术第三实施方式中的晶片传输系统的立体结构示意图，(b)是第三实施方式中伸缩导向机构和升降导向机构的立体结构以及与伸缩驱动机构和升降驱动机构的配合示意图。图7是第三实施方式中的移动座的立体结构示意图。图8是第三实施方式中的转轴的立体结构示意图。图9是第三实施方式中的导向滑套的立体结构示意图。图10(a)本专利技术第三实施方式中机械手位于最低位时的晶片传输系统沿A-A面的剖切示意图，(b)本专利技术第三实施方式中机械手位于高位时的晶片传输系统沿A-A的剖切示意图。图11是本专利技术的晶片传输系统中的机械手的仰视示意图。具体实施方式下面将结合附图对本专利技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“中央”、“边缘”、“内”“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶片传输系统，其特征在于，包括：加载腔室，呈长方体状，并在一侧设有开口；伸缩导向机构，安装在所述加载腔内，包括纵移导向装置和横移导向装置，其中所述横移导向装置以可移动的方式安装在所述纵移导向装置上，所述纵移导向装置安装固定在所述加载腔室中；机械手，为平板状，一端设有凹槽用于放置晶片，另一端安装在所述横移导向装置上,整体可从所述加载腔的开口处进出；伸缩驱动机构，与所述横移导向装置相连接，带动所述机械手进行伸缩运动，从所述加载腔的开口处伸出或收回；伸缩限位机构，安装在所述伸缩驱动机构上，对所述机械手的初始位置和终点位置进行限制。

【技术特征摘要】
1.一种晶片传输系统，其特征在于，包括：加载腔室，呈长方体状，并在一侧设有开口；伸缩导向机构，安装在所述加载腔内，包括纵移导向装置和横移导向装置，其中所述横移导向装置以可移动的方式安装在所述纵移导向装置上，所述纵移导向装置安装固定在所述加载腔室中；机械手，为平板状，一端设有凹槽用于放置晶片，另一端安装在所述横移导向装置上,整体可从所述加载腔的开口处进出；伸缩驱动机构，与所述横移导向装置相连接，带动所述机械手进行伸缩运动，从所述加载腔的开口处伸出或收回；伸缩限位机构，安装在所述伸缩驱动机构上，对所述机械手的初始位置和终点位置进行限制。2.根据权利要求1所述的晶片传输系统，其特征在于，所述纵移导向装置包括固定导向杆和固定座，通过所述固定座将所述固定导向杆以与所述加载腔室的设有所述开口的面相垂直的方式安装在所述加载腔室中。3.根据权利要求2所述的晶片传输系统，其特征在于，所述横移导向装置包括横移导向杆、滑块、过渡块和摇臂，其中，所述横移导向杆通过所述滑块以可移动的方式安装在所述固定导向杆上，所述过渡块以可移动的方式安装在所述横移导向杆上，所述过渡块与所述摇臂相连接，所述摇臂与所述伸缩驱动机构相连接。4.根据权利要求3所述的晶片传输系统，其特征在于，所述过渡块底部设有圆柱状凸起，所述摇臂一端对应设置有孔，所述圆柱状凸起插入所述孔中使所述过渡块与所述摇臂相连接。5.根据权利要求2所述的晶片传输系统，其特征在于，所述横移导向装置包括移动座和摇臂，所述移动座以可移动的方式安装在所述固定导向杆上，所述移动座与所述摇臂相连接，所述摇臂与所述伸缩驱动机构相连接。6.根据权利要求5所述的晶片传输系统，其特征在于，所述移动座底部设有圆柱状凸起，所述摇臂上对应设有长槽，所述圆柱状凸起插入所述长槽中并可在所述长槽内往复滑动。7.根据权利要求1所述的晶片传输系统，其特征在于，所述伸缩驱动机构包括电动机、减速器、联轴器、磁流体密封件和支撑座，所述电动机输出扭矩，通过所述减速器放大，所述减速器的输出轴与所述磁流体密...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡冬冬，李娜，许开东，
申请(专利权)人：江苏鲁汶仪器有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32