一种半导体激光器芯片的测试系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种半导体激光器芯片的测试系统，包括测试柜、测试电源、空气粒子计数器和计算机处理子系统；测试柜，其包括装载平台，多个待测试的芯片组件放置在所述装载平台上；测试电源，用以向所述多个待测试的芯片组件提供测试电流；空气粒子计数器，设置在所述测试柜中，用于监控所述测试柜内的空气洁净度；计算机处理子系统，分别与所述测试电源和所述空气粒子计数器连接，用以根据所述空气洁净度，向所述测试电源发出相应的控制指令。通过上述方式，本实用新型专利技术能够提高测试的安全性，避免因半导体激光器芯片组件意外失效带来的损失。

Testing system for semiconductor laser chip

The utility model discloses a test system for semiconductor laser chip, including test cabinet, test power supply, air particle counter and computer processing subsystem; the testing cabinet comprises a loading platform, a plurality of test chip components placed on the loading platform; test power supply, used to the multi chip module to provide the test of the test current; air particle counter, is arranged in the test cabinet, to monitor the air cleanliness testing cabinet; computer processing subsystem is respectively connected with the power supply and test the air particle counter, according to the air cleanliness, the corresponding control command issued to test the power supply. By the method, the utility model can improve the safety of the test and avoid the loss caused by the accidental failure of the semiconductor laser chip component.

【技术实现步骤摘要】
一种半导体激光器芯片的测试系统
本技术涉及半导体激光器芯片测试
，特别是涉及一种半导体激光器芯片的测试系统。
技术介绍
随着激光显示、激光照明、3D打印、空地一体化网络等新兴领域的迅速发展，高功率半导体激光器市场逐步扩大，高功率半导体激光器市场需求量的高涨带来了对上游半导体激光器芯片的巨大需求，对半导体激光器芯片输出功率、可靠性的要求也越来越大。为了有效的进行测试，需要将半导体激光器芯片贴片封装在导热系数高的热沉上，简称半导体激光器芯片组件，方便后续的二次集成封装设计，如光纤耦合，常见的贴片封装形式是COS(ChipOnSubmount)封装。在特定的电流、功率、温度下定时间的老化测试和长时间寿命测试，对测试系统的要求非常高，对于老化测试而言，如果有因测试系统造成半导体激光器芯片的意外死亡将导致大量的损失，而对于长期的寿命测试过程如若因发生意外会使整个寿命测试前功尽弃，损失无法估量。因此针对半导体激光器芯片组件测试安全防护的系统设计非常重要。
技术实现思路
本技术主要解决的技术问题是提供一种半导体激光器芯片的测试系统，能够提高测试的安全性，避免因半导体激光器芯片组件意外失效带来的损失。为解决上述技术问题，本技术采用的一个技术方案是：提供一种半导体激光器芯片的测试系统，包括：测试柜，其包括装载平台，多个待测试的芯片组件放置在所述装载平台上；测试电源，用以向所述多个待测试的芯片组件提供测试电流；空气粒子计数器，设置在所述测试柜中，用于监控所述测试柜内的空气洁净度；计算机处理子系统，分别与所述测试电源和所述空气粒子计数器连接，用以根据所述空气洁净度，向所述测试电源发出相应的控制指令。其中，所述根据空气洁净度，向所述测试电源发出相应的控制指令，包括：当所述空气洁净度异常时，所述计算机处理子系统向所述测试电源发出切断指令，以使所述测试电源停止向所述芯片组件提供测试电流。其中，当所述空气洁净度超过百级时，所述计算机处理子系统向所述测试电源发出切断指令，以使所述测试电源停止向所述芯片组件提供测试电流。其中，所述测试系统进一步包括：空气过滤器，用以向所述测试柜提供洁净的空气。其中，所述空气过滤器设置在所述测试柜顶部，向下提供洁净的空气；所述空气粒子计数器设置在所述测试柜底部。其中，所述空气粒子计数器为两个，分别设置在所述测试柜底部的两侧。其中，当其中一个所述空气粒子计数器监控到所述测试柜内的空气洁净度超过百级时，所述计算机处理子系统向所述测试电源发出切断指令，以使所述测试电源停止向所述芯片组件提供测试电流。其中，当其中一个所述空气粒子计数器监控到所述测试柜内的空气洁净度超过百级时，所述计算机处理子系统向所述测试电源发出切断指令，以使所述测试电源停止向所述芯片组件提供测试电流。其中，所述报警子系统包括警报灯和蜂鸣器。其中，当计算机处理子系统向所述测试电源发出切断指令时，所述计算机处理子系统将故障代码通过邮件发送至相应人员。本技术的有益效果是：区别于现有技术的情况，本技术通过在测试柜中设置空气粒子计数器，测量测试柜中空气中的颗粒数量，以判断测试柜中空气洁净度，当测试柜中空气洁净度异常时，计算机处理子系统可向测试电源发出相应的控制指令，以避免测试过程中造成半导体激光器芯片组件意外失效，进而减少损失。附图说明图1是本技术一实施方式的一种半导体激光器芯片的测试系统示意图；图2是本技术另一实施方式的一种半导体激光器芯片的测试系统示意图；图3是本技术又一实施方式的一种半导体激光器芯片的测试系统示意图；图4是本技术又一实施方式的一种半导体激光器芯片的测试系统示意图。具体实施方式下面结合附图和实施方式对本技术进行详细说明。如图1，本技术实施方式的一种半导体激光器芯片的测试系统，测试系统可用于对芯片进行老化测试及寿命测试，也可用于芯片的其它测试；测试系统包括测试柜100、测试电源200、空气粒子计数器700和计算机处理子系统500。测试柜100可提供相对密闭的测试环境，以降低测试过程中外界的干扰因素的影响；测试柜100包括装载平台110，多个待测试的芯片组件放置在装载平台110上；通过设置装载平台110，将多个待测试的芯片组件放置在装载平台110上，可实现同时对多个芯片组件进行测试，提高测试效率；其中，本技术实施方式的芯片组件是将半导体激光器芯片贴片封装在导热系数高的热沉上而形成，封装形式可以是COS，也可以是本领域常规的其它形式。多个待测试的芯片组件可通过相互串联的方式放置在装载平台110上，可以理解的，在其它实施方式中，多个待测试的芯片组件并不限于串联的形式，也可采用其它连接方式。多个待测试的芯片组件可在装载平台110上整齐排成一列或者多列，在一实施方式中，可以设置装载平台110上的各个待测试组件之间的间距相等，并且均匀分布在装载平台110上，这样可以保证在测试过程中，装载平台110上各处温度的均一性，利于温度监控子系统400对装载平台110进行温度监控。可以理解的，在其它实施方式中，也可设置多个装载平台110。测试电源200与多个待测试的芯片组件连接，用以向多个待测试的芯片组件提供测试电流，以使多个待测试的芯片组件工作。空气粒子计数器700设置在测试柜100中，并与计算机处理子系统500连接，用于监控测试柜100内的空气洁净度，并将空气洁净度发送至计算机处理子系统500，计算机处理子系统500根据空气洁净度，向测试电源200发出相应的控制指令。当空气中颗粒太多时，容易造成正在工作的芯片组件发光端面污染，本技术实施方式通过在测试柜100中设置空气粒子计数器700，测量测试柜100中空气中的颗粒数量，以判断测试柜100中空气洁净度，当测试柜100中空气洁净度异常时，计算机处理子系统500可向测试电源200发出相应的控制指令，以避免测试过程中造成半导体激光器芯片组件意外失效，进而减少损失。其中，计算机处理子系统500根据空气洁净度结果，向测试电源200发出相应的控制指令，包括：当空气洁净度结果异常时，计算机处理子系统500向测试电源200发出切断指令，以使测试电源200停止向芯片组件提供测试电流。其中，本技术实施方式将测试柜100内的空气洁净度控制在百级以内，以为芯片组件测试提供可靠环境，当空气洁净度超过百级时，计算机处理子系统500向测试电源200发出切断指令，以使测试电源200停止向芯片组件提供测试电流。其中，本技术实施方式的测试系统还包括空气过滤器800，用以向测试柜100提供洁净的空气。通过设置空气过滤器800，可保证测试柜100中具有高空气洁净度的内部环境，可使测试柜100中的空气洁净度达百级。其中，空气过滤器800设置在测试柜100顶部，向下提供洁净的空气；空气粒子计数器700设置在测试柜100底部。测试柜100中的空气流动是由上往下的，相对于测试柜100外面的空气，测试柜100里面的空气是正压，底部具有往外的出风口，以保证测试柜100中具有高空气洁净度的内部环境。其中，空气粒子计数器700为两个，分别设置在测试柜100底部的两侧。当其中一个空气粒子计数器700监控到空气洁净度超过百级时，即判断测试柜100中的空气洁净度异常，计算机处理子系统50本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体激光器芯片的测试系统，其特征在于，包括：测试柜，其包括装载平台，多个待测试的芯片组件放置在所述装载平台上；测试电源，用以向所述多个待测试的芯片组件提供测试电流；空气粒子计数器，设置在所述测试柜中，用于监控所述测试柜内的空气洁净度；计算机处理子系统，分别与所述测试电源和所述空气粒子计数器连接，用以根据所述空气洁净度，向所述测试电源发出相应的控制指令。

【技术特征摘要】
1.一种半导体激光器芯片的测试系统，其特征在于，包括：测试柜，其包括装载平台，多个待测试的芯片组件放置在所述装载平台上；测试电源，用以向所述多个待测试的芯片组件提供测试电流；空气粒子计数器，设置在所述测试柜中，用于监控所述测试柜内的空气洁净度；计算机处理子系统，分别与所述测试电源和所述空气粒子计数器连接，用以根据所述空气洁净度，向所述测试电源发出相应的控制指令。2.根据权利要求1所述的测试系统，其特征在于，所述根据空气洁净度，向所述测试电源发出相应的控制指令，包括：当所述空气洁净度异常时，所述计算机处理子系统向所述测试电源发出切断指令，以使所述测试电源停止向所述芯片组件提供测试电流。3.根据权利要求2所述的测试系统，其特征在于，当所述空气洁净度超过百级时，所述计算机处理子系统向所述测试电源发出切断指令，以使所述测试电源停止向所述芯片组件提供测试电流。4.根据权利要求1至3中任意一项所述的测试系统，其特征在于，进一步包括：空气过滤器，用以向所述测试柜提供洁净的空气。5...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡海，刘文斌，王泰山，李成鹏，方继林，
申请(专利权)人：深圳清华大学研究院，深圳瑞波光电子有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44