一种用于长晶炉的支撑结构制造技术

技术编号:15908957 阅读:109 留言:0更新日期:2017-08-01 21:43
本实用新型专利技术公开了一种用于长晶炉的支撑结构。其包括炉体、坩埚和立柱,述炉体内安装有加热装置,所述坩埚内盛放有晶体溶液,所述坩埚底部设置有卡槽,所述卡槽下方连接有固定轨,所述固定轨下方安装有钨托盘,所述支撑架末端连接有固定螺栓,所述立柱底端两侧安装支撑板,所述支撑板下方设置有基座。该用于长晶炉的支撑结构设有固定轨和卡槽,使坩埚能够通过卡槽与固定轨与钨托盘固定,避免了坩埚因为螺纹松动或其他情况产生翻到等情况,钨托盘外侧设置有横散热片,能在停止使用后迅速的将钨托盘的热量散发,避免长时间使用后坩埚与钨托盘之间产生粘连,立柱底部还固定有支撑板和基座,确保立柱在单独承重的时候不会歪斜折断。

Support structure for long crystal furnace

The utility model discloses a support structure for a long crystal furnace. Including its furnace, crucible and column, the stove body and a heating device is installed, the crucible containing a crystal solution, the bottom of the crucible is provided with a slot, the slot is connected with the fixed rail, the tray is installed below the tungsten fixed rail, the support frame is connected to the end of the fixed bolt and the bottom end of the upright post is provided with a supporting plate on both sides of the support base is arranged below the plate. The support structure for the long crystal furnace is provided with a fixed rail and a clamping groove, the crucible can through the slot and the fixed rail and the fixed tray to avoid the tungsten crucible, because of screw loosening or other circumstances have turned to the situation, the tray is arranged on the outer side of the tungsten fin, can quickly stop using the tungsten tray the heat, to avoid adhesion between the tungsten crucible and after long time use tray, the bottom of the upright post is fixed with the support plate and the base, to ensure that when the bearing column alone will not skew break.

【技术实现步骤摘要】
一种用于长晶炉的支撑结构
本技术涉及碳化硅制造设备
,具体为一种用于长晶炉的支撑结构。
技术介绍
长晶炉在使用过程中需要经受长时间的高温,这种情况下多次使用后长晶炉的立柱会容易产生变形裂纹等情况,当出现这类情况的时候坩埚就很容易发生翻倒,长晶炉内部的钨托盘有时会需要旋转,通常的坩埚与钨托盘连接方式不够牢固,在钨托盘旋转时可能发生松动,影响产品质量。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于长晶炉的支撑结构,以解决上述
技术介绍
中提出的通常的长晶炉坩埚与钨托盘连接不够牢固,且立柱损坏容易使坩埚发生翻倒等问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种用于长晶炉的支撑结构,包括炉体、坩埚和立柱,述炉体内安装有加热装置,所述坩埚内盛放有晶体溶液,所述坩埚底部设置有卡槽,所述卡槽下方连接有固定轨,所述固定轨下方安装有钨托盘,所述固定轨外侧固定有限位块,所述钨托盘表面设置有横散热片,所述横散热片下方安装有竖散热片,且竖散热片与钨托盘固定连接,所述立柱上固定有套筒,所述套筒外侧固定有支撑架,所述支撑架末端连接有固定螺栓,所述立柱底端两侧安装支撑板,且立柱上方与钨托盘固定连接,所述支撑板下方设置有本文档来自技高网...
一种用于长晶炉的支撑结构

【技术保护点】
一种用于长晶炉的支撑结构,包括炉体(1)、坩埚(3)和立柱(13),其特征在于:所述炉体(1)内安装有加热装置(2),所述坩埚(3)内盛放有晶体溶液(4),所述坩埚(3)底部设置有卡槽(5),所述卡槽(5)下方连接有固定轨(6),所述固定轨(6)下方安装有钨托盘(7),所述固定轨(6)外侧固定有限位块(8),所述钨托盘(7)表面设置有横散热片(9),所述横散热片(9)下方安装有竖散热片(10),且竖散热片(10)与钨托盘(7)固定连接,所述立柱(13)上固定有套筒(14),所述套筒(14)外侧固定有支撑架(12),所述支撑架(12)末端连接有固定螺栓(11),所述立柱(13)底端两侧安装支撑板...

【技术特征摘要】
1.一种用于长晶炉的支撑结构,包括炉体(1)、坩埚(3)和立柱(13),其特征在于:所述炉体(1)内安装有加热装置(2),所述坩埚(3)内盛放有晶体溶液(4),所述坩埚(3)底部设置有卡槽(5),所述卡槽(5)下方连接有固定轨(6),所述固定轨(6)下方安装有钨托盘(7),所述固定轨(6)外侧固定有限位块(8),所述钨托盘(7)表面设置有横散热片(9),所述横散热片(9)下方安装有竖散热片(10),且竖散热片(10)与钨托盘(7)固定连接,所述立柱(13)上固定有套筒(14),所述套筒(14)外侧固定有支撑架(12),所述支撑架(12)末端连接有固定螺栓(11),所述立柱(13)底端两侧安装支撑板(15),且立柱(13)上方与钨托盘(7)固定连接,所述支撑板(15)下方设置有基座(...

【专利技术属性】
技术研发人员:赵吉强宗艳民高超张红岩
申请(专利权)人:山东天岳先进材料科技有限公司
类型:新型
国别省市:山东,37

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