本申请提供了一种高纯碳化硅晶体电阻率的检测方法和装置，所述检测方法包括以下步骤：用光源照射碳化硅晶体，检测碳化硅晶体的透光波长，比较所述透光波长与标准颜色波长范围的大小，根据比较结果判断电阻率是否合格；所述标准颜色波长范围是电阻率合格的...

本申请提供了一种高精度的石墨坩埚电阻率测试装置，所述装置包括测试主机，和与所述测试主机电连接的电阻率测试组件，所述电阻率测试组件包括：用于承载石墨坩埚的底座，和沿高度方向延伸的测试杆，所述测试杆上设有四个分别与测试主机电连接且等距离间隔...

本申请提供了一种无污染测量石墨坩埚体积密度的方法和装置，其中方法包括以下步骤:(1)在杠杆式衡器的杠杆两端平衡状态下，将石墨坩埚和标准件分别放置于杠杆两端的密闭容器中；(2)使杠杆式衡器的杠杆两端再次平衡，获得石墨坩埚和标准件的质量差值...

本申请公开了一种碳化硅晶体微管愈合用装置及应用。该装置包括：真空生长室，内设开口朝上的坩埚，坩埚内能够盛放高温熔液；碳化硅晶体装载装置，位于真空生长室内、坩埚的上方，并且能够上下移动；温度调节装置，能够对真空生长室内部进行温度调节；压力...

本申请公开了一种生产碳化硅单晶用热辐射反射装置及其制备方法与应用。所述装置能够形成热辐射反射镜面，所述热辐射反射镜面能够围绕于PVT法生产碳化硅单晶用长晶坩埚的外周，且能够将所述坩埚处散发出来的热量反射回所述坩埚处。本发明通过试验证明，...

本申请公开了一种坩埚组件及碳化硅粉料合成炉，属于半导体材料制备领域。该坩埚组件包括坩埚和导流件，所述坩埚设置一级进气孔；所述导流件设置在所述坩埚形成的坩埚腔内，所述导流件包括设置多个二级进气孔的进气板和分别与所述二级进气孔连通的多个多孔...

本申请公开了一种碳化硅晶体微管的愈合方法及碳化硅产品和应用。所述方法包括：S1、将含有贯穿微管的碳化硅晶体完全浸入坩埚内的熔液中；所述熔液的温度低于所述碳化硅晶体的熔点；S2、使所述熔液在所述碳化硅晶体的所述贯穿微管中进行液相生长结晶；...

本申请公开了一种高效率的碳化硅长晶方法及装置，属于晶体制备领域。该碳化硅长晶方法，包括如下步骤：提供坩埚、籽晶托以及驱动籽晶托翻转的驱动机构；将长晶原料放入坩埚底部的原料区，将两个籽晶分别固定在籽晶托的两个面上，并将籽晶托安装在坩埚顶部...

本发明提供了一种碳化硅晶体生长方法及装置，该方法包括:(1)组装阶段：(2)升华阶段：控制多个隔板转动至多个隔板之间和隔板与腔体的内壁之间无空隙，第一坩埚与第二坩埚隔断，加热使得碳化硅原料升华；(3)长晶阶段：控制多个隔板转动至多个隔板...

本申请公开了一种碳化硅单晶及其PVT法生产方法和应用，属于碳化硅单晶生产工艺领域。所述方法包括在碳化硅长晶用坩埚内进行PVT法生产碳化硅单晶的步骤，所述PVT法生产碳化硅单晶时，在所述坩埚外周设热辐射反射装置，所述热辐射反射装置的热辐射...

本申请公开了一种掺杂稀土元素的碳化硅粉料及其制备方法与应用，所述掺杂稀土元素的碳化硅粉料包含碳化硅晶相和稀土元素的硅化物，所述稀土元素的硅化物掺杂在碳化硅晶相中。所述稀土元素的硅化物在碳化硅晶相中的掺杂浓度为0.001～5wt％。本申请...

本申请公开了一种掺杂稀土元素的碳化硅粉料的制备方法，所述制备方法包括下述步骤：(1)将含稀土元素物质与高纯硅粉进行高温反应，得到稀土元素的硅化物；(2)将所述稀土元素的硅化物、高纯硅粉和高纯碳粉进行合成反应，得到掺杂稀土元素的高纯碳化硅...

本申请公开了一种传感器组件的携带箱及测量箱，传感器组件包括显示单元和多个传感器，各传感器的线缆能够连接于显示单元，携带箱包括箱体和能够盖合箱体的箱盖，箱体沿布置方向分隔有用于放置显示单元的第一放置区，和用于放置传感器的第二放置区，布置方...

本实用新型公开了一种带压力反馈的压合装置，其包括：支架、旋转固定座、丝杆、限位座、压合块、压力传感器和显示面板。在支架上设有沿压合方向贯穿的安装孔。旋转固定座为套筒结构且设有内螺纹，旋转安装于安装孔中。丝杆与旋转固定座螺纹连接。限位座固...

本实用新型公开了一种导轮总成治具，该治具包括承载体，承载体具有承载面；承载面从其边缘向内侧延伸开设有第一限位槽，承载体沿第一限位槽的延伸方向还开设有与第一限位槽连通的通孔，第一限位槽与通孔的内壁开设有沿两者的轴向延伸并与承载体的外表面相...

本实用新型公开了一种打孔装置，包括卡盘、导向机构和打孔电机。其中，卡盘包括卡盘主体和与卡盘主体连接的套筒，卡盘主体包括朝远离套筒方向延伸的延伸壁，该延伸壁可卡设于待打孔工件外周，套筒内壁具有螺纹；导向机构包括支柱和支撑板，支柱安装于卡盘...

本实用新型提供一种晶锭的配置装置，包括定心盘、升降平台、加热装置。其中，定心盘的一个表面上开设有放物孔，且定心盘的该表面还滑动设置有多个推块，各推块的滑动方向指向放物孔；升降平台滑动地设置在放物孔内；加热装置用于加热置放于升降平台的物料...

本实用新型提供了一种升降托盘及下装炉式加热炉。其中，升降托盘包括底座、固定支撑架、升降架和装卸架，固定支撑架设置在底座上，固定支撑架上表面设置有凹型槽，凹型槽上开设有通孔，固定支撑架与底座之间形成安装空间；升降架能够沿通孔在举升位置与回...

本申请公开了一种清理装置，包括支撑柱、旋转件和清洁部，清理装置的旋转件滑动地设置于支撑柱，以沿支撑柱移动，并能够绕支撑柱旋转；清理装置的清洁部包括连接于旋转件的伸缩杆，伸缩杆远离旋转件的一端为清洁端，随旋转件旋转的伸缩杆的清洁端能够沿离...

本实用新型公开了一种涂抹装置，包括第一盒体和第二盒体，第一盒体具有第一表面，第一表面开设有第一凹槽，第一盒体还包括存储部，第一凹槽具有与存储部相连通的第一开口。第二盒体与第一盒体相铰接，第二盒体具有第二表面，第二表面能够与第一表面相抵接...