【技术实现步骤摘要】
一种高精度的石墨坩埚电阻率测试装置及方法
本申请涉及电阻率测试设备
，具体涉及一种高精度的石墨坩埚电阻率测试装置及方法。
技术介绍
石墨坩埚因为具有良好的导热，耐高温性能，除了用于特定容器之外，在适当的电阻率下，常用于感应加热的发热源，可以显著降低功率损耗，石墨坩埚的电阻率直接影响感应加热的效率和加热温场的稳定性，因此，测试石墨坩埚的电阻率至关重要。目前，常用的测试石墨制品电阻率的方法是四探针法，该方法是采用单一表面测试位置进行测试，并且在用探针尖端的端点测试过程中，四个探针接触点构成一个测试单元。并且，现有技术中常见的四探针电阻测试仪，通常是将可升降的四探针组件设置在样品上方，并将四探针扎在样品表面，适用于测试块状或薄片状样品的电阻率。然而，用于制备碳化硅晶体的高纯度石墨坩埚外形大致近似于圆柱状，内部具有敞口的空腔，并且坩埚壁的壁厚是大致均匀的。因此，常规的四探针法对于整体密度分布均匀的规则形状的实心石墨件测试准确度尚可，这是因为形状规则的实心石墨件，在电流施加路径或区域不同以及电阻率计算过程中面积S...
【技术保护点】
1.一种石墨坩埚电阻率测试装置，其特征在于，所述装置包括测试主机，和与所述测试主机电连接的电阻率测试组件，所述电阻率测试组件包括：/n用于承载石墨坩埚的底座，和/n沿高度方向延伸的测试杆，所述测试杆上设有四个分别与测试主机电连接且等距离间隔分布的电接触件，所述电接触件的接触端朝向石墨坩埚，并且位于同一直线上；所述测试杆至少设置两个，并且沿石墨坩埚的周向均匀分布。/n
【技术特征摘要】
1.一种石墨坩埚电阻率测试装置，其特征在于，所述装置包括测试主机，和与所述测试主机电连接的电阻率测试组件，所述电阻率测试组件包括：
用于承载石墨坩埚的底座，和
沿高度方向延伸的测试杆，所述测试杆上设有四个分别与测试主机电连接且等距离间隔分布的电接触件，所述电接触件的接触端朝向石墨坩埚，并且位于同一直线上；所述测试杆至少设置两个，并且沿石墨坩埚的周向均匀分布。
2.根据权利要求1所述的石墨坩埚电阻率测试装置，其特征在于，所述电接触件包括两个电压探针和两个电流探针，所述两个电流探针在高度方向上分别靠近于石墨坩埚的顶端和底端。
3.根据权利要求2所述的石墨坩埚电阻率测试装置，其特征在于，所述两个电压探针位于两个电流探针之间；所述电流探针采用石墨电极。
4.根据权利要求1所述的石墨坩埚电阻率测试装置，其特征在于，所述测试杆上设有电接触件调节机构，所述电接触件调节机构被构造成带动电接触件沿测试杆在高度方向上移动。
5.根据权利要求1所述的石墨坩埚电阻率测试装置，其特征在于，至少两个所述测试杆分别位于石墨坩埚直径方向的两端。
6.根据权利要求1所述的石墨坩埚电阻率测试装置，其特征在于，所述底座上设置有第一滑动部，所述测试杆的底部与所述第一滑动部配合滑动连接，以使所述测试杆沿石墨坩埚径向靠近或远离石墨...
【专利技术属性】
技术研发人员：蒋文广，张红岩，王永方，王秀平，周国顺，黄长航，
申请(专利权)人：山东天岳先进材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37
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