一种用于蒸镀设备的磁板和一种蒸镀设备制造技术

本发明专利技术提供了一种用于蒸镀设备的磁板和一种蒸镀设备，其中，所述磁板以吸附掩膜板使得掩膜板和基板对位贴合，所述磁板包括：至少两个N极磁块和至少两个S极磁块；至少两个所述N极磁块和至少两个所述S极磁块在第一方向上相互交错设置，至少两个所述N极磁块和至少两个所述S极磁块在第二方向上相互交错设置，所述第一方向和第二方向相互大致垂直。本发明专利技术不仅增加磁性吸附力，而且使得在磁性吸附力为零的周围磁性吸附力均匀，使得磁板的整体结构吸附力均匀，对掩膜板的吸附均匀，其对掩膜板的吸附效果好。

A magnetic plate for evaporation equipment and a vapor deposition equipment

The present invention provides a method for coating equipment of magnetic plate and a coating equipment, wherein the magnetic adsorption plate to mask the mask and the substrate alignment and assembly, the magnetic plate comprises at least two N pole magnetic blocks and at least two S pole magnetic blocks; at least two the N pole magnetic blocks and at least two of the S pole magnet in a first direction are arranged alternately, at least two of the N pole magnetic blocks and at least two of the S pole magnet in the second direction interlaced set, the first and second directions are approximately vertical. The invention not only increases the magnetic adsorption force, and makes the magnetic adsorption force is around zero magnetic adsorption force uniform, making the overall structure of the magnetic adsorption plate uniform, adsorption of mask evenly, the adsorption effect of the mask plate.

【技术实现步骤摘要】
一种用于蒸镀设备的磁板和一种蒸镀设备
本专利技术涉及显示器制作领域，特别涉及一种用于蒸镀设备的磁板和一种蒸镀设备。
技术介绍
有机发光二极管(OLED，OrganicLight-EmittingDiode)显示技术与传统的液晶显示器(LCD，LiquidCrystalDisplay)显示方式不同，无需背光灯，采用非常薄的有机材料涂层，当有电流通过时，有机材料就会发光；具有对比度高、色域广、柔性、轻薄、节能等优点。近年来OLED显示技术逐渐在智能手机和平板电脑等移动设备、智能手表等柔性可穿戴设备、大尺寸曲面电视、白光照明等领域普及，发展势头强劲。OLED技术主要包括以真空蒸镀技术为基础的小分子OLED技术和以溶液制程为基础的高分子OLED技术。蒸镀设备是当前已量产的小分子OLED器件生产的主要设备，现有OLED器件的制作主要是通过蒸镀设备通过真空蒸镀完成的。真空蒸镀是指在高真空环境下对镀膜材料进行加热，使其升华并在基板上成膜。具体的，蒸镀设备包括有磁板(magnet)，其用于吸附掩膜板(mask)，并将掩膜板和基板进行对位贴合，以实现真空蒸镀。在现有技术中，如图1所示，图1为现有技术中一种蒸镀设备的磁板结构，该磁板1用于吸附掩膜板，将掩膜板和基板进行对位贴合。其中，该磁板的磁板面内有相互间隔设置的N极磁铁2和S极磁铁3，该磁板在N极磁铁和S极磁铁的交叉位置垂直向上的吸附力为零，且连成一条直线，比如线条4。在该磁板吸附掩膜板过程中对掩膜板的吸附力不均匀，导致掩膜板受力不均匀，在将掩膜板和基板进行对位贴合时，使得掩膜板和基板贴合不紧密，导致掩膜板和基板之间形成间隙(gap)，且该间隙沿磁板的N极磁铁、S极磁铁排列方向延伸，从而容易产生推挤而导致混色。
技术实现思路
本专利技术的一个目的在于提供一种用于蒸镀设备的磁板，其吸附掩膜板过程中对掩膜板的吸附力均匀，使得掩膜板受力均匀，使得掩膜板和基板进行对位贴合紧密，防止掩膜板和基板进行对位贴合时形成间隙，进而防止产生推挤而导致混色。本专利技术的另一个目的在于提供一种蒸镀设备，其吸附掩膜板过程中对掩膜板的吸附力均匀，使得掩膜板受力均匀，使得掩膜板和基板进行对位贴合紧密，防止掩膜板和基板进行对位贴合时形成间隙，进而防止产生推挤而导致混色。为解决上述问题，本专利技术的优选实施例提供了一种用于蒸镀设备的磁板，所述磁板包括：至少两个N极磁块；至少两个S极磁块；至少两个所述N极磁块和至少两个所述S极磁块在第一方向上相互交错设置，至少两个所述N极磁块和至少两个所述S极磁块在第二方向上相互交错设置，所述第一方向和第二方向相互大致垂直。在本专利技术优选实施例的用于蒸镀设备的磁板中，至少两个所述N极磁块和至少两个所述S极磁块在第一方向上分别按照第一间距相互交错设置，至少两个所述N极磁块和至少两个所述S极磁块在第二方向上分别按照第二间距相互交错设置。在本专利技术优选实施例的用于蒸镀设备的磁板中，所述第一间距和第二间距相等。在本专利技术优选实施例的用于蒸镀设备的磁板中，所述N极磁块和S极磁块的大小相同。在本专利技术优选实施例的用于蒸镀设备的磁板中，所述N极磁块和S极磁块的个数相同。在本专利技术优选实施例的用于蒸镀设备的磁板中，所述N极磁块为圆形结构、椭圆形结构、或多边形结构。在本专利技术优选实施例的用于蒸镀设备的磁板中，所述S极磁块为圆形结构、椭圆形结构、或多边形结构。同样地，为解决上述问题，本专利技术的另一优选实施例提供了一种蒸镀设备，蒸镀设备包括磁板，磁板用于吸附掩膜板使得掩膜板和基板对位贴合，所述磁板包括：至少两个N极磁块；至少两个S极磁块；至少两个所述N极磁块和至少两个所述S极磁块在第一方向上相互交错设置，至少两个所述N极磁块和至少两个所述S极磁块在第二方向上相互交错设置，所述第一方向和第二方向相互大致垂直。在本专利技术优选实施例的蒸镀设备中，至少两个所述N极磁块和至少两个所述S极磁块在第一方向上分别按照第一间距相互交错设置，至少两个所述N极磁块和至少两个所述S极磁块在第二方向上分别按照第二间距相互交错设置。在本专利技术优选实施例的蒸镀设备中，所述第一间距和第二间距相等。在本专利技术优选实施例的蒸镀设备中，所述N极磁块和S极磁块的大小相同。在本专利技术优选实施例的蒸镀设备中，所述N极磁块和S极磁块的个数相同。在本专利技术优选实施例的蒸镀设备中，所述N极磁块为圆形结构、椭圆形结构、或多边形结构。在本专利技术优选实施例的蒸镀设备中，所述S极磁块为圆形结构、椭圆形结构、或多边形结构。相对于现有技术，本专利技术磁板上至少两个N极磁块和至少两个极磁块在第一方向上相互交错设置，以及至少两个N极磁块和至少两个S极磁块在第二方向上相互交错设置，因此，在第一方向上，单个N极磁块和单个S极磁块相邻，并依次排列，在第二方向上，单个N极磁块和单个S极磁块相邻，并依次排列，且第一方向和第二方向之间相互大致垂直，从而磁板仅仅在2个N极磁块和2个S极磁块的中心位置形成的磁性吸附力为零，其磁性吸附力为零的范围变小，无法连成一条连续的线条结构。相比现有技术中，磁性吸附力为零的部分连成连续的线条结构，本专利技术不仅增加磁性吸附力，而且使得在磁性吸附力为零的周围磁性吸附力均匀，使得磁板的整体结构吸附力均匀，对掩膜板的吸附均匀，其对掩膜板的吸附效果好。进一步的，在吸附掩膜板与基板进行对位贴合的过程中，通过磁性吸附力的作用，使得掩膜板在磁性吸附力为零的位置向四周平铺并均匀展开，使得掩膜板和基板进行对位贴合紧密，不会形成间隙，进而防止产生推挤，以降低混色的风险。为让本专利技术的上述内容能更明显易懂，下文特举优选实施例，并配合所附图式，作详细说明如下：【附图说明】图1为现有技术中一种蒸镀设备的磁板的结构示意图；图2为本专利技术实施例磁板的结构示意图；图3为本专利技术实施例磁板的另一结构示意图；图4为本专利技术实施例磁板的又一结构示意图。【具体实施方式】以下各实施例的说明是参考附加的图式，用以例示本专利技术可用以实施的特定实施例。这里所公开的具体结构和功能细节仅仅是代表性的，并且是用于描述本专利技术的示例性实施例的目的。但是本专利技术可以通过许多替换形式来具体实现，并且不应当被解释成仅仅受限于这里所阐述的实施例。在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“横向”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本专利技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。另外，术语“包括”及其任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于蒸镀设备的磁板，以吸附掩膜板使得掩膜板和基板对位贴合，其特征在于，所述磁板包括：至少两个N极磁块；至少两个S极磁块；至少两个所述N极磁块和至少两个所述S极磁块在第一方向上相互交错设置，至少两个所述N极磁块和至少两个所述S极磁块在第二方向上相互交错设置，所述第一方向和第二方向相互大致垂直。

【技术特征摘要】
1.一种用于蒸镀设备的磁板，以吸附掩膜板使得掩膜板和基板对位贴合，其特征在于，所述磁板包括：至少两个N极磁块；至少两个S极磁块；至少两个所述N极磁块和至少两个所述S极磁块在第一方向上相互交错设置，至少两个所述N极磁块和至少两个所述S极磁块在第二方向上相互交错设置，所述第一方向和第二方向相互大致垂直。2.根据权利要求1所述的一种用于蒸镀设备的磁板，其特征在于，至少两个所述N极磁块和至少两个所述S极磁块在第一方向上分别按照第一间距相互交错设置，至少两个所述N极磁块和至少两个所述S极磁块在第二方向上分别按照第二间距相互交错设置。3.根据权利要求2所述的一种用于蒸镀设备的磁板，其特征在于，所述第一间距和第二间距相等。4.根据权利要求1所述的一种用于蒸镀设备的磁板，其特征在于，所述N极磁块和S极磁块的大小相同。5.根据权利要求1所述的一种用于蒸镀设备的磁板，其特征在于，所述N极磁块和S极磁块的个数相同。6.根据权利要求1至5任一项所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：任晓光，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42