蒸镀系统技术方案

本发明专利技术公开了蒸镀系统。该蒸镀系统包括：送料装置，所述送料装置包括：送料装置壳体，所述送料装置壳体内部限定出送料空间；进料口，所述进料口设置在所述送料装置壳体上；出料口，所述出料口设置在所述送料装置壳体上且远离所述进料口；推进单元，所述推进单元的至少一部分嵌入所述送料空间中，且用于推动所述送料空间中的原料由所述进料口向所述出料口移动；蒸发装置，所述蒸发装置与所述送料装置相连；以及储料装置，所述储料装置与所述送料装置的所述进料口相连。该蒸镀系统具有以下优点的至少之一：该蒸镀系统可以实现连续送料，进而提高生产效率，连续送料保证原料具有较好的一致性，无原料残留，且可以保持稳定的蒸发速率。

Evaporation system

The invention discloses a vapor deposition system. The deposition system includes a feeding device, a feeding device comprises a feeding device housing, feeding device inside the casing defining a feeding space the feeding inlet; the material inlet is arranged on the feeding device on the casing; the discharge port and the discharge port settings in the feeding device on the casing and away from the feed port; a propulsion unit, wherein at least a portion of the propulsion unit into the feeding space, and used to drive the feed space in the raw materials from the material inlet to the outlet evaporation device, the mobile; the evaporation device and the feeding device is connected; and a storage device, feeding device of the storage device and the feeding mouth. At least one of the evaporation system has the following advantages: the evaporation system can realize the continuous feeding, and improve production efficiency, ensure the continuous feeding of raw materials have good consistency, no residual material, and can maintain the stability of the evaporation rate.

【技术实现步骤摘要】
蒸镀系统
本专利技术涉及有机光电器件领域，具体的，涉及蒸镀系统。
技术介绍
有机器件已广泛应用于有机半导体的工业领域中，而蒸镀技术是制备有机器件过程中的一项重要工艺。目前，有机发光二级管(OLED)的主流制备工艺是蒸镀技术，蒸镀技术主要是利用热蒸发原理，把有机材料和金属材料加热，并使之气化，形成一层层的有机薄膜和阴极，从而制备成OLED的器件。随着大尺寸OLED的发展，有机蒸镀腔体体积也越来越大，因此，对有机蒸镀腔的体积以及真空度均提出了更加严苛的要求。目前的真空蒸镀设备，普遍在每次蒸镀材料消耗完以后，破真空打开腔体，重新加入蒸镀材，再次抽真空。另一种方法是使用多个加热源相互替换，当某一加热源里的有机材料快使用完毕时，用另一已经有蒸发速率的加热源进行替换。然而，目前的蒸镀系统，仍有待改进。
技术实现思路
本申请是基于专利技术人对以下事实的发现而做出的：专利技术人发现目前的蒸镀系统，普遍存在蒸发源中存在原料残留、蒸发材料的温度难以维持恒定、蒸发速率也难以控制在稳定的范围等问题，进而影响真空蒸镀生产的产品的良率，降低生产效率，增加生产成本。专利技术人经过深入研究以及大量实验发现，这主要是由于本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蒸镀系统，其特征在于，包括：送料装置，所述送料装置包括：送料装置壳体，所述送料装置壳体内部限定出送料空间；进料口，所述进料口设置在所述送料装置壳体上；出料口，所述出料口设置在所述送料装置壳体上且远离所述进料口；推进单元，所述推进单元的至少一部分嵌入所述送料空间中，且用于推动所述送料空间中的原料由所述进料口向所述出料口移动；蒸发装置，所述蒸发装置与所述送料装置相连；以及储料装置，所述储料装置与所述送料装置的所述进料口相连。

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀系统，其特征在于，包括：送料装置，所述送料装置包括：送料装置壳体，所述送料装置壳体内部限定出送料空间；进料口，所述进料口设置在所述送料装置壳体上；出料口，所述出料口设置在所述送料装置壳体上且远离所述进料口；推进单元，所述推进单元的至少一部分嵌入所述送料空间中，且用于推动所述送料空间中的原料由所述进料口向所述出料口移动；蒸发装置，所述蒸发装置与所述送料装置相连；以及储料装置，所述储料装置与所述送料装置的所述进料口相连。2.根据权利要求1所述的蒸镀系统，其特征在于，所述送料装置进一步包括：第一加热单元，所述第一加热单元用于对所述送料空间内部的原料进行加热。3.根据权利要求1所述的蒸镀系统，其特征在于，所述推进单元进一步包括：推进件，所述推进件的至少一部分嵌入所述送料空间中。4.根据权利要求3所述的蒸镀系统，其特征在于，所述推进单元进一步包括：调速器，所述调速器与所述推进件相连，用于控制所述推进件的移动速度。5.根据权利要求1所述的蒸镀系统，其特征在于，所述送料装置进一步包括：取料口，所述取料口设置在所述送料装置壳体上，且与所述出料口连通。6.根据权利要求1所述的蒸镀系统，其特征在于，所述送料装置进一步包括以下单元的至少之一：第一隔热单元，所述第一隔热单元与所述第一加热单元相连；以及第一冷却单元，所述第一冷却单元与所述第一加热单元相连。7.根据权利要求1所述的蒸镀系统，其特征在于，所述蒸发装置进一步包括：蒸发装置壳体，所述蒸发装置壳体限定出蒸发空间；蒸发进料口，所述蒸发进料口设置在所述蒸发装置壳体上，所述蒸发进料口与所述送料装置的出料口相连；蒸发出料口，所述蒸发出料口设置在所述蒸发装置壳体远离所述蒸...

【专利技术属性】
技术研发人员：邹清华，
申请(专利权)人：合肥鑫晟光电科技有限公司，京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34