The invention provides a detection device for detecting the semiconductor chip, the detection device comprises a detection arm, which is close to the detection of the light emitting device is arranged at the lower end of the arm and the outer reflector, surrounds the detection arm and is arranged in the light emitting device of the reflector and the reflector opening inclined below in order to reflect the light emitted from the light emitting device, the detection device also comprises a first lifting device, the relative position of the first light emitting device lifting device for changing the reflector and the change in light reflection angle. The detecting device of the invention can detect the semiconductor chip from many angles, and the detection result is accurate.
【技术实现步骤摘要】
检测装置
本专利技术涉及一种检测装置,尤其是一种用以检测半导体芯片是否合格的检测装置。
技术介绍
半导体芯片在制成后需要检验,检验合格后方可上市出售。然而,随着半导体技术的发展,现有检测方式已经无法满足生产检验的需求。因现有光源检测多使用同轴光或者环形光照在半导体芯片上,而半导体芯片上某些缺陷必须在特定角度的光照下才能被发现,若由检测人员手动调整半导体芯片的倾斜角度的话容易污染甚至损坏半导体芯片。有鉴于此,有必要对现有的检测装置予以改进,以解决上述问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种检测装置,以解决现有检测装置检测半导体芯片需要人工调整半导体芯片的角度的问题。为实现上述目的,本专利技术提供了一种检测装置,用以检测半导体芯片,所述检测装置包括检测臂、靠近所述检测臂下端设置的发光装置及反光罩,所述反光罩环绕所述检测臂且设置在所述发光装置的外侧,所述反光罩开口倾斜朝向下方用以反射所述发光装置发出的光,所述检测装置还包括第一升降装置,所述第一升降装置用以改变所述反光罩和所述发光装置的相对位置以改变光反射的角度。作为本专利技术的进一步改进,所述第一升降装置为与所述反光罩固定连接的安装罩,所述安装罩与所述检测臂螺纹连接,以在旋转所述安装罩时带动所述反光罩沿所述检测臂的轴向上下运动。作为本专利技术的进一步改进,所述发光装置环绕所述检测臂设置并朝向所述检测臂的径向发光。作为本专利技术的进一步改进,所述发光装置包括灯带及遮光罩,所述灯带环绕所述检测臂设置,所述遮光罩包括用以遮蔽所述灯带上部分的第一遮光罩和用以遮蔽所述灯带下部分的第二遮光罩,所述第一遮光罩和所述第二 ...
【技术保护点】
一种检测装置,用以检测半导体芯片,其特征在于:所述检测装置包括检测臂、靠近所述检测臂下端设置的发光装置及反光罩,所述反光罩环绕所述检测臂且设置在所述发光装置的外侧,所述反光罩开口倾斜朝向下方用以反射所述发光装置发出的光,所述检测装置还包括第一升降装置,所述第一升降装置用以改变所述反光罩和所述发光装置的相对位置以改变光反射的角度。
【技术特征摘要】
1.一种检测装置,用以检测半导体芯片,其特征在于:所述检测装置包括检测臂、靠近所述检测臂下端设置的发光装置及反光罩,所述反光罩环绕所述检测臂且设置在所述发光装置的外侧,所述反光罩开口倾斜朝向下方用以反射所述发光装置发出的光,所述检测装置还包括第一升降装置,所述第一升降装置用以改变所述反光罩和所述发光装置的相对位置以改变光反射的角度。2.根据权利要求1所述的检测装置,其特征在于:所述第一升降装置为与所述反光罩固定连接的安装罩,所述安装罩与所述检测臂螺纹连接,以在旋转所述安装罩时带动所述反光罩沿所述检测臂的轴向上下运动。3.根据权利要求1所述的检测装置,其特征在于:所述发光装置环绕所述检测臂设置并朝向所述检测臂的径向发光。4.根据权利要求3所述的检测装置,其特征在于:所述发光装置包括灯带及遮光罩,所述灯带环绕所述检测臂设置,所述遮光罩包...
【专利技术属性】
技术研发人员:祁斌,
申请(专利权)人:颀中科技苏州有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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