用于在透明衬底中制造纳米结构的方法技术

用于在透明衬底(10)中制造纳米结构(11)的方法，该方法具有如下步骤：a)以限定的厚度将第一结构载体层(20)涂覆到衬底(100)的至少一个表面上；b)将纳米结构(21)构造到第一结构载体层(20)中；和c)氧化第一结构载体层(20)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种用于在透明衬底中制造纳米结构的方法。本专利技术还涉及一种在透明衬底中的纳米结构。
技术介绍
防反射涂层被用于在例如透镜、物镜、棱镜、板等的光学表面上抑制或者减少光学反射，并且提高透射。通过反射射线的破坏性干涉可以实现在调质面上减小反射率。为此将调质层涂覆到所述光学表面上。用于在光学表面上减少反射的替代方案是在物体表面上的纳米结构。在这种情况下，几何尺寸和在这种结构之间的距离必须小于入射的光学射线的波长。这些引起基本连续变化的折射率的几何形状适合作为纳米结构，例如锐角锥台。折射率的平缓过渡不大程度与波长和角度有关地降低反射率。在优化的结构几何形状中能够与极化无关地减小反射。通过在表面上构造的纳米结构的增透效应被称为所谓的“蛾眼效应”。DE102007014538A1公开了一种通过蚀刻可以直接在石英玻璃上产生蛾眼结构的方法。
技术实现思路
本专利技术的任务是，提供一种用于增透光学表面的改进方法。根据第一方面，通过用于在透明衬底中制造纳米结构的方法解决该任务，该方法具有如下步骤：a)以限定的厚度将第一结构载体层涂覆到衬底的至少一个表面上；b)在第一结构载体层中构造纳米结构；本文档来自技高网...

【技术保护点】
用于在透明衬底(10)中制造纳米结构(11)的方法，具有如下步骤：a)以限定的厚度将第一结构载体层(20)涂覆到所述衬底(100)的至少一表面上；b)在所述第一结构载体层(20)中构造纳米结构(21)；和c)氧化所述第一结构载体层(20)。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.06.18 DE 102014211753.41.用于在透明衬底(10)中制造纳米结构(11)的方法，具有如下步骤：a)以限定的厚度将第一结构载体层(20)涂覆到所述衬底(100)的至少一表面上；b)在所述第一结构载体层(20)中构造纳米结构(21)；和c)氧化所述第一结构载体层(20)。2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述纳米结构(21)的元件构造成金字塔形。3.根据权利要求2所述的方法，其中，在所述纳米结构(21)的金字塔形元件中构造限定的侧面角。4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中，在所述第一结构载体层(20)中在所述透明衬底(10)的两个表面上构造所述纳米结构(21)。5.根据上述权利要求中任一项所述的方法，其中，将保护层至少部分地涂覆到所述第一结构载体层(20)的纳米结构(21)上。6.根据权利要求5所述的方法，其中，所述保护层不涂覆在所述纳米结构(21)的区域中。...

【专利技术属性】
技术研发人员：S·平特，
申请(专利权)人：罗伯特·博世有限公司，
类型：发明
国别省市：德国;DE