微机械元件和制造微机械元件的方法技术

一种制造元件，尤其是制造微机械、微电子机械或微光电机械元件的方法，包括以下步骤：制造第一层复合物，其具有第一基底（２）和第一绝缘层（３），该第一绝缘层覆盖第一基底（２）的表面（１）的至少一部分；制造第二层复合物，其具有第二基底（１２）和第二绝缘层（１４），该第二绝缘层覆盖第二基底（１２）的表面（１３）的至少一部分；把至少部分导电的结构层（７）加到第一绝缘层（３）上；把所述第二层复合物加到所述结构层（７），使得所述第二绝缘层（１４）靠近所述结构层（７）；其中所述第一和第二层复合物以及所述结构层（７）被构造成包括所述元件的活性区域（８）的结构层（７）的至少一部分被所述第一和第二层复合物气密密封；形成接触孔（４），其位于所述第一基底（２）和／或第二基底（１２）中，用来与所述结构层（７）的导电区域（９）接触。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种制造元件，尤其是制造微机械、微电子机械或微光电机械元件的方法，包括以下步骤：　　　　制造第一层复合物，其具有第一基底（２）和第一绝缘层（３），该第一绝缘层覆盖第一基底（２）的表面（１）的至少一部分，　　　　制造第二层复合物，其具有第二基底（１２）和第二绝缘层（１４），该第二绝缘层覆盖第二基底（１２）的表面（１３）的至少一部分，　　　　把至少部分导电的结构层（７）加到第一绝缘层（３）上，　　　　把所述第二层复合物加到所述结构层（７），使得所述第二绝缘层（１４）靠近所述结构层（７），　　　　其中所述第一和第二层复合物以及所述结构层（７）被构造成包括所述元件的活性区域（８）的结构层（７）的至少一部分被所述第一和第二层复合物气密密封，　　　　形成接触孔（４），其位于所述第一基底（２）和／或第二基底（１２）中，用来与所述结构层（７）的导电区域（９）接触。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：沃尔弗拉姆盖格，尤维布伦格，
申请(专利权)人：利特夫有限责任公司，
类型：发明
国别省市：DE[]