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一种精确控制布线间距的装置制造方法及图纸

技术编号:1323203 阅读:244 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术提供了一种精确控制布线间距的装置。该装置可用于微加工技术领域中的布线间距精确控制。该装置包括至少一个活动的平行四边形框架,每个平行四边形框架由两个相对的布线枕和两个连接装置构成的,布线枕上固定有布线梳,将线布于两个相对布线枕的布线梳之间形成平行的布线阵列,然后定量改变平行四边形框架一个顶角的大小,就可以精确控制布线间距。该装置结构简单,容易实现,操作方便,成本低廉,稳固可靠,可以实现布线间距的精确控制,控制精度能达到微米级或亚微米级,为微加工技术领域的布线间距精确控制提供了一种有利的工具。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种精确控制布线间距的装置,包括至少一个活动的平行四边形框架,其特征在于:平行四边形框架的一组对边由布线枕甲(1)和布线枕乙(2)构成,另一组对边由两个连接体构成,布线枕甲(1)上固定有布线梳甲(3),布线枕乙(2)上固定有布线梳乙(4)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:贾月飞蒋家欢蔡坤宝蔡绍皙宋国立
申请(专利权)人:重庆大学
类型:发明
国别省市:85[中国|重庆]

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