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一种制造元件，尤其是制造微机械、微电子机械或微光电机械元件的方法，包括以下步骤：制造第一层复合物，其具有第一基底（２）和第一绝缘层（３），该第一绝缘层覆盖第一基底（２）的表面（１）的至少一部分；制造第二层复合物，其具有第二基底（１２）和第二...
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