【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
在生产微型机械元件的时候用于补偿由于制造所形成的偏差的方法，所述微型机械元件在一个共振频率下偏转并与至少一个弹簧件一起固定在一个框架件上， 通过刻蚀由一个基片形成一个或多个弹簧件（２）和一个偏转元件（１）； 通过刻蚀在基片中形成沟槽（５，６）并在偏转元件（１）中通过刻蚀使附加沟槽（３，３′）和／或凹陷（４）与其他附加沟槽（３，３′）和／或凹陷（４）同时形成，其特征在于，利用附加沟槽（３，３′）和／或凹陷的结构使偏转元件（１）的质量和／或质量惯性与弹簧件（２）的弹簧常数和共振频率相适应。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：托马斯克洛泽，哈拉尔德申克，亚历山大沃尔特，
申请(专利权)人：弗兰霍菲尔运输应用研究公司，
类型：发明
国别省市：DE[]
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