一种三维微型模具的制造方法技术

本发明专利技术提供了一种三维微型模具的制造方法，在各硅片上分别刻蚀出与待制造零件各层结构相应的图形，将质量百分比９８％的Ｈ↓［２］ＳＯ↓［４］与质量百分比３０％的Ｈ↓［２］Ｏ↓［２］按照体积比２～４∶１混合，采用此混合溶液对各硅片进行清洗，然后活化，再将活化后的硅片干燥，按层次迅速对准贴合，最后进行退火处理得到三维微型模具型腔。本发明专利技术能够制造出微米尺度的三维微型模具，具有精度高，成本低，柔性大的优点，适用于微齿轮轴、微阶梯轴、高深宽比三维微型结构等微机电系统（ＭＥＭＳ）器件模具的加工制造。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种三维微型模具的制造方法，包括以下步骤：（１）对待制造零件在垂直方向上进行分层，每层厚度为１０微米～３００微米；（２）选择数量与待制造零件分层数相同的硅片，在各硅片上分别刻蚀出与待制造零件各层结构相应的图形；（３）将质量百分比９８％的Ｈ↓［２］ＳＯ↓［４］与质量百分比３０％的Ｈ↓［２］Ｏ↓［２］按照体积比２～４∶１混合，采用此混合溶液对各硅片进行清洗；（４）对各硅片进行活化；（５）将活化后的硅片干燥，按层次快速对准贴合；（６）将贴合好的硅片放入退火炉内进行退火处理得到三维微型模具型腔。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：史铁林，廖广兰，王栋，聂磊，汤自荣，彭平，阮传值，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：发明
国别省市：83[中国|武汉]