磁控直流溅射系统中除气装置制造方法及图纸
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种半导体加工装置，尤其是一种磁控直流溅射系统中除气装置。
技术介绍
磁控直流溅射中，物料在加工前需对其进行除气处理，即通过加热去除物料在运输与储存过程中的湿气。现有的除气装置往往通过传输带将物料带入除气腔室内，以对其进行加热处理。然而，由于物料在传输过程中，其下端面始终保持与传输带的贴合，致使其除气效果难以得到保证。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种磁控直流溅射系统中除气装置，其可使得物料的湿气去除效果得以显著改善。为解决上述技术问题，本专利技术涉及一种磁控直流溅射系统中除气装置，其包括有除气腔室，以及延伸至除气腔室内部的传输轨道；所述除气腔室内部设置有电热源；所述除气腔室之中，传输轨道由两个彼此平行的传输链条构成，两条传输链条之中分别设置有多个传输孔，两条传输链条之中的传输孔相对；每一个传输孔内均设置有传输连杆，传输连杆采用“L”型结构，其包括有沿水平方向延伸，且与传输孔相连接的第一杆段，以及沿竖直方向延伸的第二杆段，第二杆段的端部设置有用于放置物料的置放盘，置放盘在水平方向上进行延伸。作为本专利技术的一种改进，每一个...
【技术保护点】
一种磁控直流溅射系统中除气装置，其包括有除气腔室，以及延伸至除气腔室内部的传输轨道；所述除气腔室内部设置有电热源；其特征在于，所述除气腔室之中，传输轨道由两个彼此平行的传输链条构成，两条传输链条之中分别设置有多个传输孔，两条传输链条之中的传输孔一一相对；每一个传输孔内均设置有传输连杆，传输连杆采用“L”型结构，其包括有沿水平方向延伸，且与传输孔相连接的第一杆段，以及沿竖直方向延伸的第二杆段，第二杆段的端部设置有用于放置物料的置放盘，置放盘在水平方向上进行延伸。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：史进，伍志军，
申请(专利权)人：苏州赛森电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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