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本发明公开了一种磁控直流溅射系统中除气装置，其包括有除气腔室，以及延伸至除气腔室内部的传输轨道；所述除气腔室之中，传输轨道由两个彼此平行的传输链条构成，两条传输链条之中分别设置有多个传输孔，两条传输链条之中的传输孔一一相对；每一个传输孔内均...
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