一种应用在半导体测试设备上的图像识别设备制造技术

本发明专利技术公开一种应用在半导体测试设备上的图像识别设备，其包括管镜、照明组件和探测器，其特征在于，还包括：镜头组，所述镜头组包括至少两个镜头；至少两个上下连接的分光组件，所述分光组件用于把来自所述照明组件的照明光束折/反射到与该分光组件相对应的镜头中，并从所述对应的镜头中获取图像；光路切换组件，所述光路切换组件用于开通或关闭各个镜头与分光组件之间的光路，从而实现镜头的选择；其中，所述分光组件中连接在最上层的分光组件与所述管镜连接，所述分光组件最终将不同镜头的图像光束耦合至管镜中，由探测器接收成像。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术主要涉及图像识别设备，特别的，涉及一种应用在半导体测试设备上的图像识别设备。
技术介绍
本专利技术涉及的设备是一种应用在半导体测试设备上的图像识别设备，该设备对测试对象进行图像采集后再现在计算机上，方便操作人员快速、正确的选择测试目标。我们知道在半导体测试中，所测试和分析的晶元、图案等都是微米级甚至纳米级，对图像识别设备的光学要求必须准确、快速、清晰和分辨率高，以此来保证识别的精度和准确性。与此同时，一套优良的图像识别设备除了要满足光学要求以外，也应该能够满足各种测试设备的空间需求，能在有限的空间内与多种测试设备进行匹配，这就需要我们的图像识别设备有较高的空间适应性。现有技术中的图像识别设备具有多种问题急需解决，例如，目前的半导体测试设备中的图像识别设备只有一个镜头，因此一般只能单点监控，即:在不移动图案的情况下只能观察一个区域的图案信息。另外现有的图像识别设备对各个镜片、镜头的装调空间也有一定的空间和位置要求，不能灵活变换。为了实现多点监控，急需提供一种能够配备多个不同倍率的镜头的，并且能实现在有限的设备空间中任意的切换镜头的图像识别设备。
技术实现思路
为了解决上述技术问题，根据本专利技术的一个方面公开一种应用在半导体测试设备上的图像识别设备，其包括管镜、照明组件和探测器，其特征在于，还包括:镜头组，所述镜头组包括至少两个镜头；至少两个上下连接的分光组件，所述分光组件用于把来自所述照明组件的照明光束折/反射到与该分光组件相对应的镜头中，并从所述对应的镜头中获取图像；光路切换组件，所述光路切换组件用于开通或关闭各个镜头与分光组件之间的光路，从而实现镜头的选择；其中，所述分光组件中连接在最上层的分光组件与所述管镜连接，所述分光组件最终将不同镜头的图像光束耦合至管镜中，由探测器接收成像。该设备通过各个分光组件把多个镜头中的图像光束耦合至管镜中，并在有限的设备空间中通过光路切换组件切换所需的镜头，从而实现在不重新装配或移动镜头的情况下获取不同镜头中的测量图像。该种创新的结构实现了多点监控的功能，提高了设备的使用效率。特别的，所述分光组件中连接在最下层的分光组件为全反射式组件，其余分光组件为部分反射和部分透射式组件。特别的，所述分光组件还包括反射镜；所述部分反射和部分透射式分光组件的反射镜为半反半透式反射镜；所述全反射式分光组件的反射镜为全反式反射镜。特别的，所述部分反射和部分透射式分光组件通过所述半反半透式反射镜把所述照明光束折/反射到与该分光组件相对应的镜头中；并且，所述半反半透式反射镜还用于把其获得的照明光束分光至连在其下层的分光组件中，并把其从对应的镜头中获得的图像光束或从所述下层的分光组件中获得的图像光束折/反射至与之连接的上层部件中。特别的，所述全反射式分光组件通过所述全反式反射镜把所述照明光束反射到与该分光组件相对应的镜头中；并且，所述全反射式反射镜还用于把其从对应的镜头中获得的图像光束反射至与之连接的上层部件中。特别的，棱镜，所述棱镜用于调节和控制所述分光组件和与该分光组件相对应的镜头之间的光路；所述分光组件折/反射出的照明光束经由所述棱镜折/反射到与该分光组件相对应的镜头上，所述相对应的镜头的图像光束再经原光路返回至该分光组件中。特别的，所述分光组件还包括反射镜调节支架，所述反射镜调节支架用于支撑所述反射镜并调节所述反射镜的位置。特别的，还包括棱镜调节支架，所述棱镜调节支架用于支撑所述棱镜并调节所述棱镜的位置。特别的，还包括探测器调节装置，所述探测器通过所述调节装置连接到所述管镜上；所述调节装置用来调节探测器和管镜在垂直方向和水平旋转方向上的相对位置，从而实现不同镜头下的图像匹配。特别的，所述光路切换组件包括:挡板，其用于遮挡光路；所述挡板的挡光侧具有锯齿形的黑色消光镜，以用于大幅度吸收多余的光线。特别的，所述光路切换组件还包括:气动装置，其与所述挡板连接，所述气动装置通过气动的方式来移动所述挡板，从而实现开通或关闭镜头与分光组件之间的光路。特别的，所述照明组件包括:光源接口和照明镜，所述照明组件用于提供均匀的所述照明光束。特别的，所述管镜和所述镜头之间的光路距离小于最大设计距离。本专利技术所公开的方案具有如下优点:本专利可以同时匹配2个以上的镜头，可安装同倍率镜头也可以安装不同倍率镜头，且每个镜头与管镜的光路行径距离可以不一致，这样可以利用狭小空间成像，大大改善空间的使用效率。与此同时，本专利技术可以将不同位置的镜头布在需要同时监控的位置上，通过挡板切换光路，来观察不同位置的图案，以实现多点监控。本专利技术所公开的图像识别设备镜头搭配灵活，空间适应性强。【附图说明】通过下文对结合附图所示出的实施例进行详细说明，本专利技术的上述以及其他特征将更加明显，本专利技术附图中相同或相似的标号表示相同或相似的部件；图1示出了一个根据本专利技术所公开的图像识别设备的整体外形图；图2示出了一个根据本专利技术所公开的图像识别设备的整体结构剖面图以及光束路径图；图3示出了一个根据本专利技术所公开的图像识别设备的分解结构图；图4示出了一个根据本专利技术所公开的图像识别设备中两个分光组件的位置图；图5示出了一个根据本专利技术所公开的图像识别设备中分光组件的结构图；图6示出了一个根据本专利技术所公开的图像识别设备中棱镜组件的结构图；图7示出了一个根据本专利技术所公开的图像识别设备中挡板和消光镜的结构图；以及图8示出了一个根据本专利技术所公开的图像识别设备中探测器调节装置的结构图。【具体实施方式】在以下优选的实施例的具体描述中，将参考构成本专利技术一部分的所附的附图。所附的附图通过示例的方式示出了能够实现本专利技术的特定的实施例。示例的实施例并不旨在穷尽根据本专利技术的所有实施例。图1示出了一个根据本专利技术所公开的图像识别设备的整体外形图，图1中的虚线用以表示光束。该图像识别设备主要包括探测器102、探测器调节装置104、管镜106、照明组件108、光路切换组件110、分光组件112、棱镜组件114和镜头组116。每个部分都以模块的形式设计，可独立调节、安装和拆卸，组装简单易操作。以下将介绍根据本专利技术所公开的一个具有两个分光组件112-a、112_b和两个镜头116-a、116-b的图像识别设备。需要指出的是，根据本专利技术所公开的图像识别设备不仅限于两个分光组件和两个镜头，其还可以配有两个以上的分光组件和镜头。在该具体实施例中，该设备被设计当前第1页1 2 3 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种应用在半导体测试设备上的图像识别设备，其包括管镜、照明组件和探测器，其特征在于，还包括：镜头组，所述镜头组包括至少两个镜头；至少两个上下连接的分光组件，所述分光组件用于把来自所述照明组件的照明光束折/反射到与该分光组件相对应的镜头中，并从所述对应的镜头中获取图像；光路切换组件，所述光路切换组件用于开通或关闭各个镜头与分光组件之间的光路，从而实现镜头的选择；其中，所述分光组件中连接在最上层的分光组件与所述管镜相连接，所述分光组件最终将不同镜头的图像光束耦合至管镜中，由探测器接收成像。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：叶薇薇，李宇，
申请(专利权)人：睿励科学仪器上海有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31