【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种机台结构，具体来说是一种用于提高光学设备视场稳定性的装置，用于半导体制造工艺设备中对相机视场明暗度均匀性的保持，以及色轮的平衡保持。
技术介绍
1、在现有的半导体设备中，通常需要通过ccd传感器来观察、确认设备量测内容的状态；当涉及到高精度的图像数据采集时或特征抓取时，此时就需要用到光源来照亮我们需要采集的位置或者相应的特征；为了应对不同的材料对光的折射及波长的需要，我们通常会在光源的色轮上设定不同颜色的滤光片来配合使用，这里就会涉及到色轮在运动后如何保持平衡的问题；当前大家常见的使用方法是将led光源一端固定在色轮上，然后将led光缆光纤相对垂直的固定在机台内侧上方的横梁上；由于led光缆光纤相对较粗，且自身带有一定的重力，在日常的运作使用中较容易失衡，导致在不同的色轮滤光片下的视场光亮强度及角度产生变化，从而导致视场的光亮强度存在差异，影响高精度数据及特征的抓取和数据的采集。
技术实现思路
1、现有技术存在的技术问题为：led光缆光纤随色轮的转动处于的角度变化不同，led...
【技术保护点】
1.一种用于提高光学设备视场稳定性的装置，包括光纤(1)、色轮(6)，其特征在于：
2.如权利要求1所述的用于提高光学设备视场稳定性的装置，其特征在于：所述光纤(1)与色轮(6)连接段设有一支撑件(4)，用于支撑光纤(1)使光纤连接段与色轮相对垂直。
3.如权利要求1所述的用于提高光学设备视场稳定性的装置，其特征在于：所述“一段长度”的光纤(1)位于色轮(6)上方100-200mm处。
4.如权利要求2所述的用于提高光学设备视场稳定性的装置，其特征在于：确保光纤(1)与色轮(6)最靠近的至少100mm处于自然的自由落体状态。
...【技术特征摘要】
1.一种用于提高光学设备视场稳定性的装置，包括光纤(1)、色轮(6)，其特征在于：
2.如权利要求1所述的用于提高光学设备视场稳定性的装置，其特征在于：所述光纤(1)与色轮(6)连接段设有一支撑件(4)，用于支撑光纤(1)使光纤连接段与色轮相对垂直。
3.如权利要求1所述的用于提高光学设备视场稳定性的装置，其特征在于：所述“一段长度”的光纤(1)位于色轮(6)上方100-200mm处。
4.如权利要求2所述的用于提高光学设备视场稳定性的装置，其特征在于：确保光纤(1)与色轮(6)最靠近的至少100mm处于自然的自由落体状态。
5.如权利要求1或2所述的用于提高光学设备视场稳定性的装置，其特征在于：所述光纤固定架(2)与光纤(1)之间通过1-2个光纤固定点位进行固定。
6.如权利要求2所述的用于提高光学设备视场稳定性的装置，其特征在于：色轮...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵巧成，陈利军，
申请(专利权)人：睿励科学仪器上海有限公司，
类型：新型
国别省市：
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