一种用于提高光学设备视场稳定性的装置制造方法及图纸

本技术涉及一种用于提高光学设备视场稳定性的装置，包括光纤、色轮，还包括光纤固定架，光纤固定架对光纤伸出于色轮上方的一段长度进行定位，“一段长度”的光纤与色轮同轴心。本技术中光纤随色轮的转动处于的角度变化相同，光纤下端在随色轮转动的时候，不会发生失衡的问题；不同的色轮滤光片下的视场光亮强度及角度不易产生变化，避免了视场的光亮强度的差异，提高数据及特征的抓取和数据的采集的精度；光纤固定长度保持一致，不会因为安装人员的不同而残留长度不同，从而提升了测试结果准确性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种机台结构，具体来说是一种用于提高光学设备视场稳定性的装置，用于半导体制造工艺设备中对相机视场明暗度均匀性的保持，以及色轮的平衡保持。

技术介绍

1、在现有的半导体设备中，通常需要通过ccd传感器来观察、确认设备量测内容的状态；当涉及到高精度的图像数据采集时或特征抓取时，此时就需要用到光源来照亮我们需要采集的位置或者相应的特征；为了应对不同的材料对光的折射及波长的需要，我们通常会在光源的色轮上设定不同颜色的滤光片来配合使用，这里就会涉及到色轮在运动后如何保持平衡的问题；当前大家常见的使用方法是将led光源一端固定在色轮上，然后将led光缆光纤相对垂直的固定在机台内侧上方的横梁上；由于led光缆光纤相对较粗，且自身带有一定的重力，在日常的运作使用中较容易失衡，导致在不同的色轮滤光片下的视场光亮强度及角度产生变化，从而导致视场的光亮强度存在差异，影响高精度数据及特征的抓取和数据的采集。

技术实现思路

1、现有技术存在的技术问题为：led光缆光纤随色轮的转动处于的角度变化不同，led光缆光纤所受到的外力会导致相机视场变化；led光缆光纤固定长度随安装人员的不同而残留长度不同，从而影响度状态和测试结果。

2、因此，本技术旨在提供一种用于提高光学设备视场稳定性的装置，既可以确保色轮在旋转运动状态下处于平衡状态，又可以保持视场光亮明暗度的相对均衡。具体采取以下技术方案：

3、一种用于提高光学设备视场稳定性的装置，包括光纤1、色轮6，还包括光纤固定架2，所述光纤固定架2对光纤1位于色轮6上方的一段长度进行定位，使得所述“一段长度”的光纤1与色轮6同轴心。

4、优选的，所述光纤1与色轮6连接段的安装一支撑件4，用于确保光纤1连接段与色轮相对垂直。

5、优选的，所述“一段长度”的光纤1位于色轮6上方100-200mm处。

6、进一步的，确保光纤1与色轮6最靠近的至少100mm处于自然的自由落体状态。

7、进一步的，所述光纤固定架2与光纤1之间通过1-2个光纤固定点位进行固定。

8、进一步的，色轮6固定在色轮架上，光纤固定架2一端通过螺栓固定安装在所述色轮架上，另一端向上延伸平行于色轮中轴线，并与光纤1通过扎带绑扎固定。

9、优选的，光纤1的长度可调整，调整后使得：光纤对色轮的负载降低为0或设定值以下。

10、优选的，与所述“一段长度”的光纤1对应的光纤固定架2的横截面呈凹形，半包裹住所述光纤1。

11、优选的，所述光纤固定架2呈l形，下端与光纤1固定，上通过龙骨固定螺栓7与外部结构固定。

12、优选的，所述光纤固定架2呈z形，上端与光纤1固定，下端与色轮架固定。

13、本技术中的有益效果在于：

14、1)光纤随色轮的转动处于的角度变化相同，光纤下端在随色轮转动的时候，不会发生失衡的问题；

15、2)不同的色轮滤光片下的视场光亮强度及角度不易产生变化，避免了视场的光亮强度的差异，提高数据及特征的抓取和数据的采集的精度；

16、3)光纤固定长度保持一致，不会因为安装人员的不同而残留长度不同，从而提升了测试结果准确性。

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【技术保护点】

1.一种用于提高光学设备视场稳定性的装置，包括光纤(1)、色轮(6)，其特征在于：

2.如权利要求1所述的用于提高光学设备视场稳定性的装置，其特征在于：所述光纤(1)与色轮(6)连接段设有一支撑件(4)，用于支撑光纤(1)使光纤连接段与色轮相对垂直。

3.如权利要求1所述的用于提高光学设备视场稳定性的装置，其特征在于：所述“一段长度”的光纤(1)位于色轮(6)上方100-200mm处。

4.如权利要求2所述的用于提高光学设备视场稳定性的装置，其特征在于：确保光纤(1)与色轮(6)最靠近的至少100mm处于自然的自由落体状态。

5.如权利要求1或2所述的用于提高光学设备视场稳定性的装置，其特征在于：所述光纤固定架(2)与光纤(1)之间通过1-2个光纤固定点位进行固定。

6.如权利要求2所述的用于提高光学设备视场稳定性的装置，其特征在于：色轮(6)固定在色轮架上，光纤固定架(2)一端通过螺栓固定安装在所述色轮架上，另一端向上延伸平行于色轮中轴线，并与光纤(1)通过扎带绑扎固定。

7.如权利要求1或2所述的用于提高光学设备视场稳定性的装置，其特征在于：光纤(1)的长度可调整，调整后使得：光纤对色轮的负载降低为0或设定值以下。

8.如权利要求1或2所述的用于提高光学设备视场稳定性的装置，其特征在于：与所述“一段长度”的光纤(1)对应的光纤固定架(2)的横截面呈凹形，半包裹住所述光纤(1)。

9.如权利要求1或2所述的用于提高光学设备视场稳定性的装置，其特征在于：所述光纤固定架(2)呈L形，下端与光纤(1)固定，上通过龙骨固定螺栓(7)与外部结构固定。

10.如权利要求1或2所述的用于提高光学设备视场稳定性的装置，其特征在于：所述光纤固定架(2)呈Z形，上端与光纤(1)固定，下端与色轮架固定。

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【技术特征摘要】

1.一种用于提高光学设备视场稳定性的装置，包括光纤(1)、色轮(6)，其特征在于：

2.如权利要求1所述的用于提高光学设备视场稳定性的装置，其特征在于：所述光纤(1)与色轮(6)连接段设有一支撑件(4)，用于支撑光纤(1)使光纤连接段与色轮相对垂直。

3.如权利要求1所述的用于提高光学设备视场稳定性的装置，其特征在于：所述“一段长度”的光纤(1)位于色轮(6)上方100-200mm处。

4.如权利要求2所述的用于提高光学设备视场稳定性的装置，其特征在于：确保光纤(1)与色轮(6)最靠近的至少100mm处于自然的自由落体状态。

5.如权利要求1或2所述的用于提高光学设备视场稳定性的装置，其特征在于：所述光纤固定架(2)与光纤(1)之间通过1-2个光纤固定点位进行固定。

6.如权利要求2所述的用于提高光学设备视场稳定性的装置，其特征在于：色轮...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵巧成，陈利军，
申请(专利权)人：睿励科学仪器上海有限公司，
类型：新型
国别省市：