沉积源制造技术

本发明专利技术公开一种沉积源，根据本发明专利技术一个实施例的沉积源包括：主体部件，形成为能够使有机物向上侧排出；发热单元，形成于所述主体部件而用于对所述主体部件进行加热。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开一种沉积源，根据本专利技术一个实施例的沉积源包括：主体部件，形成为能够使有机物向上侧排出；发热单元，形成于所述主体部件而用于对所述主体部件进行加热。【专利说明】 沉积源
本专利技术涉及一种沉积源，尤其涉及一种用于在基板上沉积有机物的沉积源。
技术介绍
作为收容沉积材料的容器的沉积源是由当电流通过壁(部件)时温度上升的电阻材料制成。当沉积源被施加电流时，其内部的沉积材料便在来自沉积源壁的辐射热以及与壁接触而获得的传递热的作用下被加热。沉积源的上方部件上形成有用于使汽化的材料蒸汽向外界排出的蒸汽排出开口。 另外，随着基板的大型化，沉积源的大小也将增加。沉积源的大小越大，整个沉积源的温度越难以均匀地形成。如果整个沉积源的温度不均匀，则从沉积源蒸发的有机物量也按区域而不同。由此导致有机物难以在基板上形成均匀厚度的问题。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题为提供一种可以在主体部件上形成均匀的温度的沉积源。 根据本专利技术一个实施例的沉积源包括:主体部件，形成为能够使有机物向上侧排出；发热单元，形成于所述主体部件而用于对所述主体部件进行加热。 在一个实施例中，所述发热单元可形成于所述主体部件的表面上。 在一个实施例中，所述主体部件可以形成有内部空间，而所述发热单元可形成于包围所述主体部件的内部空间的所述主体部件的内壁面上。 在一个实施例中，所述发热单元可形成为带状。 在一个实施例中，所述发热单元可包括:第一发热部，形成于所述主体部件的局部；第二发热部，形成于所述主体部件中除了形成有所述第一发热部的部分以外的其余部分。 在一个实施例中，所述第一发热部能以将所述主体部件划分为左侧和右侧的中心为基准而形成于所述主体部件的右侧和左侧中的某一区域，而所述第二发热部可形成于其余区域。 在一个实施例中，所述第一发热部可形成于所述主体部件的中央区域，而所述第二发热部可分别形成于除了所述第一发热部以外的所述主体部件的两侧。 在一个实施例中，所述第二发热部可以比所述第一发热部更密集。 在一个实施例中，可以包括一个向所述第一发热部和第二发热部供应电源的电源部。 根据本专利技术一个实施例的沉积源借助发热单元而在整个主体部件的温度均匀的状态下实现有机物的汽化，从而可以将有机物以均匀的厚度沉积于基板上。由此可以提高有机物沉积的可靠性。 【专利附图】【附图说明】 图1为表示根据本专利技术第一实施例的沉积源的立体图。 图2是在图1所示沉积源中沿着A-A’区域截取的剖面图。 图3为表示图1所示沉积源的侧面图。 图4为表示根据本专利技术第二实施例的沉积源的立体图。 图5为表示图4所示沉积源中的发热单元的变形例的图。 图6为表示根据本专利技术第三实施例的沉积源的立体图。 图7a和图7b为在利用根据比较例的沉积源而将有机物沉积于基板的情况下测定的温度偏差和在该温度偏差下沉积于基板上的有机物厚度的曲线图。 图8a和图Sb为在利用基于实施例的沉积源而将有机物沉积于基板的情况下测定的温度偏差和在该温度偏差下沉积于基板上的有机物厚度的曲线图。 符号说明: 10:有机物100、200、300:沉积源 110:主体部件111:开口部 120,220,320:发热单元 221、321:第一发热部 222,322a,322b:第二发热部 【具体实施方式】 以下，参照附图对本专利技术实施例进行详细说明，以使本专利技术所属
中具有普通知识的人员容易实施。本专利技术可用多种不同形态实现，并不局限于所说明的实施例。 而且，在各实施例中，具有相同构成的构成要素用同一符号表示，并只在具有代表性的第一实施例中进行说明，而在其余实施例中只对与第一实施例不同的构成进行说明。 为了明确说明本专利技术而省略与本专利技术无关的部分，且在整个说明书中，用同一附图标记表示相同或相似的构成要素。 在整个说明书中，所谓某一部分与其他部分“连接”的含义不仅包括“直接连接”的情况，也包括中间隔着其他部件“间接连接”的情况。并且，在没有特别的相反记载时，所谓某一部分包括某个构成要素并不是说排出其他构成要素，而是说还可以包含其他构成要素。 图1为表示根据本专利技术第一实施例的沉积源的立体图，图2是在图1所示沉积源中沿着A-A’区域截取的剖面图，图3为表示图1所示沉积源的侧面图。 参照图1?图3，沉积源100包括主体部件110和发热单元120。 主体部件110用于向上侧排出有机物10。为此，可在主体部件110的上侧形成开口部111。开口部111可以是具有特定直径的孔。与之不同，开口部111还可以是喷嘴。被汽化的有机物10可通过这种开口部111向外界排出。 主体部件110形成沉积源100的外形。主体部件110的形状例如可以是圆柱形、四棱柱形等。在本专利技术的一个实施例中是以主体部件110的形状为四棱柱形的情形为例进行说明。 发热单元120用于向所述主体部件110供热。发热单元120可贯穿整个主体部件110而形成。发热单元120可形成于主体部件110的表面。与之不同，也可以在主体部件110上形成内部空间，并使发热单元120形成于包围主体部件110的内部空间的主体部件110的内壁面上。 这种发热单元120的形状例如可以是带(Ribbon)状。带状相比于圆筒形线圈，更能提高与主体部件110的接触面积。正如这样，通过使发热单元120形成为带状(B卩，呈现特定宽度的膜片形状)，从而可以使发热单元120产生的热量更为有效地传递到主体部件110。 图4为表示根据本专利技术第二实施例的沉积源的立体图。 参照图4，根据本专利技术第二实施例的沉积源200与根据前述第一实施例的沉积源100 (参照图1)不同，可按各区域分别形成不同形状的发热单元220。为此，发热单元220可包括第一发热部221和第二发热部222。 第一发热部221可形成于主体部件110的局部。并且，第二发热部222可形成于主体部件110上除了形成第一发热部221的部分以外的其余部分上。 例如，第一发热部221以将主体部件110划分为左侧和右侧的中心为基准而形成于主体部件110的右侧和左侧中的某一区域中，而第二发热部221形成于其余区域。S卩，如果第一发热部221形成于主体部件110的左侧区域，则第二发热部222可形成于主体部件110的右侧区域。 与之不同而也可以如图5所示地在第一发热部221形成于主体部件110的右侧区域时，第二发热部222形成于主体部件110的左侧区域。 其中，第二发热部222可以形成得比第一发热部221更密集。据此，第二发热部222可将相对多于第一发热部221的热量供应给主体部件110。 对由这种结构构成的发热单元120的动作过程进行简要说明。其中，假定主体部件110的右侧温度低于左侧温度，并假定第二发热部222形成于主体部件110的右侧。 当第一发热部221和第二发热部222被施加电源时，从第一发热部221和第二发热部222产生热量。主体部件110的左侧得到由第一发热部221产生的热量供应，而主体部件110的右侧得到由第二发热部222产生的热量供应。 其中，由于第二发热部222形成为比第一发热部221密集，因此第二发热部222可以产生本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种沉积源，包括：主体部件，形成为能够使有机物向上侧排出；发热单元，形成于所述主体部件而用于对所述主体部件进行加热。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：张熙宣，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR