一种沉积源和有机层沉积装置，其可以简单地用于制造大规模的大尺寸显示装置，并且可以防止或者基本防止沉积源喷嘴在沉积材料的沉积过程中被阻塞，从而提高制造产量和沉积效率。沉积源包括具有多个第一沉积源喷嘴的第一沉积源；以及具有多个第二沉积源喷嘴的第二沉积源，其中所述多个第一沉积源喷嘴和所述多个第二沉积源喷嘴朝向彼此倾斜。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术的实施方式的各方面涉及沉积源和有机层沉积装置，更具体地，涉及能简单用于生产大规模的大尺寸显示装置并能防止或基本防止沉积源喷嘴在沉积过程中被阻塞的沉积源和有机层沉积装置。
技术介绍
与其它显示装置相比，有机发光显示装置具有更大的视角、更好的对比度特性以及更快的响应速度，因而作为下一代显示装置而备受瞩目。有机发光显示装置通常具有层叠结构，该层叠结构包括阳极、阴极、以及插入阳极与阴极之间的发射层。当从阳极和阴极分别注入的空穴和电子在发射层中复合从而发出光线时，这些装置显示彩色图像。通过这种结构难以获得高发光效率，因此在发射层与这些电极中的每一个之间任选附加地插入包括电子注入层、电子传输层、空穴传输层、空穴注入层等的中间层。另外，实际上很难在例如发射层和中间层的有机薄膜中形成精细图案，而且红色、 绿色以及蓝色发光效率根据有机薄膜改变。为了这些原因，不容易通过利用传统的有机层沉积装置在大衬底(例如具有5G或更大尺寸的母体玻璃)上形成有机薄膜图案，因而难以制造具有满意的驱动电压、电流密度、亮度、颜色纯度、发光效率以及寿命特性的大型有机发光显示装置。因此，就这一点而言存在改进的需求。
技术实现思路
根据本专利技术的实施方式的方面，沉积源和有机层沉积装置可以被简单制造、可以简单地用于生产大规模的大尺寸显示装置，并且可以防止或基本防止沉积源喷嘴在沉积过程中被阻塞。根据本专利技术的实施方式，沉积源包括第一沉积源和第二沉积源，均沿第一方向设置；第一沉积源喷嘴单元，位于所述第一沉积源的侧面，并且包括在所述第一方向设置的多个第一沉积源喷嘴；第二沉积源喷嘴单元，位于所述第二沉积源的侧面，并且包括在所述第一方向设置的多个第二沉积源喷嘴；一对第一突出反射器，被设置在所述多个第一沉积源喷嘴的相对两侧，其中所述多个第一沉积源喷嘴位于所述第一突出反射器之间；以及一对第二突出反射器，被设置在所述多个第二沉积源喷嘴的相对两侧，其中所述多个第二沉积源喷嘴位于所述第二突出反射器之间，其中所述多个第一沉积源喷嘴和所述多个第二沉积源喷嘴朝向彼此倾斜。从所述第一沉积源可以排放主体材料，而且从所述第二沉积源可以排放掺杂物材料。 该沉积源可以进一步包括第三突出反射器，所述第三突出反射器连接所述第一突出反射器中的一个的一端和所述第一突出反射器中的另一个的一端。所述第一突出反射器中的一个的所述一端和所述第一突出反射器中的另一个的所述一端均可以邻近所述第二沉积源。该沉积源可以进一步包括第四突出反射器，所述第四突出反射器连接所述第二突出反射器中的一个的一端和所述第二突出反射器中的另一个的一端。所述第二突出反射器中的一个的所述一端和所述第二突出反射器中的另一个的所述一端均可以邻近所述第一沉积源。所述第一突出反射器的高度可以大于或者等于所述第一沉积源喷嘴的高度。所述第二突出反射器的高度可以大于或者等于所述第二沉积源喷嘴的高度。在一个实施方式中，在所述多个第一沉积源喷嘴之中最靠近所述第二沉积源的沉积源喷嘴是虚拟喷嘴，并且所述虚拟喷嘴中没有孔，以使得所述第一沉积源中包含的沉积材料不能够通过所述虚拟喷嘴排放。在一个实施方式中，在所述多个第二沉积源喷嘴之中最靠近所述第一沉积源的沉积源喷嘴是虚拟喷嘴，并且所述虚拟喷嘴中没有孔，以使得所述第二沉积源中包含的沉积材料不能够通过所述虚拟喷嘴排放。根据本专利技术的另一实施方式，用于在衬底上形成薄膜的有机层沉积装置包括沉积源，用于排放沉积材料；沉积源喷嘴单元，位于所述沉积源的侧面，并且包括在第一方向设置的多个沉积源喷嘴；以及图案化缝隙片，位于所述沉积源喷嘴单元的对面，并且具有在与所述第一方向垂直的第二方向设置的多个图案化缝隙。该衬底在所述第一方向相对于所述有机层沉积装置可移动以用于执行沉积。所述沉积源包括第一沉积源和第二沉积源，以用于排放不同的材料。所述沉积源喷嘴单元包括第一沉积源喷嘴单元，位于所述第一沉积源的侧面，并且包括在所述第一方向设置的多个第一沉积源喷嘴；以及第二沉积源喷嘴单元，位于所述第二沉积源的侧面，并且包括在所述第一方向设置的多个第二沉积源喷嘴。所述多个第一沉积源喷嘴和所述多个第二沉积源喷嘴倾斜预定的角度。从所述第一沉积源可排放主体材料，而且从所述第二沉积源可排放掺杂物材料。 所述第一沉积源和所述第二沉积源均可以沿所述第一方向设置。所述第一沉积源喷嘴单元可以进一步包括均设置在所述多个第一沉积源喷嘴的相对两侧的第一突出反射器和第二突出反射器，其中所述多个第一沉积源喷嘴位于所述第一突出反射器与所述第二突出反射器之间。该有机层沉积装置可以进一步包括第三突出反射器，所述第三突出反射器连接所述第一突出反射器的一端和所述第二突出反射器的一端。所述第一突出反射器的所述一端和所述第二突出反射器的所述一端可以邻近所述第二沉积源。所述第一突出反射器和所述第二突出反射器的高度可以大于或者等于所述第一沉积源喷嘴的高度。在一个实施方式中，在所述多个第一沉积源喷嘴之中最靠近所述第二沉积源的沉积源喷嘴是虚拟喷嘴并且所述虚拟喷嘴中没有孔，以使得所述第一沉积源中包含的沉积材料不能够通过所述虚拟喷嘴排放。所述第二沉积源喷嘴单元可以进一步包括均设置在所述多个第二沉积源喷嘴的相对两侧的第四突出反射器和第五突出反射器，其中所述多个第二沉积源喷嘴位于所述第四突出反射器与所述第五突出反射器之间。该有机层沉积装置可以进一步包括第六突出反射器，所述第六突出反射器连接所述第四突出反射器的一端和所述第五突出反射器的一端。所述第四突出反射器的所述一端和所述第五突出反射器的所述一端可以邻近所述第一沉积源。所述第四突出反射器和所述第五突出反射器的高度可以大于或者等于所述第二沉积源喷嘴的高度。在一个实施方式中，在所述多个第二沉积源喷嘴之中最靠近所述第一沉积源的沉积源喷嘴是虚拟喷嘴并且所述虚拟喷嘴中没有孔，以使得所述第二沉积源中包含的沉积材料不能够通过所述虚拟喷嘴排放。所述沉积源、所述沉积源喷嘴单元、以及所述图案化缝隙片可以形成为一体，例如通过连接部件彼此连接。该装置可以进一步包括至少一个连接部件，所述至少一个连接部件被连接于所述沉积源喷嘴单元与所述图案化缝隙片之间，所述至少一个连接部件被配置成引导所述沉积材料的移动。所述至少一个连接部件可以被形成为密封所述沉积源、所述沉积源喷嘴单元与所述图案化缝隙片之间的空间。该有机层沉积装置可以与所述衬底隔开一定距离。当所述衬底在所述第一方向相对于所述有机层沉积装置移动时，所述沉积材料被连续沉积在所述衬底上。所述图案化缝隙片可以小于所述衬底。从所述第一沉积源排放的主体材料中的至少一部分可以与从所述第二沉积源排放的掺杂物材料中的至少一部分混合。所述第一沉积源和所述第二沉积源可以设置在所述第一方向上以使彼此平行。所述多个第一沉积源喷嘴和所述第二沉积源喷嘴面向彼此倾斜。所述多个第一沉积源喷嘴和所述多个第二沉积源喷嘴可以以从所述第一沉积源排放的主体材料与从所述第二沉积源排放的掺杂物材料的混合比在整个所述衬底上被维持恒定的方式倾斜。所述第一沉积源和所述第二沉积源可以是线性沉积源。所述多个第一沉积源喷嘴或者所述多个第二沉积源喷嘴中的至少一个的沉积源喷嘴的下端部分可以具有弯曲表面。附图说明本专利技术的以上和其它特征将通过参照附图详细描述的本专利技术的一些示例性实施本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：崔永默，康熙哲，金綵雄，金茂显，李东规，
申请(专利权)人：三星移动显示器株式会社，
类型：发明
国别省市：
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