【技术实现步骤摘要】
本专利技术实施例的多个方面涉及一种沉积源和包括这种沉积源的沉积设备。
技术介绍
为形成用于电子装置中的精细薄膜，采用了多种方法。尤其是，平板显示装置通过形成多个薄膜制造而成，因此改善薄膜的特性尤为重要。在平板显示装置当中，有机发光显示装置由于相比于其它平板显示装置具有诸如大视角、高对比度以及快响应速度的优点，而被视为下一代显示装置。在有机发光显示装置中，发射可见光的有机发光层和接近有机发光层的有机层通过利用各种方法形成。尤其是，真空沉积方法由于其简单的工艺而经常被使用。在真空沉积方法中，将粉状或固态的沉积材料填充到熔炉中，并通过对熔炉进行加热而在期望的区域上形成沉积膜。
技术实现思路
根据本专利技术实施例的多个方面，沉积源能够提高宿主材料和掺杂剂材料的真空沉积区域的均匀性以及宿主材料和掺杂剂材料的真空沉积率，并且沉积设备包括这种沉积源。根据本专利技术实施例，一种沉积源包括掺杂剂蒸发源；第一宿主蒸发源，包括位于所述掺杂剂蒸发源的一侧的第一蒸发源单元和位于所述掺杂剂蒸发源的另一侧的第二蒸发源单元；以及第二宿主蒸发源，包括位于所述掺杂剂蒸发源的所述一侧且与所述第一蒸发源...
【技术保护点】
一种沉积源，包括：掺杂剂蒸发源；第一宿主蒸发源，包括位于所述掺杂剂蒸发源的一侧的第一蒸发源单元和位于所述掺杂剂蒸发源的另一侧的第二蒸发源单元；以及第二宿主蒸发源，包括位于所述掺杂剂蒸发源的所述一侧且与所述第一蒸发源单元平行布置的第三蒸发源单元，和位于所述掺杂剂蒸发源的所述另一侧且与所述第二蒸发源单元平行布置的第四蒸发源单元。
【技术特征摘要】
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