下载沉积源及包括这种沉积源的沉积设备的技术资料

文档序号:8239440

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种沉积源及包括这种沉积源的沉积设备。所述沉积源包括:掺杂剂蒸发源;第一宿主蒸发源,包括位于所述掺杂剂蒸发源的一侧的第一蒸发源单元和位于所述掺杂剂蒸发源的另一侧的第二蒸发源单元;以及第二宿主蒸发源,包括位于所述掺杂剂蒸发源的所述一...
该专利属于三星显示有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三星显示有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。