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沉积源及包括这种沉积源的沉积设备制造技术
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文档序号:8239440
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本发明提供一种沉积源及包括这种沉积源的沉积设备。所述沉积源包括:掺杂剂蒸发源;第一宿主蒸发源,包括位于所述掺杂剂蒸发源的一侧的第一蒸发源单元和位于所述掺杂剂蒸发源的另一侧的第二蒸发源单元;以及第二宿主蒸发源,包括位于所述掺杂剂蒸发源的所述一...
该专利属于三星显示有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三星显示有限公司授权不得商用。
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