一种有机材料蒸发源制造技术

本实用新型专利技术提供一种有机材料蒸发源，包括桶状的本体以及设置于本体顶部的盖子，所述盖子上开设有孔，本体的底部为伸入本体中心的锥体状，本体的外侧设置有与本体形状对应的加热套。本实用新型专利技术所述有机材料蒸发源将本体由平底改为内锥式底部，并在本体外侧设置与本体形状对应的加热套，本体下部与上部均可以对有机材料进行加热，不易二次结晶固化，达到了防止堵孔效果，同时改进了现有技术中有机材料仅由本体外部进行单侧加热的技术方案，采用外侧与中心同时加热的结构，使有机材料受热更为均匀，蒸镀速率也更为稳定。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及ー种有机发光二极管显示器件(OLED)制备成膜过程中的有机材料蒸发源。
技术介绍
目前，在OLED制备过程中，可以通过多种方法实现有机材料成膜。通常情况下，小分子材料采用在真空状态下蒸镀的方法，大分子材料采用溶解为流体进行常态涂敷的方法，如旋转(spin)涂敷方式或狭缝(slit)涂敷方式。小分子材料真空状态下蒸镀的常用方法是，将预定好的具有图案(pattern)的掩模板(mask)排列在玻璃基板下方,然后将有机材料蒸镀到玻璃基板上。使用这种生产技 术，其蒸镀装置的设置非常重要。目前，一般使用的蒸镀装置为桶状体再加上盖子，在盖子上设有多个小孔，以便被蒸镀的有机材料通过该小孔蒸镀到玻璃基板表面。但是，这种蒸镀装置往往会在其底部与上部形成温度差，当达到有机材料的临界温度吋，有机材料可能会固化结晶进而堵塞小孔，影响蒸镀速率。另外，桶状体蒸镀装置对于材料的加热也会产生温度分布不均匀的现象，材料中心温度低于外侧的温度，从而导致材料蒸发速率的不稳定。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种有机材料蒸发源，该蒸发源具有加热均匀、防止堵孔，蒸镀速率稳定的优点，适合真空环境下有机发光显示器件的制备本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种有机材料蒸发源，其特征在于：包括桶状的本体(3)以及设置于本体(3)顶部的盖子(1)，所述盖子(1)上开设有孔，本体(3)的底部为伸入本体中心的锥体状，本体(3)的外侧设置有与本体形状对应的加热套(4)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：周军鹏，
申请(专利权)人：彩虹佛山平板显示有限公司，
类型：实用新型
国别省市：