本实用新型专利技术提供一种具有超声波除尘功能的光学镀膜装置，包括：真空间、用于承载待镀件的转盘、与所述待镀件相对设置的蒸发源、支撑杆、通过所述支撑杆位于所述转盘和所述蒸发源之间的遮板组、超声波发生器和超声波换能器；其中，所述转盘、所述蒸发源、所述支撑杆和所述遮板组均位于所述真空间内，所述超声波发生器和所述超声波换能器电连接，所述超声波换能器和所述转盘机械连接。使用本实用新型专利技术的具有超声波除尘功能的光学镀膜装置，可以除去待镀件清洗之后送入镀膜装置之前染上的灰尘，保证镀膜的质量。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及光学镀膜领域，尤其涉及具有超声波除尘功能的光学镀膜装置。
技术介绍
光学镀膜在光学仪器上应用非常广泛，它是在光学零件表面上镀上ー层或多层光学薄膜的エ艺过程，通过该エ艺过程可以改变照射在光学零件上的光波的传输特性。光学薄膜的制作通常采用物理蒸镀法，就是将薄膜材料由固态转化为气态或离子态，气态或离子态的薄膜材料从蒸发源到达待镀件，在待镀件上沉积而形成薄膜。并且，为了制作高纯度的光学薄膜，通常采用真空镀膜。所以，一般地，光学镀膜的过程是清洗待镀件，将待镀件放置在支撑待镀件的物体上，送入镀膜装置，然后将镀膜装置抽成真空，在真空环境下对待镀件进行镀膜。上述的技术方案存在的缺点是，清洗待镀件的环境不是真空环境，清洗后的待镀件被送入镀膜装置之前会与外界环境接触，这样有可能使得待镀件再度染上灰尘。·公开于该技术
技术介绍
部分的信息仅仅g在加深对本技术的一般
技术介绍
的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域技术人员所公知的现有技术。
技术实现思路
针对上述缺陷，本技术提供ー种具有超声波除尘功能的光学镀膜装置。本技术的具有超声波除尘功能的光学镀膜装置包括真空间、用于承载待镀件的转盘、与所述待镀件相对设置的蒸发源、支撑杆、通过所述支撑杆位于所述转盘和所述蒸发源之间的遮板组、超声波发生器和超声波换能器；其中，所述转盘、所述蒸发源、所述支撑杆和所述遮板组均位于所述真空间内，所述超声波发生器和所述超声波换能器电连接，所述超声波换能器和所述转盘机械连接。如上所述的具有超声波除尘功能的光学镀膜装置，其中，所述遮板组包括多个具有不同形状的遮板，所述支撑杆伸出所述真空间。如上所述的具有超声波除尘功能的光学镀膜装置，其中，还包括用于带动所述支撑杆旋转以在所述遮板组中选择具有特定形状的遮板的第一电机。如上所述的具有超声波除尘功能的光学镀膜装置，其中，还包括用于带动所述转盘旋转的第二电机，所述第二电机位于所述真空间外，并与所述转盘机械连接。如上所述的具有超声波除尘功能的光学镀膜装置，其中，所述转盘位于所述真空间的上部，所述待镀件位于所述转盘的底面。如上所述的具有超声波除尘功能的光学镀膜装置，其中，所述超声波发生器和所述超声波换能器都在真空间外。使用本技术的具有超声波除尘功能的光学镀膜装置，可以除去待镀件清洗之后送入镀膜装置之前染上的灰尘，保证镀膜的质量。通过纳入本文的附图以及随后与附图一起用于说明本技术的某些原理的具体实施方式，本技术的装置所具有的其它特征和优点将变得清楚或更为具体地得以阐明。附图说明图I为本技术具有超声波除尘功能的光学镀膜装置的一实施例的结构图；图2为本技术具有超声波除尘功能的光学镀膜装置的另ー实施例中遮板组的放大图；图3为本技术具有超声波除尘功能的光学镀膜装置的另ー实施例的结构图；图4为本技术具有超声波除尘功能的光学镀膜装置的另ー实施例的结构图。应当了解，所附附图并非按比例地显示了本技术的基本原理的图示性的 各种特征的略微简化的画法。本文所公开的本技术的具体设计特征包括例如具体尺寸、方向、位置和外形将部分地由具体所要应用和使用的环境来确定。在这些图形中，贯穿附图的多幅图形，附图标记引用本技术的同样的或等同的部分。具体实施方式
技术介绍
中提到现有技术中光学镀膜的技术方案存在缺陷待镀件送入镀膜装置之前，会被轻度再污染，影响镀膜的质量。因此，本技术设计了具有超声波除尘功能的光学镀膜装置以克服现有技术中的缺陷。图I为本技术具有超声波除尘功能的光学镀膜装置的一实施例的结构图，如图I所示，该装置包括真空间I、用于承载待镀件3的转盘2、与待镀件3相对设置的蒸发源4、支撑杆5、通过支撑杆5位于转盘2和蒸发源4之间的遮板11遮板11组6、超声波发生器7和超声波换能器8。其中，转盘2、蒸发源4、支撑杆5和遮板11遮板11组6均位于真空间I内，超声波发生器7和超声波换能器8电连接，超声波换能器8和转盘2机械连接。由于需要在真空环境中进行光学镀膜，所以需要ー个封闭的环境，本技术中真空间I就起到这样的作用。转盘2可以转动，由于转盘2承载待镀件3，待镀件3也是可以转动的。待镀件3随转盘2转动的同吋，对蒸发源4进行加热使蒸发源4蒸发并最终沉积在待镀件3的表面形成薄膜。遮板11遮板11组6可以控制待镀件3上的镀膜形状，并且必须位于转盘2和蒸发源4之间，才能起到上述的作用，本技术中，支撑杆5使得遮板11遮板11组6可以位于转盘2和蒸发源4之间。超声波发生器7发出高频振荡信号，超声波换能器8将高频振荡信号转换成高频机械震荡。由于超声波换能器8与转盘2机械连接，转盘2也会震荡。在震荡的作用下，承载在转盘2上的待镀件3上的灰尘会被除棹。图I中示出的情况是，转盘2在真空间I的上部，当然，转盘2可以在真空间I的其他部位，只要遮板11遮板11组6处于待镀件3和蒸发源4之间；超声波发生器7和超声波换能器8都在真空间I外部，当然两者也都可以在真空间I内部。下面介绍使用本技术的光学镀膜装置进行镀膜的过程。在真空间Iタト，清洗待镀件3，并将待镀件3放置在转盘2上。然后将转盘2安装在真空间I内，并打开本技术的具有超声波除尘功能的光学镀膜装置的除尘功能，对待镀件3进行除尘。除尘之后将真空间I抽成真空，然后打开本技术的具有超声波除尘功能的光学镀膜装置的镀膜功能，最終完成对待镀件3高质量的镀膜。由上述的技术方案可知，使用本技术的具有超声波除尘功能的光学镀膜装置，可以除去待镀件清洗之后送入镀膜装置之前染上的灰尘，保证镀膜的质量。进ー步地，遮板组6包括多个具有不同形状的遮板11，支撑杆5伸出真空间I。对于待镀件3，很多时候都希望在待镀件3上镀上多层不同形状的膜，此时就需要多种具有不同形状的板作为遮板，通过扭动支撑杆5就可实现选择具有特定形状的遮板。遮板组6可以采用四遮板结构，图2为本技术具有超声波除尘功能的光学镀膜装置的另ー实施例中遮板组的放大图，如图2所示，遮板组6呈十字形结构，且由四个遮板11构成，每个遮板11的形状可以根据镀膜需要而设。优选地，采用电机驱动支撑杆5，此时本技术的装置还包括用于带动支撑杆5旋转以在遮板11遮板11组6中选择具有特定形状的遮板11的第一电机9，以提高该装置的自动化程度，具体可以參见图3，图3为本技术具有超声波除尘功能的光学镀膜装置的另ー实施例的结构图。优选地，本技术的装置还可以包括用于带动转盘2旋转的第二电机10，第二电机10位于真空间Iタト，并与转盘2机械连接，以提高该装置的自动化程度，具体可以參见图4，图4为本技术具有超声波除尘功能的光学镀膜装置的另ー实施例的结构图。可选地，转盘2位于真空间I的上部，待镀件3位于转盘2的底面。进ー步地，超声波发生器7和超声波换能器8都在真空间Iタト，这样，可以减小真空间I的体积，以减少抽真空的工作量。权利要求1.一种具有超声波除尘功能的光学镀膜装置，其特征在于，包括真空间、用于承载待镀件的转盘、与所述待镀件相对设置的蒸发源、支撑杆、通过所述支撑杆位于所述转盘和所述蒸发源之间的遮板组、超声波发生器和超声波换能器； 其中，所述转盘、所述蒸发源、所述支撑杆和所述遮板组均本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种具有超声波除尘功能的光学镀膜装置，其特征在于，包括：真空间、用于承载待镀件的转盘、与所述待镀件相对设置的蒸发源、支撑杆、通过所述支撑杆位于所述转盘和所述蒸发源之间的遮板组、超声波发生器和超声波换能器；其中，所述转盘、所述蒸发源、所述支撑杆和所述遮板组均位于所述真空间内，所述超声波发生器和所述超声波换能器电连接，所述超声波换能器和所述转盘机械连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：詹君，孙鸣洋，刘艾河，
申请(专利权)人：湖北山鹰光学有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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