沉积罩制造技术

一种沉积罩，包含底板、第一侧板、第二侧板、第一出气板、第二出气板以及多个支撑件。底板是沿长度方向延伸，并具有第一侧边与第二侧边，第一侧板是从第一侧边处沿第一侧向延展方向延伸至第一侧板侧边，并在与第一侧边相连接处形成第一转接区域；第二侧板是从第二侧边处沿第二侧向延展方向延伸至第二侧板侧边，并在与第二侧边相连接处形成第二转接区域。第一出气板与第二出气板系分别自第一侧板侧边与第二侧板侧边延伸出。多个支撑件系分别设置于第一转接区域与第二转接区域，使底板分别固接连结于第一侧板与第二侧板。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种板式电浆辅助化学气相沉积系统的沉积罩，特别涉及一种利用支撑件支撑底板与侧板的沉积罩。
技术介绍
一般来说，在太阳能电池的制造过程中，通常都会通过沉积制程来形成太阳能电池的主要结构，而在沉积的过程中，往往会使用到沉积罩，以通过沉积罩的遮蔽来对太阳能电池的特定部位进行沉积或喷淋。请参阅图1至图3，图1系显示现有技术的板式电浆辅助化学气相沉积(PECVD)沉积罩立体示意图；图2系显示现有技术的沉积罩应用平面示意图；图3系显示现有技术的沉积罩经过翻新而变形的平面示意图。如图所示，一沉积罩PA100包含一底板PA1、二侧板PA2与PA3以及二出气板PA4与PA5，其中，二侧板PA2与PA3以及二出气板PA4与PA5皆一体成型地自底板PA1弯折延伸所形成，且出气板PA4与PA5各设有一通气孔PA41与PA51。在实务运用上，沉积罩PA100是将一等离子体源组件PA200罩设于底板PA1以及二侧板PA2与PA3之间，且在沉积制程中，特殊气体会经由通气孔PA4与PA5沉积或喷淋在太阳能电池表面。为了有效的利用沉积罩PA100，沉积罩PA100通常会经过多次反复的清洗、喷砂以及铝熔射等翻新过程，而在经历过多次翻新之后，沉积罩PA100很容易在翻新的过程中产生变形，沉积罩PA100的两侧板PA2与PA3会往内缩，进而使通气孔PA41与PA51的位置移位，若将此变形的沉积罩PA100勉强使用于太阳能电池的沉积制程时，偏移的通气孔PA41与PA51会影响到特殊气体的正常输送喷淋，造成沉积的薄膜产生色差与品质不良等问题，因此当沉积罩PA100变形量达到一定程度时便无法继续使用，只能做报废处理。
技术实现思路
有鉴于现有技术的沉积罩在反复的翻新过程中，常常会因为翻新时所受到冲击而产生变形，进而导致沉积罩的通气孔移位，使得变形沉积罩无法在沉积的过程中达到原先所能提供的作用，只能将其报废而相对地增加了太阳能电池的制造成本；缘此，本技术的专利技术人提供了一种沉积罩，通过在底板与二侧板之间分别设置支撑件，以防止二侧板在翻新的过程中产生变形移位。本技术为解决上述技术的问题所采用的必要技术手段是提供一种沉积罩，包含一底板、一第一侧板、一第二侧板、一第一出气板、一第二出气板以及多个支撑件。底板是沿一长度方向延伸，并具有沿该长度方向延伸的一第一侧边与一第二侧边；第一侧板是自邻接于该第一侧边处沿垂直于该长度方向延伸的一第一侧向延展方向延伸至一第一侧板侧边，并在与该第一侧边相连接处形成一第一转接区域；第二侧板是自邻接于该第二侧边处沿垂直于该长度方向延伸的一第二侧向延展方向延伸至一第二侧板侧边，并在与该第二侧边相连接处形成一第二转接区域；第一出气板是自该第一侧板侧边背向该第二侧板侧边延伸出，该第一出气板包含多个第一通气孔；第二出气板是自该第二侧板侧边背向该第一侧板侧边延伸出，该第二出气板包含多个第二通气孔；多个支撑件是分别设置于该第一转接区域以及该第二转接区域，其中设置于该第一转接区域的该支撑件是与该底板及该第一侧板固接，设置于该第二转接区域的该支撑件是与该底板及该第二侧板固接。由上述必要技术手段所衍生的一附属技术手段为，沉积罩更包含二连接板，是分别设置于该底板、该第一侧板与该第二侧板之间，且该二连接板是分别固接于该底板、该第一侧板与该第二侧板。其中，该底板与该二连接板之间分别具有一夹角，该夹角的角度是介于90度至175度；较佳者，该夹角的角度为135.7度。由上述必要技术手段所衍生的一附属技术手段为，该第一侧板及该第二侧板与该二连接板之间分别具有一夹角，该夹角的角度大于90度且小于175度；较佳者，该夹角的角度为135.7度。由上述必要技术手段所衍生的一附属技术手段为，该些支撑件各具有一支撑斜边，该底板与该支撑斜边之间是具有一夹角，该夹角大于90度且小于175度；较佳者，该夹角的角度为135.7度。由上述必要技术手段所衍生的一附属技术手段为，该些支撑件各具有一支撑斜边，该第一侧板及该第二侧板与该些支撑件的该支撑斜边之间各具有一夹角，该夹角的角度大于90度且小于175度；较佳者，该夹角的角度为135.7度。由上述必要技术手段所衍生的一附属技术手段为，该底板、该第一侧板与该第二侧板之间是用以容置一等离子体源组件；较佳者，该等离子体源组件为石英管。由上述必要技术手段所衍生的一附属技术手段为，该些支撑件与该二侧板间的接面长度介于15_至50_ ;较佳者，该些支撑件与该二侧板固接的接面长度介于25_至30mmo如上所述，相较于现有技术的沉积罩在翻新的过程中容易变形而内缩，由于本技术所提供的沉积罩在底板与第一侧板或第二侧板的间设置有支撑件，因此可以有效的支撑注第一侧板或第二侧板，避免第一侧板或第二侧板在翻新的过程中变形移位，进而降低报废所产生的成本。【附图说明】图1是显示现有技术的板式电浆辅助化学气相沈积(PECVD)沉积罩立体示意图；图2是显示现有技术的沉积罩应用平面示意图；图3是显示现有技术的沉积罩经过翻新而变形的平面示意图；图4是显示本技术第一较佳实施例所提供的沉积罩立体示意图；图5是显示本技术第一较佳实施例所提供的沉积罩平面示意图；图6是显示本技术第一较佳实施例的沉积罩的实际运用示意图；图7是显示本技术第二较佳实施例所提供的沉积罩平面示意图；图8是显示本技术第三较佳实施例所提供的沉积罩平面示意图；图9是显示本技术第四较佳实施例所提供的沉积罩平面示意图；以及图10是显示本技术第五较佳实施例所提供的沉积罩平面示意图。【具体实施方式】请参阅图4及图5，图4是显示本技术第一较佳实施例所提供的沉积罩立体示意图；图5是显示本技术第一较佳实施例所提供的沉积罩平面示意图。如图所示，一种沉积罩100，包含一底板1、一第一侧板2、一第二侧板3、一第一出气板4、一第二出气板5以及多个支撑件6 (图中仅标示一个)。底板1是沿一长度方向L1延伸，并具有沿长度方向L1延伸的一第一侧边11与一第二侧边12。第一侧板2是从邻接于第一侧边11处沿垂直于长度方向L1延伸的一第一侧向延展方向L2 —体成型地延伸至一第一侧板侧边21，并在与第一侧边11相连接处形成一第一转接区域TR1。其中，第一侧板2与底板1之间具有一角度，在本实施例中为95度的夹角Θ 1，然而在其他实施例中则不限于此，夹角θ 1的角度是介于90度至175度。第二侧板3是从邻接于第二侧边12处沿垂直于长度方向L1延伸的一第二侧向延展方向L3 —体成型地延伸至一第二侧板侧边31，并在与第二侧边12相连接处形成一第二转接区域TR2。其中，第二侧板3与底板1之间具有一角度在本实施例中为95度的夹角(图未标示，相当于Θ 1)，然而在其他实施例中则不限于此，其角度范围同样介于90度至175度。其中第一侧板2与第二侧板3是相对设置，与底板1形成一 U型结构，因此在底板1、第一侧板2与第二侧板3之间可以容置一等离子体源组件，如石英管。第一出气板4是从第一侧板侧边21背向第二侧板侧边31延伸出，且第一出气板4开设有多个第一通气孔41 (图中仅标示一个)，并延伸形成有一反折部42。其中，第一通气孔41是在沉积罩100使用于沉积制程时，用来供沉积制程的特殊本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种沉积罩，其特征在于，包含：一底板，沿一长度方向延伸，并具有沿所述长度方向延伸的一第一侧边与一第二侧边；一第一侧板，从所述第一侧边处沿垂直于所述长度方向延伸的一第一侧向延展方向延伸至一第一侧板侧边，并在与所述第一侧边相连接处形成一第一转接区域；一第二侧板，从所述第二侧边处沿垂直于所述长度方向延伸的一第二侧向延展方向延伸至一第二侧板侧边，并在与所述第二侧边相连接处形成一第二转接区域；一第一出气板，自所述第一侧板侧边背向所述第二侧板侧边延伸出，所述第一出气板包含多个第一通气孔；一第二出气板，自所述第二侧板侧边背向所述第一侧板侧边延伸出，所述第二出气板包含多个第二通气孔；以及多个支撑件，分别设置于所述第一转接区域以及所述第二转接区域，其中设置于所述第一转接区域的所述支撑件与所述底板及所述第一侧板固接，设置于所述第二转接区域的所述支撑件与所述底板及所述第二侧板固接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吕建伟，阙嘉良，王超，吴以伟，
申请(专利权)人：旺能光电吴江有限公司，新日光能源科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32