【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术揭示了一种背面隔离器件，包括：半导体基底，所述半导体基底具有第一表面和与之相对的第二表面；所述半导体基底包括至少两个器件单元区域以及隔离区域，所述隔离区域位于相邻的所述器件单元区域之间；所述隔离区域内的所述第一表面具有第一隔离结构，所述隔离区域内的所述第二表面具有第二隔离结构。同时，本专利技术还提供一种背面隔离器件的制备方法。采用本专利技术的背面隔离器件，所述第二隔离结构可以有效地防止一个所述器件单元区域中的电荷载流子流入相邻的所述器件单元区域中，从而能够减少或避免相邻的器件之间的电串扰，提高器件的电学性能。【专利说明】
本专利技术涉及半导体制造
，特别是涉及一种。
技术介绍
图像传感器是在光电技术基础上发展起来的，所谓图像传感器，就是能够感受光学图像信息并将其转换成可输出信号的传感器。图像传感器可以提高人眼的视觉范围，使人们看到肉眼无法看到的微观世界和宏观世界，看到人们暂时无法到达处发生的事情，看到超出肉眼视觉范围的各种物理、化学变化过程，生命、生理、病变的发生发展过程，等等。可见图像传感器在人们的文化、体育、生产、生活和...
【技术保护点】
一种背面隔离器件，包括：半导体基底，所述半导体基底具有第一表面和与之相对的第二表面；所述半导体基底包括至少两个器件单元区域以及隔离区域，所述隔离区域位于相邻的所述器件单元区域之间；所述隔离区域内的所述第一表面具有第一隔离结构，所述隔离区域内的所述第二表面具有第二隔离结构。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王连红，董金文，陈俊，
申请(专利权)人：武汉新芯集成电路制造有限公司，
类型：发明
国别省市：
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