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本发明揭示了一种背面隔离器件,包括:半导体基底,所述半导体基底具有第一表面和与之相对的第二表面;所述半导体基底包括至少两个器件单元区域以及隔离区域,所述隔离区域位于相邻的所述器件单元区域之间;所述隔离区域内的所述第一表面具有第一隔离结构,所...该专利属于武汉新芯集成电路制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉新芯集成电路制造有限公司授权不得商用。
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本发明揭示了一种背面隔离器件,包括:半导体基底,所述半导体基底具有第一表面和与之相对的第二表面;所述半导体基底包括至少两个器件单元区域以及隔离区域,所述隔离区域位于相邻的所述器件单元区域之间;所述隔离区域内的所述第一表面具有第一隔离结构,所...