【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术提供一种化学机械抛光机用助力机械手,包括硬臂式支撑装置、T型支架和数个真空吸盘,硬臂式支撑装置具有刚性臂杆,T型支架安装在该刚性臂杆的端部,数个真空吸盘安装在T型支架上。本技术的助力机械手通过合理的设计实现一次吸吊两块以上陶瓷板,在不损失抛光机设备效率的前提下,减少了人力。【专利说明】化学机械抛光机用助力机械手
本技术涉及一种化学机械抛光机用助力机械手,属于化学机械抛光机
。
技术介绍
硅片的化学机械抛光工艺一般采用多步抛光,每个贴有硅片的陶瓷板需要依次在三到四台抛光机上抛光。传统的陶瓷板移动方式一般为人工手动,特点是需要付出较多人力,但抛光机效率较高。为了节约人力还有的设备原配有机械手,采用该种设备那个陶瓷板时,一次只能移动一块陶瓷板,虽然实现了全自动,用人少,但时抛光机效率较低。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种化学机械抛光机用助力机械手,采用该助力机械手可以在不损失抛光机设备效率的前提下,减少了人员数量。为实现上述目的,本技术采用以下技术方案:一种化学机械抛光机用助力机械手,包括硬臂式支撑装置、T型支架和数个真空吸盘,硬臂式支撑装置具有刚性臂杆,T型支架安装在该刚性臂杆的端部,数个真空吸盘安装在T型支架上。所述真空吸盘的数量为2个,分别安装在T型支架头部的两侧端。所述T型支架上设有一定位栓,该定位栓与抛光机上的定位槽相匹配,用于定位真空吸盘相对于抛光机上陶瓷板的位置。本技术的优点在于:本技术的助力机械手通过合理的设计实现一次吸吊两块以上陶瓷板,在不损失抛光机设备效率的前提下,减少了人力。【专利附图】【附图说明】图1为 ...
【技术保护点】
一种化学机械抛光机用助力机械手,其特征在于,包括硬臂式支撑装置、T型支架和数个真空吸盘,硬臂式支撑装置具有刚性臂杆,T型支架安装在该刚性臂杆的端部,数个真空吸盘安装在T型支架上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:郝玉清,程凤伶,蔡丽艳,李耀东,陈信,任凯峰,张建,李奇,白鸽玲,
申请(专利权)人:有研半导体材料股份有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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