【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术提供一种化学机械抛光机用助力机械手，包括硬臂式支撑装置、T型支架和数个真空吸盘，硬臂式支撑装置具有刚性臂杆，T型支架安装在该刚性臂杆的端部，数个真空吸盘安装在T型支架上。本技术的助力机械手通过合理的设计实现一次吸吊两块以上陶瓷板，在不损失抛光机设备效率的前提下，减少了人力。【专利说明】化学机械抛光机用助力机械手
本技术涉及一种化学机械抛光机用助力机械手，属于化学机械抛光机
。
技术介绍
硅片的化学机械抛光工艺一般采用多步抛光，每个贴有硅片的陶瓷板需要依次在三到四台抛光机上抛光。传统的陶瓷板移动方式一般为人工手动，特点是需要付出较多人力，但抛光机效率较高。为了节约人力还有的设备原配有机械手，采用该种设备那个陶瓷板时，一次只能移动一块陶瓷板，虽然实现了全自动，用人少，但时抛光机效率较低。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种化学机械抛光机用助力机械手，采用该助力机械手可以在不损失抛光机设备效率的前提下，减少了人员数量。为实现上述目的，本技术采用以下技术方案:一种化学机械抛光机用助力机械手，包括硬臂式支撑装置、T型支架和数个真空吸盘，硬臂式...
【技术保护点】
一种化学机械抛光机用助力机械手，其特征在于，包括硬臂式支撑装置、T型支架和数个真空吸盘，硬臂式支撑装置具有刚性臂杆，T型支架安装在该刚性臂杆的端部，数个真空吸盘安装在T型支架上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：郝玉清，程凤伶，蔡丽艳，李耀东，陈信，任凯峰，张建，李奇，白鸽玲，
申请(专利权)人：有研半导体材料股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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