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本实用新型提供一种化学机械抛光机用助力机械手，包括硬臂式支撑装置、T型支架和数个真空吸盘，硬臂式支撑装置具有刚性臂杆，T型支架安装在该刚性臂杆的端部，数个真空吸盘安装在T型支架上。本实用新型的助力机械手通过合理的设计实现一次吸吊两块以上陶瓷...
该专利属于有研半导体材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过有研半导体材料股份有限公司授权不得商用。

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