手动CMP设备抛光机的改进装置制造方法及图纸

手动CMP设备抛光机的改进装置，涉及晶片加工的装置，本实用新型专利技术为了解决现有CMP设备的抛光机在使用过程中主要依赖于手动操作所产生的生产效率低、晶片加工一致性差的问题，本实用新型专利技术还包括自动开关、一号、二号、三号、四号自动上升选择开关、喷淋计时继电器、延时继电器和冲洗停止报警程序，自动开关的一端与抛光机的抛光头上升控制信号的输出端连通，自动开关的另一端同时与一号、二号、三号、四号自动上升选择开关及延时继电器连通，一号、二号、三号、四号自动上升选择开关分别对应与一号抛光头、二号抛光头、三号抛光头、四号抛光头连通，冲洗停止报警程序置于CMP设备的存储器中。本实用新型专利技术适用于晶片加工的装置。

【技术实现步骤摘要】
手动CMP设备抛光机的改进装置
本技术涉及晶片加工的装置。
技术介绍
半导体晶片抛光主要用于去除前道工序产生的亚损伤层，获得完整抛光镜面，目 前半导体加工行业实现全局平面化的主流技术之一是化学机械抛光工艺（CMP)，传统的 CMP设备因具有较高的性价比在国内半导体加工领域得到广泛应用。但其在使用过程中有 其自身的缺点，概述如下： 1)抛光机在使用过程中主要依赖于手动操作，能源消耗大，生产效率低； 2)晶片的冲洗过程依赖于人工操作，晶片加工一致性差，晶片质量不高。 随着时代的发展，新型的抛光设备虽层出不穷，但价格大都过于昂贵，因而，在传 统CMP设备基础上进行优化设计以追赶国际抛光设备水平，提高抛光效率及抛光质量，降 低晶片加工成本，在目前国内市场需求下显得十分必要。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有CMP设备的抛光机在使用过程中主要依赖于 手动操作所产生的生产效率低、晶片加工一致性差的问题，提供一种手动CMP设备抛光机 的改进装置。 手动CMP设备抛光机的改进装置，它包括CMP设备的抛光机和喷淋子装置，所述抛 光机有四个抛光头，分别为一号抛光头、二号抛光头、三号抛光头和四号抛光头，抛光机的 抛光头控制信号的输出端分别通过对应手动开关与一号抛光头的控制信号的输入端、二号 抛光头的控制信号的输入端、三号抛光头的控制信号的输入端和四号抛光头的控制信号的 输入端连通，它还包括自动开关、一号自动上升选择开关、二号自动上升选择开关、三号自 动上升选择开关、四号自动上升选择开关、喷淋计时继电器、延时继电器和冲洗停止报警程 序，自动开关的一端与抛光机的抛光头上升控制信号的输出端连通，自动开关的另一端同 时与一号自动上升选择开关的一端、二号自动上升选择开关的一端、三号自动上升选择开 关的一端、四号自动上升选择开关的一端、延时继电器的输入端连通，一号自动上升选择开 关的另一端与一号抛光头的上升控制信号的输入端连通，二号自动上升选择开关的另一端 与二号抛光头的上升控制信号的输入端连通，三号自动上升选择开关的另一端与三号抛光 头的上升控制信号的输入端连通，四号自动上升选择开关的另一端与四号抛光头的上升控 制信号的输入端连通，延时继电器的输出端同时与喷淋子装置的自动喷淋启动控制信号的 输入端、喷淋计时继电器的输入端连通，冲洗停止报警程序置于CMP设备的存储器中。 本技术在传统CMP设备添加了四路自动上升选择开关，实现了同时控制四个 抛光头的一致性操作，从而实现CMP设备抛光机的自动操作；克服了现有人工操作晶片加 工一致性差的问题。由于有效提高了晶片加工的一致性，生产稳定性及效率提高了50%以 上。 本技术通过四路自动上升选择开关、喷淋计时继电器、延时继电器和冲洗停 止报警程序的结合，实现了抛光液自动流入及停止、抛光头自动上升、去离子水自动喷淋的 功能，此过程只需人员监管，无需操作，并且一名生产人员可实现四个抛光头同时操作，节 省人力300%，降低生产成本的同时生产稳定性及效率提高了 30%以上。 【附图说明】 图1为本技术的结构示意图。 【具体实施方式】 【具体实施方式】 一：结合图1说明本实施方式，本实施方式所述手动CMP设备抛光 机的改进装置，它包括CMP设备的抛光机和喷淋子装置，所述抛光机有四个抛光头，分别为 一号抛光头PP1、二号抛光头PP2、三号抛光头PP3和四号抛光头PP4,抛光机的抛光头控制 信号的输出端分别通过对应手动开关与一号抛光头PP1的控制信号的输入端、二号抛光头 PP2的控制信号的输入端、三号抛光头PP3的控制信号的输入端和四号抛光头PP4的控制 信号的输入端连通，它还包括自动开关KA1、一号自动上升选择开关ZDX1、二号自动上升选 择开关ZDX2、三号自动上升选择开关ZDX3、四号自动上升选择开关ZDX4、喷淋计时继电器、 延时继电器和冲洗停止报警程序，自动开关KA1的一端与抛光机的抛光头上升控制信号的 输出端连通，自动开关KA1的另一端同时与一号自动上升选择开关ZDX1的一端、二号自动 上升选择开关ZDX2的一端、三号自动上升选择开关ZDX3的一端、四号自动上升选择开关 ZDX4的一端、延时继电器的输入端连通，一号自动上升选择开关ZDX1的另一端与一号抛光 头PP1的上升控制信号的输入端连通，二号自动上升选择开关ZDX2的另一端与二号抛光 头PP2的上升控制信号的输入端连通，三号自动上升选择开关ZDX3的另一端与三号抛光 头PP3的上升控制信号的输入端连通，四号自动上升选择开关ZDX4的另一端与四号抛光头 PP4的上升控制信号的输入端连通，延时继电器的输出端同时与喷淋子装置的自动喷淋启 动控制信号的输入端、喷淋计时继电器的输入端连通，冲洗停止报警程序置于CMP设备的 存储器中。 本技术在传统CMP设备添加了四路自动上升选择开关：一号自动上升选择开 关ZDX1、二号自动上升选择开关ZDX2、三号自动上升选择开关ZDX3和四号自动上升选择开 关ZDX4,设备工作时可以选择任意抛光头，同时可以实现手动和自动的两用效果； 本技术结合具体抛光工艺要求及传统CMP设备的具体情况，对其相关电路及 水路进行优化改进，抛光时间结束后，抛光液切换电磁阀切换到排水位置，下盘继续旋转， 气缸立刻上提（4个气缸的上提数量可选)，气缸提起动作延时一定时间后，喷淋电磁阀吸合 喷淋，喷淋时间(TlOOs(可调)，喷淋时间达到时有报警提示，喷淋时间结束后，喷淋电磁阀 仍保持吸合，手动消音即停止喷淋，整个喷淋程序结束。 此过程只需人员监管，无需操作，并且一名生产人员可实现四个抛光头同时操作， 节节省人力300%，降低了生广成本，同时提1?晶片的加工质量。由于有效提1? 了晶片加工的 一致性，生产稳定性及效率提高了 30%以上。 【具体实施方式】二：结合图1说明本实施方式，本实施方式是对【具体实施方式】一所 述手动CMP设备抛光机的改进装置的进一步限定，它还包括喷淋结束报警器，冲洗停止报 警程序的信号输出与喷淋结束报警器的启动报警信号的输入端连通。 【具体实施方式】 三：结合图1说明本实施方式，本实施方式是对一所 述手动CMP设备抛光机的改进装置的进一步限定，喷淋计时继电器采用H3Y时间继电器。 H3Y时间继电器的时间设定范围为(TlOOs(可调)。 【具体实施方式】 四：结合图1说明本实施方式，本实施方式是对一所 述手动CMP设备抛光机的改进装置的进一步限定，延时继电器采用H3Y时间继电器。 H3Y时间继电器的时间设定范围为(TlOs(可调)。 【具体实施方式】 五：结合图1说明本实施方式，本实施方式是对一所 述手动CMP设备抛光机的改进装置的进一步限定，喷淋子装置的喷射角度范围是35~40°。 具体应用实例： 应用本技术对砷化镓晶片进行抛光加工，加工工艺与现行工艺相同，抛光时 间设定为五分钟，喷淋时间设为40s，最佳喷淋角设定为38°，加工过程如下： 1)按照预定工艺将晶片置于陶瓷盘上，由生产人员将陶瓷盘安装至抛光头上，点 击下降按钮，四盘同动； 2)点击开本文档来自技高网...

【技术保护点】
手动CMP设备抛光机的改进装置，它包括CMP设备的抛光机和喷淋子装置，所述抛光机有四个抛光头，分别为一号抛光头(PP1)、二号抛光头(PP2)、三号抛光头(PP3)和四号抛光头(PP4)，抛光机的抛光头控制信号的输出端分别通过对应手动开关与一号抛光头(PP1)的控制信号的输入端、二号抛光头(PP2)的控制信号的输入端、三号抛光头(PP3)的控制信号的输入端和四号抛光头(PP4)的控制信号的输入端连通，其特征在于，它还包括自动开关(KA1)、一号自动上升选择开关(ZDX1)、二号自动上升选择开关(ZDX2)、三号自动上升选择开关(ZDX3)、四号自动上升选择开关(ZDX4)、喷淋计时继电器、延时继电器和冲洗停止报警程序，自动开关(KA1)的一端与抛光机的抛光头上升控制信号的输出端连通，自动开关(KA1)的另一端同时与一号自动上升选择开关(ZDX1)的一端、二号自动上升选择开关(ZDX2)的一端、三号自动上升选择开关(ZDX3)的一端、四号自动上升选择开关(ZDX4)的一端、延时继电器的输入端连通，一号自动上升选择开关(ZDX1)的另一端与一号抛光头(PP1)的上升控制信号的输入端连通，二号自动上升选择开关(ZDX2)的另一端与二号抛光头(PP2)的上升控制信号的输入端连通，三号自动上升选择开关(ZDX3)的另一端与三号抛光头(PP3)的上升控制信号的输入端连通，四号自动上升选择开关(ZDX4)的另一端与四号抛光头(PP4)的上升控制信号的输入端连通，延时继电器的输出端同时与喷淋子装置的自动喷淋启动控制信号的输入端、喷淋计时继电器的输入端连通，冲洗停止报警程序置于CMP设备的存储器中。...

【技术特征摘要】
1. 手动CMP设备抛光机的改进装置，它包括CMP设备的抛光机和喷淋子装置，所述抛 光机有四个抛光头，分别为一号抛光头（PP1)、二号抛光头（PP2)、三号抛光头（PP3)和四 号抛光头（PP4)，抛光机的抛光头控制信号的输出端分别通过对应手动开关与一号抛光头 (PP1)的控制信号的输入端、二号抛光头（PP2)的控制信号的输入端、三号抛光头（PP3)的 控制信号的输入端和四号抛光头（PP4)的控制信号的输入端连通，其特征在于，它还包括 自动开关（KA1)、一号自动上升选择开关（ZDX1)、二号自动上升选择开关（ZDX2)、三号自动 上升选择开关（ZDX3)、四号自动上升选择开关（ZDX4)、喷淋计时继电器、延时继电器和冲 洗停止报警程序，自动开关（KA1)的一端与抛光机的抛光头上升控制信号的输出端连通， 自动开关（KA1)的另一端同时与一号自动上升选择开关（ZDX1)的一端、二号自动上升选择 开关（ZDX2)的一端、三号自动上升选择开关（ZDX3)的一端、四号自动上升选择开关（ZDX4) 的一端、延时继电器的输入端连通，一号自动上升选择开关（ZDX...

【专利技术属性】
技术研发人员：李文立，张继昌，孔祥勇，王玉辰，李成龙，
申请(专利权)人：大庆佳昌晶能信息材料有限公司，
类型：新型
国别省市：黑龙江;23