本发明不依赖于判定人的主观而自动地且高精度地判断不使用标记而制成的试样中的细胞的生死。准备荧光标本(S201)，对荧光标本进行荧光拍摄(S203)，所述荧光标本在活细胞和死细胞中对激发光的荧光产生状态相互不同。对荧光标本进行明视场拍摄(...

该涂布装置具有：支承辊(20)，一边保持基材一边旋转；喷嘴(31)，向由支承辊(20)保持的基材喷出材料；测定部(37)，测定间隔(G)的变化量。在支承辊(20)的周围设置有吸附基材的圆筒状的吸附面(21)，以及与吸附面(21)一同旋转...

一边由旋转卡盘保持基板一边旋转基板，向基板喷出涂敷液。从基板向外侧飞散的涂敷液由外杯接收。为了清洗外杯，从杯清洗喷嘴喷出的清洗液通过第一引导部向外杯的内周面喷出。由此，使附着于外杯的涂敷液及其固化物等溶解，并从外杯去除。接着，从杯清洗喷...

本发明提供涂敷装置以及涂敷方法。在一边以使基板浮起的状态进行搬运，并且使喷嘴向与基板的搬运方向相逆的方向移动，一边从喷嘴的吐出口排出涂敷液并涂敷于基板的涂敷技术中，使涂敷于基板的涂敷液的厚度稳定化。在由基板搬运机构搬运的上述基板的前端到...

本发明涉及一种基板搬运装置、基板搬运方法以及基板处理装置，不需要在以浮起状态搬运的基板的上方设置较大的空间，就能够搬入或搬出基板。在本发明的基板搬运装置(1)中，在夹具(51)保持基板W搬运时，出口浮起载物台(33)和辊柱式输送机(41...

本发明涉及基板处理装置及基板处理装置的异常状况检测方法，在以浮起状态搬运基板的基板处理装置中，适当地开始进行异常状况检测。该基板处理装置具有：检测部，沿着基板的上表面，射出向与搬运方向相交的方向行进的射束，根据检测到的射束的强度变化检测...

一种基板处理方法，在基板(W)的上表面形成处理液的液膜(30)，向该液膜(30)喷出含有低表面张力液体的蒸汽的气体来形成液膜除去区域(31)，使该液膜除去区域(31)扩大，向基板(W)的下表面供给冷却液(29)，一边将液膜(30)冷却至...

本发明提供基板处理方法，包括：基板保持工序，使基板保持单元将基板保持为水平；密闭工序，在将保持有基板的基板保持单元收纳于腔室的内部空间的状态下密闭内部空间；液膜形成工序，对基板的上表面供给用于处理基板的上表面的处理液，在基板上形成处理液...

本发明提供一种喷嘴洗涤方法、涂布装置。本发明的喷嘴洗涤方法包括如下工序：在对安装于涂布装置的安装部位的喷嘴的喷出口进行了密封的状态下，使粘度低于涂布液的洗涤液在从喷嘴的排出口出来并回到喷嘴的供给口的第1循环系统中循环；从安装部位拆下借由...

本发明提供一种喷嘴清扫构件、喷嘴清扫装置及涂布装置，一方面可以利用喷嘴清扫构件来执行适合于从喷嘴稳定地喷出涂布液的清扫，一方面可以抑制伴随着喷嘴清扫构件的更换而产生的运营成本。本发明的喷嘴清扫构件通过相对于从设置于前端的喷出口喷出涂布液...

本发明涉及一种基板处理装置，一边使基板浮起并沿着水平方向搬运该基板，一边对基板进行处理，该基板处理装置设置两个喷嘴，来等质且良好地进行基板的处理。在本发明的基板处理装置中，浮起部(3)和搬运部(5)借助来自下方的浮力，使基板W浮起来搬运...

本发明提供一种除静电装置，能够根据基板主面的各区域适当地降低基板主面上积累的电荷的量。除静电装置(10)对带静电基板(W1)进行降低带静电量的处理。除静电装置(10)具有基板保持机构(1)和紫外线照射机构(2)。基板保持机构(1)保持基...

本发明提供一种使用紫外线进行多个处理也能抑制尺寸增加的基板处理装置。基板处理装置具有紫外线照射装置(2)和基板保持装置(31、32)。紫外线照射装置2位于处理室(11、12)的边界，并且能够向处理室(11、12)照射紫外线。基板保持装置...

本发明提供一种在更短时间内将基板和紫外线照射器之间的空间的环境气体变为规定的环境气体的基板处理装置。基板处理装置(10)具备基板保持台(1)、紫外线照射机构(2)、筒构件(3)和气体供给机构(41、42)。紫外线照射机构以隔着作用空间(...

本发明的目的在于提供一种既降低对基板的污染又能对基板进行温度调节的技术。基板处理装置(10)具有板构件(30)，其具有与旋转台(22)的表面(22S)相向的基部(32)，以该基部(32)被配设在旋转台(22)与由多个基板保持构件(26)...

本发明提供一种基板处理装置，其特征在于，具有：供给机构，向基板的图案形成面供给含有熔融状态的升华性物质的处理液；凝固机构，使所述处理液在所述图案形成面上凝固而形成凝固体；以及升华机构，使所述凝固体升华，从所述图案形成面除去所述凝固体，所...

本发明提供抑制基板处理装置大型化，并且降低处理液中的去除对象气体的溶解浓度的技术。基板处理装置(100)具备多个基板处理部(20)和处理液系统(30)。基板处理部具备保持基板(W)的基板保持部(21)和向基板保持部保持的基板喷出处理液的...

控制部51在对某基板W配置使用处理部SPIN1～SPIN12的资源的处理时，在处理部SPIN1～SPIN12的维护处理达到寿命的情况下，基于由用户预先设定的优先设定，在优先设定为基板处理优先的情况下，配置基板W的处理，在优先设定为维护优...

本发明的目的在于提供一种高精度地判定便携式终端装置的利用者是否正在步行中的方法。该方法中设置如下步骤：加速度数据获取步骤，获取规定时间内的加速度数据；分析步骤，通过针对加速度数据进行频率分析，来获取与时间和频率的各组合对应的输出强度作为...

本发明提供一种涂敷方法，该涂敷方法在直径是300毫米且主面形成有直立的多个图案要素的基板上，用处理液对该主面进行处理。用该处理液进行处理后，在该主面上进行填充材料溶液的涂敷。在填充材料溶液的涂敷处理中，通过向水平状态的基板的朝向上方的该...