基板处理装置的排程制作方法以及排程制作程序制造方法及图纸

控制部51在对某基板W配置使用处理部SPIN1～SPIN12的资源的处理时，在处理部SPIN1～SPIN12的维护处理达到寿命的情况下，基于由用户预先设定的优先设定，在优先设定为基板处理优先的情况下，配置基板W的处理，在优先设定为维护优先的情况下，在基板W的处理前配置维护处理。因此，能够进行反映用户对于优先处理的期望的处理。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】基板处理装置的排程制作方法以及排程制作程序
本专利技术涉及对半导体晶片、液晶显示器用基板、等离子体显示器用基板、有机EL用基板、FED(FieldEmissionDisplay)用基板、光学显示器用基板、磁盘用基板、磁光盘用基板、光掩膜用基板、太阳能电池用基板(以下，简称为基板)实施规定的处理的基板处理装置的排程制作方法以及排程制作程序，尤其涉及在实际执行处理前预先制作排程的技术。
技术介绍
以往，作为这种方法，设定根据使用处理液的时间来规定寿命的“寿命期(lifetime)”，对使用处理液的处理部的资源按每一寿命期固定配置液更换处理。而且，存在如下的方法(例如，参照专利文献1)：以穿插于如此配置的定期液更换处理之间的方式，对容纳架内的基板配置各资源的使用时机，且在附随于特定处理的附随液更换处理与定期液更换处理重复或者邻接或靠近配置的情况下，删除定期液更换处理而优先配置特定处理。此外，存在代替上述的寿命期，而设定根据使用的次数来规定处理液的寿命的“寿命计数”的情况。即使在该情况下，也与上述方法同样地存在如下的方法：在达到寿命次数的情况下配置定期液更换处理，且在产生上述的与附随于特定处理的附随液更换处理重复等的情况下，删除定期液更换处理而优先配置特定处理。另外，存在如下情况：在逐张处理基板的单张处理中，在处理部的资源被使用规定时间(寿命期)，或被使用规定次数(寿命计数)的情况下，进行清洗处理部来实现处理环境的清洁化的清洗处理。对此，也与上述同样地，根据寿命进行配置。即，优先配置根据寿命的液更换处理或根据寿命的清洗处理的维护处理。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2007-266442号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的问题然而，在具有这种结构的现有例的情况下，存在如下的问题。即，基板处理装置的用户期望“基板处理优先”，即，即使达到寿命也不配置维护处理，对容纳在相同的容纳架内的多张基板全部以相同的处理液或在相同的处理环境下进行处理，或者期望“维护优先”，即，当达到寿命时，即使容纳在相同的容纳架内的多张基板在处理途中，也配置维护处理，严格遵守寿命来进行处理。此外，基板处理优先的期望有：即使达到寿命，也对多个容纳架以相同的处理液或在相同的处理环境下进行处理，或者极端的情况下，针对每个基板进行维护处理(寿命计数设定为1的情况)。即，现有的方法中，虽然考虑与附随液更换处理的平衡而使维护处理错开，但仅是根据排程时的配置状况移动维护处理。因此，存在不能够反映用户对于维护优先或基板处理优先这样的优先处理的期望的问题。本专利技术是鉴于这样的情况而提出的，目的在于提供一种通过能够选择是维护优先还是基板处理优先，而能够反映用户对于优先处理的期望的基板处理装置的排程制作方法以及排程制作程序。解决问题的技术方案本专利技术为了实现这样的目的而采用如下的结构。即，本专利技术为基板处理装置的排程制作方法，所述基板处理装置具有对容纳于容纳架的多张基板逐张进行处理的处理部，当利用所述基板处理装置一面使用所述处理部的资源一面处理多张基板时，在实际开始处理前，控制部决定各资源的使用时机，所述基板处理装置的排程制作方法的特征在于，所述控制部在对某基板配置使用所述处理部的资源的处理时，在存在达到寿命的所述处理部的维护处理的情况下，基于由用户预先设定是维护优先还是基板处理优先的优先设定，在优先设定为基板处理优先的情况下配置所述基板的处理，在优先设定为维护优先的情况下在所述基板的处理前配置维护处理。[作用、效果]根据本专利技术，控制部在对某基板配置使用处理部的资源的处理时，在处理部的维护处理达到寿命的情况下，基于由用户预先设定的优先设定，在优先设定为基板处理优先的情况下配置基板的处理，在优先设定为维护优先的情况下在基板的处理前配置维护处理。因此，能够进行反映用户对于优先处理的期望的处理。此外，优选在本专利技术中，预先设定有处理任务和控制任务，所述处理任务设定规定处理顺序的规程，所述处理任务与每个基板建立对应，所述控制任务设定属于哪个容纳架，所述控制任务与每个基板建立对应。所述基板处理优先能够针对每个基板或每个处理任务或每个控制任务设定配置所述维护处理的时机。若针对每个基板、或每个处理任务、或每个控制任务设定配置维护处理的时机，则能够改变针对每一基板、或被以相同的规程处理的每一基板群、或每一容纳架执行维护处理的时机。因此，能够极为细致地反映用户对于处理的期望。此外，优选在本专利技术中，所述维护处理是在所述处理部中使用的处理液的液更换处理或清洗所述处理部的清洗处理。若执行在处理部中使用的处理液的液更换处理、或清洗处理部的清洗处理，则处理条件或处理环境发生变化。因此，通过根据用户的期望来改变作为维护处理而实施液更换处理或清洗处理的时机，用户能够控制基板的处理经过。此外，本专利技术为基板处理装置的排程制作程序，所述基板处理装置具有对容纳于容纳架的多张基板逐张进行处理的处理部，当利用所述基板处理装置一面使用所述处理部的资源一面处理多张基板时，在实际开始处理前，控制部决定各资源的使用时机，所述基板处理装置的排程制作程序的特征在于，所述控制部在对某基板配置使用所述处理部的资源的处理时，在存在达到寿命的所述处理部的维护处理的情况下，基于由用户预先设定是维护优先还是基板处理优先的优先设定，在优先设定为基板处理优先的情况下配置所述基板的处理，在优先设定为维护优先的情况下在所述基板的处理前配置维护处理。专利技术效果根据本专利技术的基板处理装置的排程制作方法，控制部在对某基板配置使用处理部的资源的处理时，在处理部的维护处理达到寿命的情况下，基于由用户预先设定的优先设定，在优先设定为基板处理优先的情况下配置基板的处理，在优先设定为维护优先的情况下在基板的处理前配置维护处理。因此，能够进行反映用户对于优先处理的期望的处理。附图说明图1是表示实施例的基板处理装置的概要结构的俯视图。图2是表示实施例的基板处理装置的概要结构的侧视图。图3是实施例的基板处理装置的框图。图4是表示排程制作的流程图。图5是表示在临时时间表配置块的状态的时序图。图6是表示基板处理优先的情况下的排程制作过程的时序图。图7是表示基板处理优先的情况下的排程制作过程的时序图。图8是表示维护优先的情况下的排程制作过程的时序图。图9是表示维护优先的情况下的排程制作过程的时序图。图10是表示维护优先的情况下的排程制作过程的时序图。图11是表示维护优先的情况下的排程制作过程的时序图。图12是表示维护优先的情况下的排程制作过程的时序图。图13是表示基板处理优先的情况下的排程制作过程的时序图。图14是表示基板处理优先的情况下的排程制作过程的时序图。图15是表示基板处理优先的情况下的排程制作过程的时序图。图16是表示基板处理优先的情况下的排程制作过程的时序图。图17是表示基板处理优先的情况下的排程制作过程的时序图。图18是表示基板处理优先的维护处理时机的例子(每个基板)的示意图。图19是表示基板处理优先的维护处理时机的(每个处理任务)的示意图。图20是表示基板处理优先的维护处理时机的(每个控制任务)的示意图。具体实施方式下面，参照附图对本专利技术的一实施例进行说明。图1是表示实施例的基板处理装置的概要结构的俯视图，图2是表示实施例的基板处理装置的概要结构的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板处理装置的排程制作方法，所述基板处理装置具有对容纳于容纳架的多张基板逐张进行处理的处理部，当利用所述基板处理装置一面使用所述处理部的资源一面处理多张基板时，在实际开始处理前，控制部决定各资源的使用时机，所述基板处理装置的排程制作方法的特征在于，所述控制部在对某基板配置使用所述处理部的资源的处理时，在存在达到寿命的所述处理部的维护处理的情况下，基于由用户预先设定是维护优先还是基板处理优先的优先设定，在优先设定为基板处理优先的情况下配置所述基板的处理，在优先设定为维护优先的情况下在所述基板的处理前配置维护处理。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.11.06 JP 2015-2183621.一种基板处理装置的排程制作方法，所述基板处理装置具有对容纳于容纳架的多张基板逐张进行处理的处理部，当利用所述基板处理装置一面使用所述处理部的资源一面处理多张基板时，在实际开始处理前，控制部决定各资源的使用时机，所述基板处理装置的排程制作方法的特征在于，所述控制部在对某基板配置使用所述处理部的资源的处理时，在存在达到寿命的所述处理部的维护处理的情况下，基于由用户预先设定是维护优先还是基板处理优先的优先设定，在优先设定为基板处理优先的情况下配置所述基板的处理，在优先设定为维护优先的情况下在所述基板的处理前配置维护处理。2.根据权利要求1所述的基板处理装置的排程制作方法，其特征在于，预先设定有处理任务和控制任务，所述处理任务设定规定处理顺序的规程，所述处理任务与每个基板建立对应，所述控制任务设定属...

【专利技术属性】
技术研发人员：山本真弘，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：日本,JP