本发明提供一种干燥方法的，其目的在于，有效地干燥形成在基材上的含有活性物质、溶剂以及粘结剂的薄膜的同时，抑制该薄膜中的粘结剂的熔化。该干燥方法包括：照射步骤，向薄膜照射具有薄膜中的溶剂的吸收率最大的波长区域的远红外线，该薄膜含有活性物质...

本发明提供一种基板处理方法与装置，对表面具有金属层的基板进行处理。此基板处理方法包括：氧化金属层形成工序，通过对所述基板的表面供给氧化流体而在所述金属层的表层形成包含1个原子层或多个原子层的氧化金属层；及氧化金属层去除工序，通过对所述基...

本发明涉及衬底处理方法及衬底处理装置。本发明的课题在于提供一种能够提高改变衬底表面的化学性质的改性处理液的反应性的技术。本发明的解决手段为对衬底W的表面进行处理的衬底处理方法，其包括下述工序：(a)一边使衬底W旋转一边向该衬底W的表面供...

本发明涉及基板清洗方法及装置，该方法包括：处理液供给工序，向基板的上表面供给包含溶质及具有挥发性的溶媒的处理液；成膜工序，从供给处理液使溶媒至少一部分挥发，使处理液固化或硬化，在上表面形成颗粒保持层；除去工序，向上表面供给剥离液，剥离并...

本发明提供一种药液生成方法、药液生成装置及基板处理装置。一种药液生成方法，生成用以对基板上所形成的膜进行处理的药液，所述药液生成方法包括气体溶解工序，所述气体溶解工序通过将含有氧气的含氧气体及含有惰性气体的含惰性气体供给至药液来使所述含...

本发明提供一种基板处理装置与方法，对基板实施使用处理液的处理，包括：基板保持单元，有自旋底座，并用以保持基板；隔断构件，有与由基板保持单元保持的基板的上表面相向的基板相向面，并有比自旋底座大的直径；隔断构件升降单元，使隔断构件在隔断位置...

通过将疏水剂的液体供给至基板(W)的表面而形成覆盖基板(W)的整个表面的疏水剂的液膜。之后，一面维持基板(W)的整个表面由疏水剂的液膜覆盖着的状态一面使基板(W)上的疏水剂的液量减少。之后，在基板(W)上的疏水剂的液量已减少的状态下，将...

本发明供一种基板处理方法以及基板处理装置，能够抑制从喷嘴的喷出口吹溅液体。该基板处理方法包括第一步骤与第二步骤。第一步骤中，将硫酸与双氧水的混合液，通过配管从喷嘴喷向基板。第一步骤之后，在第二步骤中，将双氧水通过配管从喷嘴喷向基板。第一...

本发明提供一种基板处理方法，包括：处理液膜形成工序，向基板的图案形成面供给含有升华性物质的处理液，在所述图案形成面形成处理液膜；温度保持工序，将形成于所述图案形成面的所述处理液膜的温度保持在所述升华性物质的熔点以上且小于所述升华性物质的...

本发明提供一种基板处理方法及基板处理装置。通过将疏水剂的液体供给至基板(W)的表面而形成覆盖基板(W)的整个表面的疏水剂的液膜。之后，将表面张力低于水的第1有机溶剂的液体供给至由疏水剂的液膜覆盖着的基板(W)的表面，由此以第1有机溶剂的...

本发明提供一种曝光装置、基板处理装置、曝光方法以及基板处理方法。通过排气部开始排出处理室内的气体，在从开始排出气体起经过预定的时间后，通过供气部开始向处理室内供给非活性气体。或者，通过排气部排出容纳有基板的处理室内的气体，通过供气部向处...

本发明提供一种检查装置及检查方法，其中检查装置对检查面上的线状区域一边照明一边进行拍摄，并使线状区域移动，由此获取检查面的图像。照明部具有光源部、照明光学系统、及辅助光学元件。辅助光学元件使来自光源部的光的一部分一边相对于虚拟面倾斜，一...

本发明提供一种形成具有良好的电特性的包含氧化铟的薄膜的薄膜形成方法及薄膜形成装置。在清洗后的基板的表面上涂布包含氧化铟前驱体的涂布液，从而在基板上形成涂布膜。一边对该基板进行冷却，一边在大气环境中向涂布膜照射紫外线，从而使氧化铟前驱体光...

本发明在通过一边沿搬运方向(X)搬运印刷介质(F)一边向印刷介质(F)喷出油墨来印刷图像时，能够抑制喷出有油墨的范围内的褶皱的产生。向位于第一范围(R1)的印刷介质(F)喷出油墨，所述第一范围(R1)是从支撑辊(26a)和印刷介质(F)...

本发明提供一种涂敷装置，在基材上间歇地涂敷涂敷液时，能够抑制涂敷膜的损伤。涂敷装置具有：第一涂敷头，配置在基材的一个面侧，并具有第一喷出口；第二涂敷头，相比第一涂敷头更靠搬运方向的下游侧，并具有第二喷出口；涂敷液供给机构，通过分别向第一...

本发明使用各种靶体材料并通过等离子体溅射对基板进行高速且优质的成膜。在真空腔室(10)内将感应耦合天线(52)、(53)与具有靶体的溅射阴极(51)接近地配置，该感应耦合天线(52)、(53)具有由电介质层(522)、(532)覆盖匝数...

一种图案倒塌恢复方法，是使形成于基板的表面的已倒塌的图案恢复的方法，所述图案倒塌恢复方法包括反应气体供给工序，在所述反应气体供给工序中，向所述基板的所述表面供给能够与夹杂于所述表面的生成物发生反应的反应气体。所述反应气体供给工序包括氟化...

本发明涉及一种清洗器具、清洗方法以及液体供给装置，利用清洗液更良好地且在短时间内清洗联接器，所述联接器具有能够装卸于液体贮存体上的盖部和贯通设置于所述盖部的配管，通过将所述配管插入所述液体贮存体的内部，能经由所述配管取出在所述内部贮存的...

基板处理装置具备：支撑构件、罩部、供气单元、及排气单元。供气单元从基板的上表面与顶面间的空间的周围向该空间供给从供气口喷出的气体。排气单元经由在顶面在与基板的上表面中心部相向的位置开口的排气口排出基板的上表面与顶面之间的气体。基板的上表...

在文本分析步骤(S109～S110)中，对从被输入的文本数据中提取出的字词进行阶层式集群分析。在画面生成步骤(S111)中，根据群组数(m)与群组内的最多数据数(n)，从文本分析步骤的分析结果求得(m)个集群，生成用于在画面中显示包含(...