检查装置及检查方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种检查装置及检查方法，其中检查装置对检查面上的线状区域一边照明一边进行拍摄，并使线状区域移动，由此获取检查面的图像。照明部具有光源部、照明光学系统、及辅助光学元件。辅助光学元件使来自光源部的光的一部分一边相对于虚拟面倾斜，一边向包含线状区域与虚拟面交叉的位置的交叉区域引导，所述虚拟面相对于线状区域延伸的横方向垂直且包含摄像光轴。由此，不会使照明部的构造复杂化，能够使交叉区域中在检查对象的移动方向上延伸的凸状或凹状的缺陷呈现在图像中，从而能够检测缺陷。

【技术实现步骤摘要】
检查装置及检查方法
本专利技术涉及一种对检查面的外观进行检查的检查装置及检查方法。
技术介绍
以前，如下的检查装置被用于各种领域中，即，利用线状的照明光来照明对象物的检查面上的线状区域，使对象物一边相对于照明部及摄像部移动一边使线状区域的摄像重复进行，由此获取检查面的图像。在使用这种检查装置获取图像的情况下，在线状的照明光延伸的横方向上，不易呈现凸部或凹部的阴影。因此，有对象物的移动方向上延伸的垄状的凸部或槽状的凹部无法作为缺陷而被检测到的疑虑。因此，专利文献1中，作为照明光，使用倾斜方向不同的多个模拟平行光。专利文献1中还示出切换多个模拟平行光并照射到检查面。[现有技术文献][专利文献][专利文献1]日本专利特开2015-105904号公报
技术实现思路
[专利技术所要解决的问题]在使用多个模拟平行光的情况下，比起现有的构造，需要大幅变更照明部的构造。而且，会伴随照明部的大型化及复杂化。在一边交替照射多个模拟平行光一边进行拍摄的情况下，检查对象的移动速度或图像的分辨率依存于模拟平行光的亮灭交替速度。因此，摄像的高速化及图像的高分辨率化变得困难。本专利技术鉴于所述课题而完成，目的在于不会本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种检查装置，其特征在于包括：支撑部，对具有作为检查对象的检查面的对象物进行支撑；照明部，对所述检查面上的线状区域进行照明；摄像部，对所述线状区域进行拍摄；以及移动机构，在与所述检查面平行且相对于所述线状区域延伸的横方向垂直的移动方向上，使所述支撑部相对于所述照明部及所述摄像部相对地移动，所述摄像部的摄像光轴相对于所述横方向垂直，所述照明部包括：光源部；照明光学系统，将从所述光源部出射的光一边转换为线状光一边向所述线状区域引导，所述线状光在与相对于所述横方向垂直的面且包含所述摄像光轴的虚拟面平行的方向上具有指向性；以及辅助光学元件，配置于从所述光源部到达所述线状区域的光程上，将来自所述光源...

【技术特征摘要】
2017.09.22 JP 2017-1824641.一种检查装置，其特征在于包括：支撑部，对具有作为检查对象的检查面的对象物进行支撑；照明部，对所述检查面上的线状区域进行照明；摄像部，对所述线状区域进行拍摄；以及移动机构，在与所述检查面平行且相对于所述线状区域延伸的横方向垂直的移动方向上，使所述支撑部相对于所述照明部及所述摄像部相对地移动，所述摄像部的摄像光轴相对于所述横方向垂直，所述照明部包括：光源部；照明光学系统，将从所述光源部出射的光一边转换为线状光一边向所述线状区域引导，所述线状光在与相对于所述横方向垂直的面且包含所述摄像光轴的虚拟面平行的方向上具有指向性；以及辅助光学元件，配置于从所述光源部到达所述线状区域的光程上，将来自所述光源部的光的一部分一边相对于所述虚拟面倾斜，一边向所述线状区域中的包含所述线状区域与所述虚拟面交叉的位置的交叉区域引导。2.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于：在所述线状区域中的在所述横方向上离开所述交叉区域的区域，所述照明光在与所述虚拟面平行的方向上具有指向性。3.根据权利要求2所述的检查装置，其特征在于：在所述交叉区域与在所述横方向上离开所述交叉区域的所述区域之间，相对于所述虚拟面倾斜的照明光的量逐渐变...

【专利技术属性】
技术研发人员：村冈力夫，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：日本,JP