一种基板处理装置(1)，包括：基板保持部(31)；基板旋转机构(32)，使基板保持部(31)与基板(9)一同旋转；处理液供给部(5)，向基板(9)供给处理液；杯部(4)，其内周面(412)接受从旋转的基板(9)飞散的处理液；顶板(22)...

基板处理系统由清洗单元、多个处理液供给单元以及基板处理装置构成。清洗单元在对管道进行清洗时向处理液供给单元的处理单元供给第一清洗液。在将从清洗单元供给的第一清洗液贮存于处理液槽内后，处理液供给单元将处理液槽内的第一清洗液通过管道供给至基...

具有：确定包括球状体及球状体的周围区域在内的图像中的球状体所占的球状体区域的工序(S105)；根据球状体区域的图像密度求出球状体的光密度的平均值以及该光密度在所述球状体内的偏差的工序(S106)；根据球状体区域的轮廓求出球状体的圆度的工...

基板处理装置(1)具有：腔室主体(22)，具有上部开口(222)；腔室盖部(23)，具有下部开口(232)；遮蔽板(51)，配置在腔室盖部的盖内部空间(231)。通过由腔室盖部覆盖腔室主体的上部开口，形成腔室(21)。在盖内部空间配置有...

在基板处理装置(1)中，在腔室(21)内，从遮挡板(51)的上方向盖内部空间(231)供给气体，从而使盖内部空间(231)的气压大于本体内部空间(221)的气压，将盖内部空间(231)的气体向本体内部空间(221)送出。另外，从盖内部空...

本发明的摄像装置具有培养容器和摄像机构，所述培养容器具有在生物试样的培养环境下容纳用于承载生物试样的试样载体的容纳空间和能够从外部观察容纳空间的第一透明部，所述摄像机构通过第一透明部对容纳空间内的生物试样进行摄像。

本发明提供一种药效评价技术，其能够更准确地评价作为候选药剂的化学物质对细胞集块的药效作用。在对投放于由容器承载的液体内的细胞集块的化学物质的药效进行评价的药效评价方法中，具备：取得工序(步骤S102)，其在与铅垂面基本一致的截面上对细胞...