一种基板处理方法，包含：基板旋转工序，使被保持成水平的基板绕着在铅垂方向延伸的旋转轴线旋转；对向构件配置工序，使从上方与所述基板对向且包含了具有在俯视观察时围绕所述基板的内周面的延伸设置部的对向构件配置于以下位置：所述延伸设置部的内周面...

基板处理装置(1)具备有：第1清洗液供给部(3)，其将碱性或酸性的第1清洗液供给至基板(9)的主表面(91)；及第2清洗液供给部(4)，其将含有增粘剂并且具有较第1清洗液高的粘度的第2清洗液供给至主表面(91)。在第1清洗液及第2清洗液...

进行具有高精度的同义词判断而从文本中自动地生成同义词辞典。对文本进行词素分析，而将文本分割为多个单词，获得词素分析完毕文本。对词素分析完毕文本进行主题分类，从多个单词中选择属于各主题的至少一个主题词，从至少一个主题词中提取附带有各主题的...

本发明提供一种可对喷出至基板的端部的液柱状的处理液进行拍摄的基板处理方法及基板处理装置。基板处理方法包括：保持工序、旋转工序、上升工序、斜面处理工序、摄像工序以及监视工序。在上升工序中，使包围基板保持部的外周的杯状构件上升，并使杯状构件...

本发明的目的在于，提供一种图像处理方法，根据在不同的焦点位置拍摄与液体一起承载于孔中的拍摄对象物从而得到的图像，生成失真较少的全焦点图像。该图像处理方法包括以下步骤：从大致垂直于液面的方向，使在该方向上的焦点位置不同地拍摄与液体一起承载...

本发明涉及一种衬底处理装置及衬底处理方法。本发明的衬底处理装置具备装载部、阶层及控制部。阶层分别具备第1载置部、处理部及主搬送机构。装载部具备载体载置部及搬送部。搬送部进行供给动作，将衬底从载置在载体载置部的载体搬送到第1载置部。第1搬...

本发明涉及一种装载装置、衬底处理装置、装载装置的控制方法及衬底处理装置的控制方法。第1衬底搬送机构及第2衬底搬送机构分别进行关于前开式晶圆盒的衬底的搬送，所述前开式晶圆盒分别载置在沿上下方向配置的例如2个开启器，而非沿横向配置的例如2个...

本发明涉及一种衬底处理装置及衬底处理装置的控制方法。通常，第2衬底搬送机构被设定为从衬底缓冲部向载置在开启器的前开式晶圆盒搬送衬底。然而，在满足规定条件的情况下，第2衬底搬送机构从前开式晶圆盒向衬底缓冲部搬送衬底。也就是说，第2衬底搬送...

衬底处理装置具备第1搬送机构、第2搬送机构、中间搬送机构、第1中间部、第2中间部及控制部。中间搬送机构配置在第1搬送机构与第2搬送机构之间。第1中间部配置在第1搬送机构及中间搬送机构能够搬送衬底的第1重叠区域内。于第1中间部载置衬底。第...

本发明的衬底处理装置具备装载部、第1处理部、第1搬送机构、第2处理部、第2搬送机构、第1载置部、第2载置部及控制部。第1搬送机构反复执行包含3个接近动作(具体来说为第1接近动作、第2接近动作及第3接近动作)的第1循环动作。第2搬送机构反...

本发明提供一种基板处理装置以及基板处理方法。基板处理装置(100)包括处理槽(110)、基板保持部(120)、流体供给部(130)及控制部(140)。处理槽(110)蓄存用于处理基板的处理液。基板保持部(120)在处理槽(110)的处理...

本发明提供一种通过第二处理部对通过第一处理部实施了第一处理的基板实施包括加热处理的第二处理的基板处理装置以及基板处理方法，能够抑制加热处理时间的偏差，从而能够制造高品质的基板。第一交接部和第二交接部在相互不同的位置进行基板的交接，搬运机...

本发明是一种基板处理装置，对基板进行处理，所述装置包含以下要素，即为：分度区块，针对每个载具载置部具备分度机器人，所述分度机器人具有用以从所述载具载置部的载具取出基板且将基板收纳于所述载具载置部的载具的臂，且水平方向的位置固定；桥接区块...

本发明提供一种基板处理装置以及基板处理方法。基板处理方法包括：第一处理工序，在处理槽中，以设定为第一温度的磷酸来处理基板(W)；以及第二处理工序，在处理槽中，以设定为第二温度的磷酸来处理基板(W)。本发明的基板处理装置以及基板处理方法可...

本发明提供一种墨水供给部，能够降低因补充墨水等而中断印刷处理的频率，从而能够连续地进行印刷。墨水供给单元(墨水供给部)(50)设置于在片剂(记录介质)(9)的表面以喷墨方式进行印刷的片剂印刷装置(印刷装置)，所述墨水供给单元(50)具有...

本发明提供一种片剂印刷装置以及片剂印刷方法，即使在对像薄膜包衣片、糖衣片等那样的表面的耐水性高且液体难以渗入的片剂喷出油墨滴的情况下，也能够抑制随后油墨从片剂脱落。该片剂印刷装置(1)是以喷墨方式对片剂(9)的表面印刷图像的装置，具有：...

本发明提供一种搬运装置以及搬运方法，不需要现有技术那样复杂的机构，也能够一边使多个非圆形的粒状物在搬运方向上隔开规定的间隔地排列一边进行搬运。该搬运装置具有吸附滚筒(30)。吸附滚筒(30)具有多个吸附孔(301)、以及与吸附孔(301...

本发明提供一种印刷装置、印刷系统、印刷方法，在循环地向喷头供给墨水的循环泵由于停电而停止的情况下，能够抑制墨水向负压墨盒溢出。设置在供给墨盒(91)和回收墨盒(92)之间的电磁阀(98)在通电时将供给墨盒(91)和回收墨盒(92)相互切...

本发明提供一种加热装置，能够在清洁的加热环境中加热基板。加热装置包括：加热板，从下方加热被定位于加热位置的矩形状的基板；升降机构，使基板相对于加热板在铅垂方向上在比加热位置高的待机位置和加热位置之间升降；以及矫正机构，具有能够与基板的上...

本发明提供一种能够确实地掌握劣化加剧的虚设晶圆的热处理方法及热处理装置。对虚设晶圆利用卤素灯进行预备加热处理并利用闪光灯进行闪光加热处理，从而进行对基座等腔室内结构物进行调温的虚设运转。这时，在每次进行预备加热处理或闪光加热处理时，对向...