本发明涉及衬底处理方法及衬底处理装置。衬底处理方法，其包括：处理液供给工序，向衬底的表面供给具有溶质及溶剂的处理液；处理膜形成工序，使已被供给至前述衬底的表面的前述处理液固化或硬化，在前述衬底的表面形成保持存在于前述衬底表面的去除对象物...

本发明提供一种减压干燥装置，在通过减压使基板上的处理液干燥时，能够减少处理液中的干燥不均的发生。在腔室(10)内的底面(100)设置有凹部(12)，在该凹部(12)的底面(120)设置有排气口(14)。在容纳空间(10S)中的Z轴方向(...

本发明提供一种能够高精度地进行金属催化剂的承载量测定的技术。承载量测定部(50)从振荡器(52)对在Y轴方向上搬运的基材(90)照射电磁波，并检测透射基材(90)后的电磁波的电场强度，由此测定催化剂层(92)中的金属催化剂的承载量。承载...

一种基板处理方法，包含有：基板保持步骤，保持具有露出了金属的表面的基板；非活性气体置换步骤，对所述基板的表面附近供给非活性气体，由此以非活性气体置换所述基板的表面的周围的环境气体；调整步骤，以形成所述金属不会与冲洗液反应的惰性态的方式或...

本发明的衬底处理装置具备旋转保持部、涂布液喷出系统、第1喷出速率调整部及第2喷出速率调整部。旋转保持部将衬底以水平姿势保持并使它旋转。涂布液喷出系统将涂布液喷出到通过旋转保持部而旋转的衬底的一面的中心部。第1喷出速率调整部在第1期间，将...

本发明提供一种可以用于底涂层、保护膜层等涂层的印刷中、能够抑制印刷图像的可见性下降且确认涂层的印刷不良的喷墨用水性涂料组合物、印刷方法和印刷物。本发明所涉及的喷墨用水性涂料组合物，其特征在于，其为在可见光区域具有光透过性的喷墨用水性涂料...

本发明提供一种图像获取装置，包括：搬送机构、落射照明部(71)、透射照明部(72)、以及摄像部(73)。搬送机构将片剂(9)吸附保持于设置在搬送带(12)的吸附孔(14)，使搬送带(12)移动从而搬送片剂(9)。落射照明部(71)从搬送...

本发明提供一种振动送料器，既能够抑制成本的增大，又能够使粒状物的朝向一致，从而能够将粒状物向后续的装置顺利地排出。振动送料器(22)具有：碗部(221)，在俯视时呈圆形，励振机构(220)，使碗部(221)振动。碗部(221)具有：搬运...

膜催化剂层接合体的制造装置一边在长度方向上搬运多个被涂敷区域(第一催化剂层(9A))沿长度方向排列的电解质膜(90)，一边通过光纤传感器(41)照射光来检测被涂敷区域。在相比光纤传感器(41)更靠搬运方向的下游侧，对光纤传感器(41)检...

本发明的衬底处理装置具备：第1液处理室，对衬底进行液处理；第2液处理室，配置于第1液处理室的下方，对衬底进行液处理；第1供给通道，向第1液处理室供给气体；及第2供给通道，向第2液处理室供给气体。第1供给通道具有沿着大致铅直方向延伸的第1...

本发明提供能够使含有异物的药液和不含有异物的药液在处理杯的内部分离地流通的基板处理方法和基板处理装置。本发明的基板处理方法包括：基板保持工序，利用基板保持单元保持基板；药液供给工序，一边使上述基板绕穿过该基板的中央部的旋转轴线旋转一边向...

本发明提供能够从挡板的内壁良好地去除残留的异物的基板处理方法以及基板处理装置，该基板处理方法，包括：基板保持工序，将基板保持为水平姿势；药液供给工序，一边使所述基板以通过该基板的中央部的铅垂的旋转轴线为中心旋转，一边向所述基板的主表面供...

本发明提供基板处理方法，包括：由基板保持单元保持基板的基板保持工序；一边使上述基板绕通过该基板的中央部的旋转轴线旋转一边向上述基板的主面供给药液的药液供给工序；与上述药液供给工序并行地检测从上述基板排出的药液中所含的异物的异物检测工序；...

本发明提供一种向基板供给通过将硫酸与双氧水按照第一混合比混合而生成的第一SPM的基板处理方法及基板处理装置。在停止供给第一SPM后向基板供给第二SPM，该第二SPM是通过将硫酸与双氧水按照大于第一混合比的第二混合比混合而生成的。使从基板...

基板处理装置包括：液体处理单元，在处理室内将处理液供给至基板的表面；干燥单元，在干燥室内使基板表面的处理液干燥；主运送单元，将基板送入所述处理室；局部运送单元，从所述处理室将基板运送至所述干燥室；以及防干燥流体供给单元，在利用所述局部运...

本发明的目的在于以不与之后制作的其他批次的排程发生冲突的方式制作未到达批次的排程。为了实现该目的，排程部基于已到达批次的排程和未到达批次的配方制作临时排程作为未到达批次的排程，并发送至主计算机，主计算机基于所述临时排程来判断是否将未到达...

基板处理装置包括：液体处理单元，在处理室内对基板的表面供给处理液，从而在基板的表面形成处理液膜；固化单元，在固化室内使所述处理液膜固化而在所述基板的表面上形成固化膜；去除处理单元，在去除室内将用于去除所述固化膜的去除液供给至所述基板的表...

本发明提供一种在减压干燥装置中以与期望的减压速度更接近的减压速度来进行减压处理的减压干燥装置、基板处理装置及减压干燥方法。所述减压干燥装置通过在腔室内收容附着有处理液的基板并对腔室内进行减压，而使基板干燥。减压干燥装置具有腔室、减压排气...

文本挖掘方法包括：从文本数据中提取字词的步骤；针对提取的字词生成共现矩阵的步骤；基于生成的共现矩阵生成共现网络的步骤；以及显示包含生成的共现网络的画面的步骤。当在包含以指定的整体文本数据为基础的第一共现网络的第一画面中输入指定关注语的指...

本发明提供一种文本挖掘方法，包括：从由具有日期的句子构成的文本数据中提取字词的步骤；对提取出的字词按照每个分析期间进行层次性集群分析的步骤；以及将包含层次性集群分析的结果的画面进行显示的步骤。当在包含分析结果的第一画面内输入了用于指定有...