提供一种当用多个照相机拍摄形成在基板上的多个标记时，抑制装置成本增加及控制复杂化的技术。图案描画装置(1)是通过在表面形成有多个标记(91)的基板(9)上照射光从而在基板上形成图案的装置。图案描画装置(1)具有：照相机(5a、5d)，拍...

本发明提供能抑制在涂布位置的基材从支承基材背面并旋转的辊上浮起的结构。该涂布装置在长带状的基材(9)表面形成涂膜，具有：搬送机构，沿规定的搬送路径在长度方向上搬送基材；涂布部(20)，在搬送路径的涂布位置(P1)对基材(9)表面涂布涂布...

本发明提供一种技术，在通过使感光性材料曝光而制造凹版的情况下，可针对每一种开口尺寸单独地控制凹部的深度，且可缩短制造所需的时间。有关具有平坦部与多个凹部的凹版的制造方法的本发明具备：第1步骤(步骤S103)，使由光硬化性材料形成的感光层...

本发明涉及一种基板处理装置及其排气方法。本发明是具备烘烤单元且对基板进行覆膜形成处理的基板处理装置，该烘烤单元对涂布有当加热时会产生升华物的处理液的基板进行加热而在基板面烧结覆膜，所述装置包括以下的要素。所述要素为：第1烘烤组；第2烘烤...

本发明提供一种基板处理装置及基板处理方法，可正确地测量各位置的膜厚，而且可编入成膜工序中的膜厚测量技术。本发明的基板处理装置(1)将由测距部(6)所测量的至基板主面(Sa)为止的第1距离、及至形成在基板主面(Sa)上的膜为止的第2距离与...

本发明提供一种基板处理方法以及基板处理装置，所述基板处理方法能够一边防止形成于基板的主面的图案的倒塌，一边去除附着于基板的主面的液体。本发明的基板处理方法的特征在于，包括：供给工序S13，向基板W的图案形成面供给含有熔融状态的干燥辅助物...

本发明涉及一种显影方法。在对衬底供给显影液而进行显影处理后，开始对正在旋转的衬底上的从衬底的中心偏离的位置，从第2冲洗喷嘴喷出表面活性剂冲洗液。该动作是以衬底的中心不在触液区域的方式进行的，所述触液区域是从第2冲洗喷嘴喷出的表面活性剂冲...

本发明更有效地抑制衬垫纸共取的发生。本发明的衬垫纸去除装置具有：多个吸附机构，配置在载置于印版上的衬垫纸的上方，能够吸引并吸附所述衬垫纸；升降机构，使多个所述吸附机构在吸附所述衬垫纸的第一位置与使用于排出所述衬垫纸的排出机构排出所述衬垫...

本发明提供一种技术，在膜‑电极接合体的制造工序中，能够将支撑膜贴附于烃类的高分子电解质膜。该支撑膜(93)是贴附于烃类的高分子电解质膜(90)的支撑膜，该支撑膜(93)的一侧的表面具有粘接力。烃类的高分子电解质膜与以往的氟类的高分子电解...

本发明涉及基板处理装置及基板处理方法。本发明目的在于有效地防止气体从腔室向外部的流出及外部气体从外部向腔室内的流入。本发明的基板处理装置具备：在上表面载置形成有涂覆膜的基板的保持部；对载置于保持部的基板进行加热的加热部；在载置于保持部的...

提高确认缺陷的作业中的确认精度。提供一种缺陷确认装置，用于确认检查对象物上有无缺陷，其具有获取部和输出控制部。获取部针对检查对象物的同一尺寸的同一部分，获取有可能捕捉到缺陷的缺陷图像数据和作为基准的基准图像数据。输出控制部通过输出部在同...

本发明提供一种沿搬送路径搬送将长条状的第一基材的后端部与长条状的第二基材的前端部连接而成的连续体并从喷嘴供给涂布液来在连续体上形成涂布膜的涂布膜装置，能够高精度地检测当基材连接时形成在连续体上的皱折。该涂布装置具有：支承辊，在搬送路径中...

本发明的课题在于提供能够抑制向基板循环供给的处理液的浓度降低的基板处理装置及基板处理方法。本发明的解决手段为：根据由配置于显影槽(21)的底面(2B)上的第1浓度计(M1)测得的显影液的浓度，利用分隔板移动机构(12)而使分隔板(11)...

本发明提供一种基板处理装置以及基板处理方法。基板处理装置(100)利用处理液(L)处理基板(W)。基板处理装置(100)具有喷出喷嘴(130)和供给部(140)。喷出喷嘴(130)具有喷出口(132)和喷出流路(134)。喷出口(132...

本发明的衬底处理方法是根据已设定的减少工艺使氧浓度减少，之后进行热处理。由此，降低热处理空间HS内的氧浓度后对衬底W进行热处理，所以能够使热处理空间的处理环境适于热处理工艺，从而能够适当地进行成膜。并且，只要根据配方的氧浓度等级减少氧浓...

描绘装置(1)的光调制部(46)对来自光源(43)的光进行调制。扫描机构(2)在基板(9)上扫描通过光调制部(46)而调制的光。控制部(6)根据描绘数据控制光调制部(46)及扫描机构(2)，以执行对基板(9)的描绘。控制部(6)具备存储...

本发明提供一种能够提高化学液的置换特性的化学液控制阀及基板处理装置。流路块(21)具有第1外壁(21a)及作为与第1外壁(21a)呈直角的面的第2外壁(21b)。配置针(41)的流量调整用阀室(27)以流路块(21)的第1外壁(21a)...

本发明提供一种能够高精度地确定重叠区域的涂布装置，使从辊状的原料中放出的长条状的第二基材的前端部与长条状的第一基材的后端部部分重叠，并且以在重叠而成的重叠区域内将第一基材与第二基材连接的状态下在搬送方向上搬送第一基材与第二基材，并从喷嘴...

基板处理装置包括：保持基板的基板保持单元；用于喷出用于处理上述基板的处理液的处理液喷嘴；向上述处理液喷嘴供给处理液的供给配管；夹装于上述供给配管并开闭该供给配管的供给阀；供处理液流通的流通配管，该处理液从上述处理液喷嘴喷出而不向上述基板...

本发明小型化且低成本地提供能够以多种照明方式对物体进行照明的照明技术。本发明的照明装置具备：发光部，其具有向物体发光的第1发光元件和第2发光元件；光学系统，其具有将从第1发光元件出射的光的配光变更为第1配光并导光至物体的第1光学元件，并...