化学液控制阀及基板处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够提高化学液的置换特性的化学液控制阀及基板处理装置。流路块(21)具有第1外壁(21a)及作为与第1外壁(21a)呈直角的面的第2外壁(21b)。配置针(41)的流量调整用阀室(27)以流路块(21)的第1外壁(21a)凹陷的方式形成。另一方面，配置隔膜(51)的开闭用阀室(29)以第2外壁(21b)凹陷的方式形成。中间流路(31)将流量调整用阀室(27)与开闭用阀室(29)连接，中间流路(31)相对于第1外壁(21a)及第2外壁(21b)的任一个呈直角延伸。通过此种构成，能够将中间流路(31)形成为直线状。因此，能够提高有因V字流路等而导致化学液劣化的担忧的化学液的置换特性。

Chemical Fluid Control Valve and Base Plate Processing Device

【技术实现步骤摘要】
化学液控制阀及基板处理装置
本专利技术涉及一种化学液控制阀及具备其的基板处理装置，该化学液控制阀用来控制对半导体基板、液晶显示装置或有机EL(electroluminescence，电致发光)显示装置等FPD(FlatPanelDisplay，平板显示器)用基板、光掩模用玻璃基板、光盘用基板、磁盘用基板、陶瓷基板、太阳电池用基板等基板供给的化学液。
技术介绍
如图7所示，以往的化学液控制阀201具备流量调整阀202与开闭阀(ON/OFF阀)203(例如参照专利文献1、2)。流量调整阀202对所供给的化学液的流量进行调整。另一方面，开闭阀203使化学液进行供给，另外，使化学液的供给停止。流量调整阀202与开闭阀203之间利用V字流路205或专利文献2所记载的圆弧状流路(以下称为“V字流路205等”)连接。因此，从流量调整阀202输送的化学液通过V字流路205等被输送到开闭阀203。[
技术介绍
文献][专利文献][专利文献1]日本专利特开2001-263507号公报[专利文献2]日本专利特开2017-207121号公报
技术实现思路
[专利技术要解决的问题]此种以往的化学液控制阀201存在如下问题。如上所述，从流量调整阀202输送的化学液通过V字流路205等被输送到开闭阀203。如果使化学液通过V字流路205等，那么有从化学液控制阀201的入口到出口的化学液的置换特性变差的担忧。假若化学液的置换特性差，那么有因滞留的以前的化学液而导致液体中产生污物的担忧。因此，优选提高化学液控制阀201中的化学液的置换特性。本专利技术是鉴于此种情况而完成的，其目的在于提供一种能够提高化学液的置换特性的化学液控制阀及具备其的基板处理装置。[解决问题的技术手段]为了达成此种目的，本专利技术采用如下构成。也就是说，本专利技术的化学液控制阀的特征在于具备：单一的流路块，具有第1外壁及作为与所述第1外壁呈直角的面的第2外壁；流量调整用阀室，以所述第1外壁凹陷的方式形成；开闭用阀室，以所述第2外壁凹陷的方式形成；中间流路，形成在所述流路块的内部，呈直线状，且使所述流量调整用阀室与所述开闭用阀室之间连接，相对于所述第1外壁及所述第2外壁的任一个呈直角延伸；第1流路，形成在所述流路块的内部，与所述流量调整用阀室连接；第2流路，形成在所述流路块的内部，与所述开闭用阀室连接；针移动机构，具有配置在所述流量调整用阀室内的针，堵住所述流量调整用阀室，并且为了调整化学液的流量而使所述针移动；以及开闭用阀体移动机构，具有配置在所述开闭用阀室内的开闭用阀体，堵住所述开闭用阀室，并且为了进行化学液的供给及其供给的停止而使所述开闭用阀体移动。根据本专利技术的化学液控制阀，流路块具有第1外壁及作为与第1外壁呈直角的面的第2外壁。配置针的流量调整用阀室以流路块的第1外壁凹陷的方式形成。另一方面，配置开闭用阀体的开闭用阀室以第2外壁凹陷的方式形成。中间流路将流量调整用阀室与开闭用阀室连接，中间流路相对于第1外壁及第2外壁的任一个呈直角延伸。通过此种构成，能够将中间流路形成为直线状。因此，能够提高有因V字流路等而导致化学液劣化的担忧的化学液的置换特性。另外，本专利技术的化学液控制阀的特征在于具备：单一的流路块，具有第1外壁及作为与所述第1外壁对向并且与所述第1外壁平行的面的第2外壁；流量调整用阀室，以所述第1外壁凹陷的方式形成；开闭用阀室，以所述第2外壁凹陷的方式形成；中间流路，形成在所述流路块的内部，呈直线状，且使所述流量调整用阀室与所述开闭用阀室之间连接，相对于所述第1外壁及所述第2外壁呈直角延伸；第1流路，形成在所述流路块的内部，与所述流量调整用阀室连接；第2流路，形成在所述流路块的内部，与所述开闭用阀室连接；针移动机构，具有配置在所述流量调整用阀室内的针，堵住所述流量调整用阀室，并且为了调整化学液的流量而使所述针移动；以及开闭用阀体移动机构，具有配置在所述开闭用阀室内的开闭用阀体，堵住所述开闭用阀室，并且为了进行化学液的供给及其供给的停止而使所述开闭用阀体移动。根据本专利技术的化学液控制阀，流路块具有第1外壁、及作为与第1外壁对向并且与所述第1外壁平行的面的第2外壁。配置针的流量调整用阀室以流路块的第1外壁凹陷的方式形成。另一方面，配置开闭用阀体的开闭用阀室以第2外壁凹陷的方式形成。中间流路将流量调整用阀室与开闭用阀室连接，中间流路相对于第1外壁及第2外壁呈直角延伸。通过此种构成，能够将中间流路形成为直线状。因此，能够提高有因V字流路等而导致化学液劣化的担忧的化学液的置换特性。另外，在所述化学液控制阀中，优选所述第1流路及所述第2流路分别为直线状，且相对于所述中间流路呈直角延伸。在使材料流入到模具中而形成流路块时，能够将为了形成中间流路而插入到模具内的第1销部件、与为了形成第1流路及第2流路而插入到模具内的第2销部件及第3销部件各者呈直角配置。因此，相比于第1销部件与第2销部件及第3销部件各者倾斜地配置(并非直角)的情况，能够容易地形成中间流路、第1流路及第2流路。另外，在所述化学液控制阀中，优选所述第1流路与所述第2流路平行，所述第1流路中与连接所述流量调整用阀室的部分为相反侧的第1连接口，朝向与所述第2流路中与连接所述开闭用阀室的部分为相反侧的第2连接口相同的方向开口。在使材料流入到模具中而形成流路块时，能够使为了形成第1流路及第2流路而插入到模具内的第2销部件及第3销部件朝相同的方向移动。因此，相比于第2销部件插入到模具内的朝向与第3销部件的朝向不同的情况，能够容易地形成第1流路及第2流路。另外，在所述化学液控制阀中，优选所述流路块是由PFA(perfluoroalkoxyalkane，全氟烷氧基烷烃)形成。如果流路块由PFA形成，那么流路块的表面会由作为比其内部硬的层(膜)的表层覆盖。如果化学液渗入到流路块的内部，那么结果有从流路块的内部引出污物的担忧。但是，因为表层会防止化学液的渗入，所以能够抑制化学液的纯净度变差的担忧。另外，本专利技术的基板处理装置的特征在于具备：保持旋转部，保持基板，且使所保持的基板旋转；喷嘴，对保持在所述保持旋转部的基板喷出化学液；化学液配管，连接在所述喷嘴；及化学液控制阀，调整从所述喷嘴喷出的化学液的流量，且使化学液从所述喷嘴喷出，使化学液喷出停止；所述化学液控制阀具备：单一的流路块，具有第1外壁及作为与所述第1外壁呈直角的面的第2外壁；流量调整用阀室，以所述第1外壁凹陷的方式形成；开闭用阀室，以所述第2外壁凹陷的方式形成；中间流路，形成在所述流路块的内部，呈直线状，且使所述流量调整用阀室与所述开闭用阀室之间连接，相对于所述第1外壁及所述第2外壁的任一个呈直角延伸；第1流路，形成在所述流路块的内部，与所述流量调整用阀室连接；第2流路，形成在所述流路块的内部，且与所述开闭用阀室连接，并且经由所述化学液配管连接在所述喷嘴；针移动机构，具有配置在所述流量调整用阀室内的针，堵住所述流量调整用阀室，并且为了调整化学液的流量而使所述针移动；以及开闭用阀体移动机构，具有配置在所述开闭用阀室内的开闭用阀体，堵住所述开闭用阀室，并且为了进行化学液的供给及其供给的停止而使所述开闭用阀体移动。根据本专利技术的基板处理装置，具备化学液控制阀。在化学液控制阀中，流路块具有第1本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种化学液控制阀，其特征在于具备：单一的流路块，具有第1外壁及作为与所述第1外壁呈直角的面的第2外壁；流量调整用阀室，以所述第1外壁凹陷的方式形成；开闭用阀室，以所述第2外壁凹陷的方式形成；中间流路，形成在所述流路块的内部，呈直线状，且使所述流量调整用阀室与所述开闭用阀室之间连接，相对于所述第1外壁及所述第2外壁的任一个呈直角延伸；第1流路，形成在所述流路块的内部，与所述流量调整用阀室连接；第2流路，形成在所述流路块的内部，与所述开闭用阀室连接；针移动机构，具有配置在所述流量调整用阀室内的针，堵住所述流量调整用阀室，并且为了调整化学液的流量而使所述针移动；以及开闭用阀体移动机构，具有配置在所述开闭用阀室内的开闭用阀体，堵住所述开闭用阀室，并且为了进行化学液的供给及其供给的停止而使所述开闭用阀体移动。

【技术特征摘要】
2018.03.07 JP 2018-0407601.一种化学液控制阀，其特征在于具备：单一的流路块，具有第1外壁及作为与所述第1外壁呈直角的面的第2外壁；流量调整用阀室，以所述第1外壁凹陷的方式形成；开闭用阀室，以所述第2外壁凹陷的方式形成；中间流路，形成在所述流路块的内部，呈直线状，且使所述流量调整用阀室与所述开闭用阀室之间连接，相对于所述第1外壁及所述第2外壁的任一个呈直角延伸；第1流路，形成在所述流路块的内部，与所述流量调整用阀室连接；第2流路，形成在所述流路块的内部，与所述开闭用阀室连接；针移动机构，具有配置在所述流量调整用阀室内的针，堵住所述流量调整用阀室，并且为了调整化学液的流量而使所述针移动；以及开闭用阀体移动机构，具有配置在所述开闭用阀室内的开闭用阀体，堵住所述开闭用阀室，并且为了进行化学液的供给及其供给的停止而使所述开闭用阀体移动。2.一种化学液控制阀，其特征在于具备：单一的流路块，具有第1外壁及作为与所述第1外壁对向并且与所述第1外壁平行的面的第2外壁；流量调整用阀室，以所述第1外壁凹陷的方式形成；开闭用阀室，以所述第2外壁凹陷的方式形成；中间流路，形成在所述流路块的内部，呈直线状，且使所述流量调整用阀室与所述开闭用阀室之间连接，相对于所述第1外壁及所述第2外壁呈直角延伸；第1流路，形成在所述流路块的内部，与所述流量调整用阀室连接；第2流路，形成在所述流路块的内部，与所述开闭用阀室连接；针移动机构，具有配置在所述流量调整用阀室内的针，堵住所述流量调整用阀室，并且为了调整化学液的流量而使所述针移动；以及开闭用阀体移动机构，具有配置在所述开闭用阀室内的开闭用阀体，堵住所述开闭用阀室，并且为了进行化学液的供给及其供给的停止而使所述开闭用阀体移动。3.根据权利要求1或2所述的化学液控制阀，其特征在于：所述第1流路及所述第2流路分别为直线状，且相对于所述中间流路呈直角延伸。4.根据权利要求1或2所述的化学液控制阀，其特征在于：所述第1流路与所述第2流路平行，所述第1流路中与连接所述流量调整用阀室的部分为相反侧的第1连接口，朝向与所述第2流路中与连接所述开闭用阀室的部分为相反侧的第2连接口相同的方向开口。5.根据权利要求1或2所述的化学液控制阀，其特征在于：所述流路块是由PFA形成。6....

【专利技术属性】
技术研发人员：柏山真人，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：日本,JP