【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】描绘装置及描绘方法
本专利技术涉及一种在对象物上描绘图像的技术。
技术介绍
当前，通过对形成于半导体基板、印刷电路基板或者电浆显示设备或液晶显示设备用的玻璃基板等(以下，称为“基板”)的感光材料照射光，而进行图案的描绘。近年来，伴随图案的高精细化，利用有一种描绘装置，其在感光材料上扫描经调制的光束而直接描绘图案。在所述的描绘装置中，在基板产生有翘曲、畸形、失真等变形的情况下，配合基板的变形而补正描绘数据。通常通过测量设置于基板上的对准标记等的标记的位置，且根据测量结果计算出基板上的各位置的位移后，使各位置的描绘数据与该位移整合而进行描绘数据的补正。例如，在日本专利第5752967号公报(文献1)中，提出有一种根据描绘图案的衬底图案来求得偏移量从而补正描绘数据时，对应于比像素尺寸小的偏移量而对描绘数据进行补正的技术。具体而言，在文献1的描绘装置中，从第1栅格化开始位置将以向量数据记述的描绘图案栅格化而获取第1描绘数据。此外，从第2栅格化开始位置将描绘图案栅格化而获取第2描绘数据，其中，该第2栅格化开始位置是从第1栅格化开始位置位移了比像素尺寸小的位移量的位置。然后，...
【技术保护点】
1.一种描绘装置，在对象物上描绘图像，其具备：光源；光调制部，其对来自所述光源的光进行调制；扫描机构，其在对象物上扫描通过所述光调制部调制的光；以及控制部，其根据描绘数据控制所述光调制部及所述扫描机构，从而执行对所述对象物的描绘，所述控制部具备：存储部，其针对表示所述对象物从基准状态的伸缩程度的多个伸缩率，预先存储对以各伸缩率伸缩的所述对象物进行描绘时的图像的行程长度数据，作为多个初始描绘数据；以及数据生成部，其利用选择描绘数据生成所述描绘数据，该选择描绘数据是根据所述对象物的实际伸缩率从所述多个初始描绘数据中选出的一个初始描绘数据。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.03.24 JP 2017-0589121.一种描绘装置，在对象物上描绘图像，其具备：光源；光调制部，其对来自所述光源的光进行调制；扫描机构，其在对象物上扫描通过所述光调制部调制的光；以及控制部，其根据描绘数据控制所述光调制部及所述扫描机构，从而执行对所述对象物的描绘，所述控制部具备：存储部，其针对表示所述对象物从基准状态的伸缩程度的多个伸缩率，预先存储对以各伸缩率伸缩的所述对象物进行描绘时的图像的行程长度数据，作为多个初始描绘数据；以及数据生成部，其利用选择描绘数据生成所述描绘数据，该选择描绘数据是根据所述对象物的实际伸缩率从所述多个初始描绘数据中选出的一个初始描绘数据。2.如权利要求1所述的描绘装置，其中，还具备摄像部，其拍摄位于所述对象物上的多个标记，所述控制部还具备伸缩率获取部，该伸缩率获取部根据所述摄像部的摄像结果，获取所述多个标记的测量位置，比较所述多个标记的所述测量位置与设计位置，从而获取所述对象物的实际伸缩率。3.如权利要求1或2所述的描绘装置，其中，在所述数据生成部，在假定利用与所述基准状态对应的初始描绘数据生成所述描绘数据的情况下，在所述多个伸缩率内包含有比能够通过下述间隔的变更来描绘的所述对象物的伸缩率大的伸缩率，所述间隔的变更包含利用所述扫描机构向主扫描方向扫描时通过所述光调制部进行的调制间隔的变更、以及利用所述扫描机构向所述主扫描方向扫描时被扫描的扫描区域在副扫描方向上的间隔的变更。4.如权利要求1至3中任一项所述的描绘装置，其中，在所述对象物上的描绘区域设定有多个描绘块，所述数据生成部在生成所述描绘数据时，根据所述描绘区域的失真，对所述选择描绘数据的分别与所述多个描绘块对应的部分进行补正。5.如权利要求4所述的描绘装置，其中，所述数据生成部对所述选择描绘数据的分别与所述多个描绘块对应的部分的补正，是所述描绘区域中的所述多个描绘块相对各自设计位置的位置偏移的补正。6.如权利要求1至5中任一项所述的描绘装置，其中，在所述多个初始描绘数据内不包含与所述对象物的实际伸缩率对应的初始描绘数据的情况下，中止对所述对象物的描绘且开始进行对其他的对象物的描绘，在与对其他的对象物的描绘并行地生成与所述对象物的实际伸缩率对应的初...
【专利技术属性】
技术研发人员：长尾竜也，乘光良直，中井一博，北村清志，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：日本,JP
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