基板处理系统、基板处理装置以及基板处理方法制造方法及图纸

本发明专利技术的目的在于以不与之后制作的其他批次的排程发生冲突的方式制作未到达批次的排程。为了实现该目的，排程部基于已到达批次的排程和未到达批次的配方制作临时排程作为未到达批次的排程，并发送至主计算机，主计算机基于所述临时排程来判断是否将未到达批次搬运至基板处理装置，在决定了将未到达批次搬运至基板处理装置的情况下，对排程部提供表示将未到达批次搬运至基板处理装置的信号，排程部若接收到所述信号，则在未到达批次到达基板处理装置前，执行将未到达批次的临时排程作为与其他批次的排程排他的排程而在排程部中进行预约的预约处理。

Substrate treatment system, substrate treatment device and substrate treatment method

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】基板处理系统、基板处理装置以及基板处理方法
本专利技术涉及一种对半导体晶圆、液晶显示装置用玻璃基板、等离子显示(plasmadisplay)用玻璃基板、光盘用基板、磁盘用基板、光磁盘用基板、光掩膜(photomask)用玻璃基板、太阳能电池用基板等(以下，简称为“基板”)实施处理的基板处理技术。
技术介绍
专利文献1中示出了一种基板处理系统，其对收纳于FOUP的基板进行处理，且具备：多台基板处理装置；主计算机，其进行针对处理对象的FOUP的搬运指示；装置前缓冲区(buffer)，其配置于多台基板处理装置的上游侧；以及搬运系统，其搬运FOUP。装置前缓冲区针对按照主计算机的指示而从搬运系统接收到的FOUP，使多台基板处理装置进行处理的仿真(simulation)，即使多台基板处理装置制作基于配方(recipe)的FOUP的处理的排程(schedule)。装置前缓冲区基于模拟的结果，选择表示在哪一个基板处理装置中进行处理为最佳的最佳装置、或者表示将多个FOUP按照哪种顺序且在哪个基板处理装置中进行处理为最佳的最佳顺序装置。装置前缓冲区对所选择的最佳装置或最佳顺序装置指示通过搬运系统搬运的装置前缓冲区内的FOUP的处理。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利特开2011-077136号公报
技术实现思路
然而，在专利文献1的基板处理系统中存在如下问题：在装置前缓冲区将FOUP搬运至最佳装置等前，还接收到其他FOUP的情况下，其他FOUP所请求的处理的排程与之前请求的处理的排程发生冲突(butting)。本专利技术是为了解决上述问题而提出的，其目的在于提供一种能够以不与之后制作的其他批次的排程发生冲突的方式制作用于执行未到达基板处理装置的未到达批次(lot)的基板处理的排程的技术。用于解决课题的方案为了解决所述课题，第1方式的基板处理系统具备：基板处理装置，其包括用于对基板进行处理的多个处理部、制作使用所述多个处理部用于执行批次的基板处理的排程的排程部；以及主计算机，其对所述基板处理装置的排程部发送批次的配方，所述主计算机将未到达所述基板处理装置的未到达批次的配方发送给所述排程部，所述排程部根据已到达所述基板处理装置的批次的排程和所述未到达批次的配方，将所述未到达批次的所述基板处理装置中的排程制作成临时排程并发送给所述主计算机，所述主计算机基于从所述排程部发送的所述临时排程来判断是否将所述未到达批次搬运至所述基板处理装置，在决定了将所述未到达批次搬运至所述基板处理装置的情况下，对所述排程部提供表示将所述未到达批次搬运至所述基板处理装置的信号，所述排程部从所述主计算机接收到所述信号时，在所述未到达批次到达所述基板处理装置前，执行将所述未到达批次的所述临时排程作为与其他批次的排程排他性的排程而在所述排程部中进行预约的预约处理。第2方式的基板处理系统为第1方式的基板处理系统，所述排程部执行将所述未到达批次的所述临时排程作为在制作所述其他批次的所述排程时不能变更的排程而进行预约的预约处理。第3方式的基板处理系统为第1方式的基板处理系统，排程部执行将所述未到达批次的所述临时排程作为在制作所述其他批次的排程时能够变更的排程而进行预约的预约处理。第4方式的基板处理系统为第1方式至第3方式中任一方式的基板处理系统，所述基板处理装置的所述排程部使用进行了所述预约处理的所述未到达批次的排程，进一步制作所述其他批次的排程。第5方式的基板处理系统为第1方式至第4方式中任一方式的基板处理系统，所述主计算机还对所述基板处理装置的所述排程部提供所述未到达批次的预定到达时刻，所述排程部基于所述已到达批次的排程、所述未到达批次的配方以及所述预定到达时刻，将所述未到达批次的所述基板处理装置中的排程制作成临时排程并发送给所述主计算机。第6方式的基板处理系统为第5方式的基板处理系统，所述主计算机根据所述基板处理装置的处理状况来设定所述未到达批次的所述预定到达时刻。第7方式的基板处理系统为第5或第6方式的基板处理系统，所述未到达批次是包含在前阶段的基板处理装置中进行了基板处理的基板的批次，所述主计算机基于从所述前阶段的基板处理装置至所述基板处理装置为止的批次搬运所需要的时间来设定所述未到达批次的所述预定到达时刻。第8方式的基板处理系统为第1方式至第7方式中任一态样的基板处理系统，所述排程部基于预先设定了处理优先级的所述未到达批次、以及预先制作了排程且预先赋予了处理优先级但尚未开始处理的附带优先级的其他批次的各自的配方，以将所述附带优先级的其他批次和所述未到达批次按照与各自的处理优先级对应的顺序进行处理的方式再次制作所述附带优先级的其他批次的排程，并且将所述未到达批次的所述基板处理装置中的排程制作成临时排程。第9方式的基板处理系统为第1方式至第8方式中任一态样的基板处理系统，所述排程部能够以比尚未开始处理的已制作排程的其他批次更早地进行所述未到达批次的处理的方式再次制作所述已制作排程的其他批次的排程，并且将所述未到达批次的所述基板处理装置中的排程制作成临时排程。第10方式的基板处理系统为第9方式的基板处理系统，所述已制作排程的其他批次包括所述已到达但尚未开始处理的非处理中批次。第11方式的基板处理系统为第1方式至第10方式中任一态样的基板处理系统，所述基板处理系统具备多个所述基板处理装置，所述主计算机将所述未到达批次的配方发送给所述多个基板处理装置各自的所述排程部，所述多个基板处理装置各自的所述排程部基于所述已到达批次的排程和所述未到达批次的配方，制作所述未到达批次的所述临时排程并发送给所述主计算机，所述主计算机基于从所述多个基板处理装置的每一个接收到的所述未到达批次的所述临时排程，将所述多个基板处理装置中的一个基板处理装置选择为搬运所述未到达批次的基板处理装置。第12方式的基板处理装置包括：包括：用于对基板进行处理的多个处理部、以及制作使用所述多个处理部用于执行批次的基板处理的排程的排程部，所述排程部具备：批次信息接收部，其从外部的主计算机接收未到达所述基板处理装置的未到达批次的配方；临时排程制作部，其基于预先对已到达所述基板处理装置的批次设定的排程以及所述未到达批次的所述配方，将所述未到达批次的所述基板处理装置中的排程制作成临时排程；临时排程供给部，其将所述临时排程制作部取得的所述未到达批次的所述临时排程提供给所述主计算机；信号接收部，其从所述主计算机接收表示将所述未到达批次搬运至所述基板处理装置的信号；以及预约处理部，其在所述信号接收部接收到所述信号的情况下，在所述未到达批次到达所述基板处理装置前，执行将所述未到达批次的排程作为与其他批次的排程排他性的排程而在所述排程部中进行预约的预约处理。第13方式的基板处理方法具备制作用于执行批次的基板处理的排程的排程步骤，在所述排程步骤中，基于已到达基板处理装置的批次的排程和未到达所述基板处理装置的未到达批次的配方，将所述未到达批次的所述基板处理装置中的排程制作成临时排程，所述基板处理方法还具备：决定步骤，基于所述临时排程来决定是否将所述未到达批次搬运至所述基板处理装置，所述排程步骤为如下步骤：在所述决定步骤中决定了将所述未到达批次搬运至所述基板处理装置的情况下，在所述未到达批次到达所述基板处理装置前，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板处理系统，具备：基板处理装置，其包括用于对基板进行处理的多个处理部、制作用于使用所述多个处理部执行批次的基板处理的排程的排程部；以及主计算机，其对所述基板处理装置的排程部发送批次的配方，其特征在于，所述主计算机将未到达所述基板处理装置的未到达批次的配方发送给所述排程部，所述排程部根据已到达所述基板处理装置的批次的排程和所述未到达批次的配方，将所述未到达批次的所述基板处理装置中的排程制作成临时排程并发送给所述主计算机，所述主计算机基于从所述排程部发送的所述临时排程来判断是否将所述未到达批次搬运至所述基板处理装置，在决定了将所述未到达批次搬运至所述基板处理装置的情况下，对所述排程部提供表示将所述未到达批次搬运至所述基板处理装置的信号，所述排程部从所述主计算机接收到所述信号时，在所述未到达批次到达所述基板处理装置前，执行将所述未到达批次的所述临时排程作为与其他批次的排程排他性的排程而在所述排程部中进行预约的预约处理。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.03.02 JP 2017-0392311.一种基板处理系统，具备：基板处理装置，其包括用于对基板进行处理的多个处理部、制作用于使用所述多个处理部执行批次的基板处理的排程的排程部；以及主计算机，其对所述基板处理装置的排程部发送批次的配方，其特征在于，所述主计算机将未到达所述基板处理装置的未到达批次的配方发送给所述排程部，所述排程部根据已到达所述基板处理装置的批次的排程和所述未到达批次的配方，将所述未到达批次的所述基板处理装置中的排程制作成临时排程并发送给所述主计算机，所述主计算机基于从所述排程部发送的所述临时排程来判断是否将所述未到达批次搬运至所述基板处理装置，在决定了将所述未到达批次搬运至所述基板处理装置的情况下，对所述排程部提供表示将所述未到达批次搬运至所述基板处理装置的信号，所述排程部从所述主计算机接收到所述信号时，在所述未到达批次到达所述基板处理装置前，执行将所述未到达批次的所述临时排程作为与其他批次的排程排他性的排程而在所述排程部中进行预约的预约处理。2.根据权利要求1所述的基板处理系统，其特征在于，所述排程部执行将所述未到达批次的所述临时排程作为在制作所述其他批次的排程时不能变更的排程而进行预约的预约处理。3.根据权利要求1所述的基板处理系统，其特征在于，所述排程部执行将所述未到达批次的所述临时排程作为在制作所述其他批次的排程时能够变更的排程而进行预约的预约处理。4.根据权利要求1至3中任一项所述的基板处理系统，其特征在于，所述基板处理装置的所述排程部使用进行了所述预约处理的所述未到达批次的排程，进一步制作所述其他批次的排程。5.根据权利要求1至4中任一项所述的基板处理系统，其特征在于，所述主计算机还对所述基板处理装置的所述排程部提供所述未到达批次的预定到达时刻，所述排程部基于所述已到达批次的排程、所述未到达批次的配方以及所述预定到达时刻，将所述未到达批次的所述基板处理装置中的排程制作成临时排程并发送给所述主计算机。6.根据权利要求5所述的基板处理系统，其特征在于，所述主计算机根据所述基板处理装置的处理状况来设定所述未到达批次的所述预定到达时刻。7.根据权利要求5或6所述的基板处理系统，其特征在于，所述未到达批次是包含在前阶段的基板处理装置中进行了基板处理的基板的批次，所述主计算机基于从所述前阶段的基板处理装置至所述基板处理装置为止的批次搬运所需要的时间来设定所述未到达批次的所述预定到达时刻。8.根据权利要求1至7中任一项所述的基板处理系统，其特征在于，所述排程部基于预先设定了处理优先级的所述未到达批次、以及预先制作了排程且预先赋予了处理优先级但尚未开始处理的附带优先级的其他批次的各自的配方，以将所述附带优先级的其他批次和所述未到达批次按照与各自的处理优先级对应的顺序进行处理的方式再次制作所述附带优先级的其他批次的排程，并且将所述未到达批次的所述基板处理装置中的排程制作成临时排程。9.根据权利要求1至8中任一项所述的基板处理系统，其特征在于，所述排程部能够以比尚未开始处理的已制作排程的其他批次更早地进行所述未到达批次的处理的方式再次制作所述已制作排程的其他批次的排程，并且将所述未到达批次的所述基板处理装置中的排程制作成临时排程。10.根据权利要求9所述的基板处理系统，其特征在于，所述已制作排程的其他批次包括所述已到达但尚未开始处理的非处理中批次。11.根据权利要求1至10中任一项所述的基板处理系统，其特征在于，所述基板处理系统具备多个所述基板处理装置，所述主计算机将所述未到达批次的配方发送给所述多个基板处理装置各自的所述排程部，所述多个基板处理装置各自的所述排程部基于所述已到达批次的排程和所述未到达批次的配方，制作所述未到达批次的所述临时排程并发送给所述主计算机，所述主计算机基于从所述多个基板处理装置的每一个接收到的所述未到达批次的所述临时排程，将所述多个基板处理装置中的一个基板处理装置选择为搬运所述未到达批次的基板处理装置。12.一种基板处理装置，包括：用于对基板进行处理的多个处理部、以及制作用于使用所述多个处理部执行批次的基板处理的排程的排程部，其特征在于，所述排程部具备：批次信息接收部，其从外部的主计算机接收未到达所述基板处理装置的未到...

【专利技术属性】
技术研发人员：柴田英树，木村隆一，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：日本,JP