装载装置、衬底处理装置、装载装置的控制方法及衬底处理装置的控制方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种装载装置、衬底处理装置、装载装置的控制方法及衬底处理装置的控制方法。第1衬底搬送机构及第2衬底搬送机构分别进行关于前开式晶圆盒的衬底的搬送，所述前开式晶圆盒分别载置在沿上下方向配置的例如2个开启器，而非沿横向配置的例如2个开启器。因此，即使在增加开启器的情况下，由于不使能够进退的机械手沿横向进行滑动移动，而是通过升降及旋转来搬送衬底，所以也能简单地进行衬底的搬送。因此，能够减少衬底搬送的待机时间，并且能够防止衬底搬送效率降低。

【技术实现步骤摘要】
装载装置、衬底处理装置、装载装置的控制方法及衬底处理装置的控制方法
本专利技术涉及一种装载装置、衬底处理装置、装载装置的控制方法及衬底处理装置的控制方法，所述装载装置具备供载置能够收纳多个衬底的载体的载体载置部，且对收纳在载体的衬底进行搬送。此外，关于衬底，例如可列举半导体衬底、FPD(FlatPanelDisplay，平板显示器)用衬底、光掩模用玻璃衬底、光盘用衬底、磁盘用衬底、陶瓷衬底、太阳电池用衬底。关于FPD，例如可列举液晶显示装置、有机EL(electroluminescence，电致发光)显示装置等。
技术介绍
以往的衬底处理装置具备装载区块(装载装置)及处理区块(例如参照日本专利特开2012-209288号公报)。在装载区块的后表面连结处理区块的情况下，在装载区块的前表面的外壁沿水平方向并列地设置着2个开启器(opener)。在装载区块与处理区块之间设置着衬底缓冲部，该衬底缓冲部能够在上下方向(垂直方向)上载置多个衬底。在装载区块的内部设置着2台衬底搬送机构。第1衬底搬送机构以在载置在第1开启器的前开式晶圆盒(FO本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种装载装置，将衬底交接、搬送到能够收纳多个衬底的载体，且包含以下要素：/n第1载体载置部列，具有沿上下方向配置的2个以上的载体载置部；/n第2载体载置部列，具有沿上下方向配置的2个以上的载体载置部，且与所述第1载体载置部列在水平方向上并列配置；/n衬底缓冲部，载置多个衬底；/n第1衬底搬送机构，在所述第1载体载置部列的所述2个以上的载体载置部各自所载置的所述载体与所述衬底缓冲部之间搬送衬底；及/n第2衬底搬送机构，在所述第2载体载置部列的所述2个以上的载体载置部各自所载置的所述载体与所述衬底缓冲部之间搬送衬底；且/n所述第1衬底搬送机构及所述第2衬底搬送机构分别具备：机械手，能够沿水平方...

【技术特征摘要】
20180921 JP 2018-1780151.一种装载装置，将衬底交接、搬送到能够收纳多个衬底的载体，且包含以下要素：
第1载体载置部列，具有沿上下方向配置的2个以上的载体载置部；
第2载体载置部列，具有沿上下方向配置的2个以上的载体载置部，且与所述第1载体载置部列在水平方向上并列配置；
衬底缓冲部，载置多个衬底；
第1衬底搬送机构，在所述第1载体载置部列的所述2个以上的载体载置部各自所载置的所述载体与所述衬底缓冲部之间搬送衬底；及
第2衬底搬送机构，在所述第2载体载置部列的所述2个以上的载体载置部各自所载置的所述载体与所述衬底缓冲部之间搬送衬底；且
所述第1衬底搬送机构及所述第2衬底搬送机构分别具备：机械手，能够沿水平方向进退且保持衬底；及升降旋转驱动部，使所述机械手沿着在上下方向上延伸的支柱部升降，并且使所述机械手绕沿着所述支柱部的轴旋转；且
所述升降旋转驱动部的水平方向的位置被固定。


2.根据权利要求1所述的装载装置，其特征在于：
所述第1衬底搬送机构在针对所述第1载体载置部列的规定的载体载置部所载置的所述载体搬送所有衬底后，针对所述第1载体载置部列的其他载体进行衬底的搬送，
所述第2衬底搬送机构在针对所述第2载体载置部列的规定的载体载置部所载置的所述载体搬送所有衬底后，针对所述第2载体载置部列的其他载体进行衬底的搬送。


3.一种衬底处理装置，对衬底进行处理，其特征在于包含以下要素：
装载区块，将衬底交接、搬送到能够收纳多个衬底的载体；及
处理区块，对衬底进行规定的处理；
所述装载区块具备：
第1载体载置部列，具有沿上下方向配置的2个以上的载体载置部；
第2载体载置部列，具有沿上下方向配置的2个以上的载体载置部，且与所述第1载体载置部列在水平方向上并列配置；
衬底缓冲部，在所述装载区块与所述处理区块之间载置多个衬底；
第1衬底搬送机构，在所述第1载体载置部列的所述2个以上的载体载置部各自所载置的所述载体与所述衬底缓冲部之间搬送衬底；及
第2衬底搬送机构，在所述第2载体载置部列的所述2个以上的载体载置部各自所载置的所述载体与所述衬底缓冲部之间搬送衬底；
所述第1衬底搬送机构及所述第2衬底搬送机构分别具备：机械手，能够沿水平方向进退且保持衬底；及升降旋转驱动部，使所述机械手沿着在上下方向上延伸的支柱部升降，并且使所述机械手绕沿着所述支柱部的轴旋转；且
所述升降旋转驱动部的水平方向的位置被固定。


4.根据权利要求3所述的衬底处理装置，其中
所述第1衬底搬送机构在从所述第1载体载置部列的规定的载体载置部所载置的所述载体取出所有衬底后，从所述第1载体载置部列的其他载体取出衬底，
所述第2衬底搬送机构在将所有衬底收纳到所述第2载体载置部列的规定的载体载置部所载置的所述载体后，向所述第2载体载置部列的其他载体收纳衬底。


5.根据权利要求4所述的衬底处理装置，其
还具备载体搬送机构，所述载体搬送机构设置在隔着所述第1载体载置部列及所述第2载体载置部列而与所述第1衬底搬送机构及所述第2衬底搬送机构相反的一侧，对所述载体进行搬送，
所述载体搬送机构将由所述第1衬底搬送机构从所述载体取出所有衬底后的载体替换为收纳着衬底的其他载体，另外，将由所述第2衬底搬送机构将所有衬底收纳到所述载体后的载体替换为未收纳衬底的其他载体。


6.根据权利要求5所述的衬底处理装置，其
还具有空载体架，所述空载体架能够载置未收纳衬底的载体，
在所述第1载体载置部列的所述2个以上的载体载置部均未载置所述载体的情况下、...

【专利技术属性】
技术研发人员：桑原丈二，村井征尔，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：日本;JP