中国科学院半导体研究所专利技术

中国科学院半导体研究所共有5962项专利

  • 本发明是一种一种实现集成化高阶ROADM的组网方法。本发明将多信道信号通过低阶可调微环滤波器分级滤波,逐级减少波导中的信道数,利用有限的调制带宽,分级调制实现多信道信号的ROADM,使所能实现的光学分插复用的信道数远超过可调滤波器的调制...
  • 本发明公开了一种用于片上系统的紧凑型直接数字频率合成器,包括:相位累加器,用于在系统时钟的控制下不断的以相位累加字为累加步长进行累加,并将累加结果输出给相位转正弦器;相位转正弦器,用于将相位累加器输入的累加结果转换为数字的正弦幅度值,输...
  • 本发明公开了一种对电流传感器角差在线监测系统中独立分量分析电流信号分离模块的输出结果进行分离择优方法,包括:建立一个拥有两个输入节点和一个输出节点的反向传播BP神经网络;建立BP神经网络的训练样本集;BP神经网络通过对训练集数据的学习,...
  • 本发明一种有机电致发光器件,其特征在于,包括:一透明阳极;一空穴注入层,该空穴注入层生长在透明阳极上的中间部位,使透明阳极的侧边形成一台阶;一空穴传输层,该空穴传输层生长在空穴注入层上;一发光层,该发光层生长在空穴传输层上;一电子注入层...
  • 本发明一种制备平行取向FePt磁性纳米复合薄膜的方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1:利用双亲嵌段共聚物PS-P4VP在甲苯中自组装成反胶束,然后将金属盐FeCl↓[3]和H↓[2]PtCl↓[6]加入所述反胶束溶液中,形成金属盐负载...
  • 本发明一种检测嵌段共聚物胶束溶液负载金属盐能力的方法,其特征在于,该方法包括如下步骤:步骤1:在固定浓度的嵌段共聚物胶束溶液中,分别加入不同量的金属盐,从而得到多组具有不同金属盐浓度的胶束溶液;步骤2:利用旋涂法将多组负载有不同量金属盐...
  • 本发明公开了一种应用微波光子晶体的共面波导结构,该结构包括:用于高频传输的一电介质层(3);用于限制电磁波的一光子晶体地平面(2),该光子晶体地平面(2)由多个微波光子晶体单元结构(1)连接构成,位于该电介质层(3)之上,且与该电介质层...
  • 一种使用生长半绝缘砷化镓的石英管在砷化镓中掺碳的方法,包括如下步骤:步骤1:将7N Ga和7N As进行多晶合成,形成GaAs多晶;步骤2:将合成好的GaAs多晶、籽晶和B↓[2]O↓[3]放入PBN坩埚;步骤3:将PBN坩埚放入石英管...
  • 一种用于半导体器件的取样光栅的制作方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1:在衬底上依次生长缓冲层、下波导层、多量子阱、上波导层,得到含有半导体波导结构的芯片;步骤2:在上波导层的上面,均匀地涂上一层光刻胶;步骤3:对涂有光刻胶的芯片进行...
  • 一种高密度DNA测序芯片,其特征在于,包括:一氧化铝薄膜,该氧化铝薄膜上制备有蜂巢状的通孔;一DNA测序芯片的基片;其中该氧化铝薄膜上的蜂巢状的通孔是采用阳极氧化方法形成,将该氧化铝薄膜直接转移至DNA测序芯片的基片的表面,形成池壁为氧...
  • 一种高密度DNA微阵列生物芯片的制作方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1:在铝或铝合金薄膜表面采用阳极氧化方法制作高密度多孔氧化铝模板;步骤2:将多孔氧化铝模板从铝或铝合金薄膜表面上剥离;步骤3:将多孔氧化铝模板转移至DNA微阵列生物...
  • 一种制备具有纳米折叠有源区结构外延片的方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1:先制备Al↓[x]In↓[y]Ga↓[z]N材料模版,其中x+y+z=1,0≤x,y,z≤1;步骤2:利用纳米加工技术,在AlInGaN材料模版上制作AlIn...
  • 一种高温碳化硅双室热壁式外延生长装置,包含:一密封操作箱为一矩形箱体,在密封操作箱的一背面开有两个圆孔,顶部有一个出气口,底部有一个进气口,正面有两个用于密封安装橡胶手套的操作口;两个三通过渡连接件的端口为法兰端口,该两个三通过渡连接件...
  • 本发明公开了一种光子晶体薄板型面发射环形束激光器,该激光器的有源区包括光子晶体结构和相移缺陷,且有源区中的光子晶体结构单元为圆孔或椭圆孔,晶格结构被一定程度地拉伸,并加入适当宽度的相移缺陷。利用本发明,能够设计出具有良好偏振特性及预期束...
  • 本发明涉及半导体光电子器件技术领域,公开了一种单模大功率低发散角的光子晶体垂直腔面发射激光器,该光子晶体垂直腔面发射激光器由下至上依次由下电极、n型衬底、下DBR、有源层、氧化层、面刻光子晶体图形的缺陷腔结构、环形出光区的上DBR、p型...
  • 本发明是一种二维双层光纤阵列及其制作方法。在同一个硅片上制作二维双层光纤阵列,光纤阵列分为上下两层,每一层可以放置若干条光纤,每一层均用盖板固定、保护。该双层光纤阵列应用硅工艺里的双面光刻和各向异性刻蚀技术在硅片的上下两个底面分别制作一...
  • 本发明是一种提高波导与光纤耦合效率的方法。该方法包括,在制作好的波导表面淀积二氧化硅,将波导完全包裹住,然后刻蚀二氧化硅至衬底硅,形成二氧化硅波导包裹硅波导的耦合端结构,然后将衬底硅向内刻蚀10微米至50微米,形成10微米至50微米的二...
  • 本发明一种测量电致自旋荧光的显微测量系统,其特征在于,包括:一显微拉曼光谱仪、一宽波段线偏振片和一宽波段四分之一波片,所述的显微拉曼光谱仪、宽波段线偏振片和宽波段四分之一波片相距一预定距离,且位于同一光路上;一磁体系统;一数字电压源表,...
  • 一种对激发光源无稳定性要求的光激发荧光谱系统,包括:一光源;一分光仪位于光源之后,用来将光源所发出的广谱光信号色散为窄带光源或单色光源;一激发光汇聚元件位于分光仪之后,用来将分光仪分出的激发光汇聚到所测样品上;一分束器位于激发光汇聚元件...
  • 一种对激发光源无稳定性要求的吸收、反射和透射光谱系统,包括:一光源;一分光仪位于光源之后,用来将光源所发出的广谱光信号色散为窄带光源或单色光源;一激发光汇聚元件位于分光仪之后,用来将分光仪分出的激发光汇聚到所测样品上;一分束器位于激发光...