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中国科学院半导体研究所专利技术
中国科学院半导体研究所共有5962项专利
一种用于低电压差分信号接收的接口电路制造技术
本发明公开了一种用于低电压差分信号接收的接口电路,该电路包括前级差分放大器对(101)、信号选择电路(102)和双端转单端及电平转换电路(103),其中,前级差分放大器对(101)的两个输入端子VINP、VINN接收输入整个电路的低电压...
在本征砷化镓表面77K以下实现欧姆接触的方法技术
一种在本征砷化镓表面温度77K以下实现欧姆接触的方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤1:在制备好的GaAs基片上进行涂胶、均胶、前烘、光刻、显影;步骤2:将显影后的GaAs基片置入氧离子轰击炉中,对基片轰击;步骤3:将轰击后的基片浸入s...
降低立方氮化硼薄膜应力的方法技术
一种降低立方氮化硼薄膜应力的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1:取一硅衬底;步骤2:将硅衬底置于离子束辅助沉积系统上,用高纯硼靶作为立方氮化硼薄膜沉积的溅射靶,硅靶作为掺杂源;步骤3:将衬底加热;步骤4:离子束辅助沉积系统采用两...
边发射二维光子晶体分布反馈量子级联激光器及制备方法技术
一种边发射二维光子晶体分布反馈量子级联激光器,包括:一衬底;一下波导层,该下波导层生长在衬底的中间部位,在下波导层上依次生长有有源层、上波导层和盖层;一高掺杂层,该高掺杂层生长在盖层的上面,该高掺杂层为二维正方圆孔点阵结构,该点阵结构具...
一种双面键合长波长垂直腔面发射激光器及其制作方法技术
本发明是一种双面键合长波长垂直腔面发射激光器(VCSEL)及其制作方法。所述激光器包括N电极(1),N型GaAs衬底(2),N型GaAs/AlGaAs材料系的下分布布拉格反射镜(DBR)(3),InP基应变量子阱有源区(4),GaAs/...
一种单模高功率垂直腔面发射激光器及其制作方法技术
本发明是一种单模高功率垂直腔面发射激光器,属半导体光电子领域。其特征在于,包括P型电极(1),P型Si衬底(2),金属键合层(3),P型分布布拉格反射镜(DBR)(4),氧化限制层(5),有源区(6),N型DBR(7),SiO2掩膜(8...
制作用于1.55微米通信波段硅波导光电转换器的方法技术
本发明公开了一种制作用于1.55微米通信波段的硅波导光电转换器的方法,包括:在SOI的顶层硅上刻蚀出直波导和环形波导,使二者相切或保持一定的耦合关系;在环形波导两侧分别注入或扩散V族和III族离子并退火,形成波导侧壁连续的n型和p型掺杂...
列阵器件光束快轴压缩用圆柱透镜的制作方法技术
本发明公开了一种列阵器件光束快轴压缩用圆柱透镜的制作方法,该方法包括:制作规格相同的一定长度的光纤段;对该光纤段的两端进行金属膜溅射;将两端溅射好金属膜的光纤段焊接在陶瓷段上,焊好后用去离子水清洗,然后超声清洗后烘干。本发明提供的这种列...
一种抑制垂直腔面发射激光器发散角的方法技术
本发明公开了一种抑制垂直腔面发射激光器发散角的方法,该方法是通过在氧化限制型的垂直腔面发射激光器的上DBRs表面刻蚀空气孔图形来实现的。利用本发明,能够有效地抑制垂直腔面发射激光器的发散角,提高垂直腔面发射激光器的性能。
单模量子级联激光器线阵列结构制造技术
一种单模量子级联激光器线阵列结构,其特征在于,该结构包括:一衬底;多个脊形单元,该多个脊形单元依序纵向制作在衬底上,形成脊形结构列;一隔离层,该隔离层制作在多个脊形单元和衬底的表面,该隔离层在该多个脊形单元的上表面为断开,形成电注入窗口...
金属有机物化学气相沉积装置制造方法及图纸
一种金属有机物化学气相沉积装置,其特征在于,包括:一反应室,该反应室用于同时生长氮化物和氧化锌的半导体外延薄膜材料;一有机源通道,该有机源通道的一端与反应室的一入口连接,用于为反应室生长氮化物或者氧化锌材料提供金属源材料;一气源通道,该...
提高非晶硅薄膜太阳能电池开路电压的方法技术
本发明公开了一种提高非晶硅薄膜太阳能电池开路电压的方法,该方法包括:在不透明衬底上,采用等离子体辅助化学气相沉积技术依次生长N型层、本征层和P型层,其中,P型层又分为P层和P↑[+]层;在生长P层时,将P层的生长时间延长t秒,在P层生长...
针对多模式逻辑单元可编程门阵列的工艺映射方法技术
本发明公开了一种针对多模式逻辑单元可编程门阵列的工艺映射方法,该方法包括映射和合并两个步骤,首先对输入的与具体工艺无关的门级电路网表进行解析,并对解析的结果进行工艺映射,然后再根据多模式LC的约束信息对工艺映射结果进行合并处理,计算出多...
具有梯度带隙势垒吸收层的光泵浦垂直外腔面发射激光器制造技术
一种具有梯度带隙势垒吸收层的光泵浦垂直外腔面发射激光器,其特征在于,包括:一铜热沉,该铜热沉上开有一凹槽;一透明热沉,该透明热沉的上表面蒸镀有增透膜;一外延片,该外延片采用液体吸附的方法与透明热沉的下表面连接,将连接后透明热沉和外延片通...
基于RTD与EHEMT的超高速全并行模数转换器制造技术
本发明公开了一种基于共振隧穿二极管与增强型高电子迁移率晶体管的超高速全并行模数转换器,该模数转换器由2↑[n]-1个比较器和n个编码器构成,n为模数转换器的位数;其中,各比较器并联连接,输入各比较器的模拟信号采用并联方式输入,温度码的各...
电学测试的汞探针装置制造方法及图纸
一种电学测试的汞探针装置,其特征在于,包括:一基座,该基座为扁平状的圆柱体,在基座的中心处纵向开有一细水银槽,在基座的中心处细水银槽的周围开有圆环形的水银槽;在基座的左侧圆柱体侧壁上开有一左水银槽,该左水银槽与圆环形的水银槽连通;与左水...
掺Yb双包层光纤激光器v形槽侧面粘和泵浦方法技术
一种掺Yb双包层光纤激光器v形槽侧面粘和泵浦方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1:在双包层光纤的内包层和外包层上用精密光学微加工技术沿双包层光纤的轴向加工一段v形槽,该v形槽的底部高于双包层光纤的纤芯的表面;步骤2:将多模尾纤的一端用...
连续可调纳秒级窄脉冲半导体激光器模块制造技术
本发明公开了一种连续可调纳秒级窄脉冲半导体激光器模块,该激光器模块由驱动电路、半导体激光器和管壳构成,该驱动电路驱动该半导体激光器发光,且该驱动电路和该半导体激光器被封装在侧面至少具有一光窗的管壳内。利用本发明,减小了寄生效应带来的影响...
叠层半导体激光器光纤排/束侧面泵浦方法技术
本发明一种叠层半导体激光器光纤排/束侧面泵浦方法,其特征在于,包括如下:步骤1:制作一矩形铜质的半导体激光器叠层热沉,在叠层热沉的一面上采用精密微加工方法,沿叠层热沉的横向加工制得多组V型槽;步骤2:沿叠层热沉的纵向,在具有多组V型槽的...
硅基级联谐振腔结构的低功耗电光调制器制造技术
本发明公开了一种硅基级联谐振腔结构的低功耗电光调制器,该电光调制器由制作在绝缘体上硅SOI衬底上的两个法布里-珀罗谐振腔(4)串联而成,该两个法布里-珀罗谐振腔(4)采用游标式级联的形式串联形成级联谐振腔结构的低功耗电光调制器。所述法布...
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