The invention provides a method for preparing parallel orientation of FePt magnetic nano composite film, characterized by comprising the following steps: Step 1: the parents in toluene self-assembled into reverse micelle of block copolymer PS - P4VP, and then the metal salt FeCl 3 and H: 2: PtCl: 6 the addition of the reverse micelle solution, forming a metal salt load reverse micelles; step 2: reverse micelle array on silicon substrate by spin coating method, and through oxygen plasma and hydrogen plasma etching and monodisperse FePt nano particle array well; step 3: using magnetron sputtering method is covered with a layer of SiO: on FePt nanoparticle arrays on 2 protective layer; step 4: protection of the atmosphere under high temperature annealing of the samples, complete the parallel orientation of FePt magnet Fabrication of nano composite films.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及磁性纳米
，尤其涉及一种结合反胶束法和磁控溅 射法制备平行取向FePt纳米复合薄膜的方法。
技术介绍
FePt合金纳米颗粒具有很高的磁晶各向异性能(6.6 — 10xl07 erg7cm3)，可以在几个纳米的尺度范围内，克服超顺磁性，表现出优异的 稳定性。得益于这种优异的稳定性，其在超高密度数据存储、永磁纳米薄 膜和医药生物都可以有很重要的应用，是一种最有可能实现存储面密度在 1Tb/in2以上的磁性金属材料。目前人们广泛采用真空蒸发和直流/射频溅射沉积等物理方法制备 FePt纳米颗粒薄膜，但物理方法中随机的成核和颗粒生长导致FePt纳米 颗粒尺寸较大、粒径分布较宽，粒子形状和间距难以控制。化学上则主要 采用高温液相合成法。相比物理方法，高温液相合成法具有颗粒大小均匀、 可控和分布有序的优点，但在化学合成FePt纳米颗粒过程中，为了避免 粒子在溶液中的团聚，需要加入合适的稳定剂，因此所制备的纳米颗粒表 面往往覆盖一层有机物。更重要的是，用化学方法很难得到良好的取向， 从而为后面的磁存储应用中的读写带来了极大的困难。专利IB065558中涉及了...
【技术保护点】
一种制备平行取向ＦｅＰｔ磁性纳米复合薄膜的方法，其特征在于，包括如下步骤： 步骤１：利用双亲嵌段共聚物ＰＳ－Ｐ４ＶＰ在甲苯中自组装成反胶束，然后将金属盐ＦｅＣｌ↓［３］和Ｈ↓［２］ＰｔＣｌ↓［６］加入所述反胶束溶液中，形成金属盐负载的 反胶束； 步骤２：利用旋涂法在硅衬底上获得反胶束阵列，并通过氧等离子体和氢等离子体刻蚀而得到单分散性良好的ＦｅＰｔ纳米颗粒阵列； 步骤３：用磁控溅射法在ＦｅＰｔ纳米颗粒阵列上覆盖一层ＳｉＯ↓［２］保护层； 步骤４：保护气氛 下对样品进行高温退火，完成平行取向ＦｅＰｔ磁性纳米复合薄膜的制作。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张兴旺，高云，屈盛，陈诺夫，
申请(专利权)人：中国科学院半导体研究所，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]
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