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深圳泰德半导体装备有限公司专利技术
深圳泰德半导体装备有限公司共有126项专利
标记卡盘制造技术
本实用新型公开一种标记卡盘,其中,所述标记卡盘包括机架和下压机构,所述机架具有安装开口,安装开口用于放置晶圆;下压机构包括下压驱动组件、第一固定板及至少两个第一压块,下压驱动组件固定于机架;下压驱动组件与第一固定板传动连接,两个第一压块...
运输机构和双面镭雕机制造技术
本发明公开一种运输机构和双面镭雕机,其中,运输机构应用于双面镭雕机,双面镭雕机包括机架、安装在机架且上下设置的两激光设备以及安装在机架且位于两激光设备之间的运输机构,两激光设备相对于机架移动而形成上下两个运动工位;运输机构包括运送组件和...
除胶设备制造技术
本发明涉及集成电路封装技术领域,特别公开一种除胶设备。除胶设备包括工作台、上料机构、下料机构以及校准机构,工作台上设对应上料机构的上料工位和对应校准机构的除胶工位。校准机构包括顶升校准结构、传输校准结构以及侧推校准结构,传输校准结构先阻...
绿光打标结构和激光打标装置制造方法及图纸
本发明公开一种绿光打标结构和激光打标装置。绿光打标结构包括壳体、激光器、扩束组件和分光组件,壳体安装于密闭腔体内,壳体内形成有容纳腔,激光器安装于密闭腔体内,激光器的激光出射口与壳体连接。扩束组件设于容纳腔内,扩束组件包括沿激光入射光线...
夹爪组件、输送机构以及AOI检测设备制造技术
本发明公开一种夹爪组件、输送机构以及AOI检测设备,其中夹爪组件,应用于AOI检测设备的输送机构,夹爪组件用于夹持装设有IC塑封体的料盒,夹爪组件包括固定板、夹持板以及压板,夹持板固定安装于固定板,压板可移动地设于固定板,并沿固定板的长...
具有吸尘机构的晶圆ID打标设备制造技术
本实用新型公开一种具有吸尘机构的晶圆ID打标设备,包括机架、固定夹具、激光打标头以及吸尘机构。机架设有机台,所述机台设有打标工位;所述固定夹具设于所述打标工位,用于固定待打标的晶圆;激光打标头,所述激光打标头设于所述机架,所述激光打标头...
一种用于激光打标的传送装置制造方法及图纸
本实用新型公开了一种用于激光打标的传送装置,所述传送机构包括平行设置的第一传送带和第二传送带,以便工件放置于所述第一传送带以及所述第二传送带上进行传送;所述定位机构设置于所述第一传送带与所述第二传送带之间,所述定位机构包括压板和顶起组件...
一种激光光路的密封结构及激光设备制造技术
本实用新型公开一种激光光路的密封结构及激光设备,其中,安装架的顶部设置有安装板;安装板顶部设置有第一反射镜和第二反射镜;安装架的一侧设置有飞行光路模块,飞行光路模块位于安装板的下方激光发射模块设置于安装架的顶部;激光发射模块的输出端与第...
一种除尘安装结构及激光设备制造技术
本实用新型公开一种除尘安装结构及激光设备,其中,除尘安装结构,包括机架、安装组件、除尘罩组件和吸尘组件;所述安装组件包括固定部件、减震部件和连接部件;所述固定部件与所述机架可拆卸连接;所述连接部件的下端与所述固定部件可拆卸连接;所述减震...
一种激光光路的安装结构及激光设备制造技术
本实用新型公开一种激光光路的安装结构及激光设备,其中,激光光路的安装结构包括安装架、水平安装板、竖直安装板、激光发射模块、反射镜模块和飞行光路模块。水平安装板的底部与安装架固定连接;竖直安装板垂直设置于水平安装板的下方;竖直安装板的一侧...
一种用于镜座的调节装置制造方法及图纸
本实用新型公开一种用于镜座的调节装置,其中,一种用于镜座的调节装置,包括调节机构、第一紧固件、第二紧固件和支撑座,镜座安装于调节机构,调节机构分别通过第一紧固件和第二紧固件与支撑座连接,此调节机构调节完镜座的位置,然后调节机构通过第一紧...
等离子清洗机制造技术
本实用新型公开一种等离子清洗机,所述等离子清洗机包括清洗腔体、阴极板和固定支架;其中,所述阴极板设于所述清洗腔体内,所述清洗腔体包括位于所述阴极板上方的上腔体和位于所述阴极板下方的下腔体,所述清洗腔体设有进气通道,所述进气通道与所述上腔...
一种用于CCD的调节装置制造方法及图纸
本实用新型公开一种用于CCD的调节装置,其中,一种用于CCD的调节装置,包括防护罩和调节平台,CCD安装于防护罩内,通过调节防护罩即可实现调节CCD,防护罩与调节平台活动连接,防护罩设有与调节平台活动连接的连接杆;调节平台包括调节机构、...
晶圆标记设备制造技术
本发明公开一种晶圆标记设备,该晶圆标记设备包括机架、至少一个料盒载具以及至少一检测机构,所述机架设有机台;所述料盒载具设于所述机台,所述料盒载具用于固定晶圆料盒;所述检测机构包括至少两检测器,至少两所述检测器间隔设于所述料盒载具的表面,...
等离子清洗机制造技术
本实用新型提出一种等离子清洗机。等离子清洗机包括推料机构、转移机构、清洗机构、暂存机构和收料机构,推料机构用于将出料盒内的料条向外推出;转移机构包括转移组件和设于转移组件上的推送组件,转移组件可活动地设于机架上,以使得转移组件可在推料机...
晶圆ID打标设备制造技术
本发明公开一种晶圆ID打标设备包括机架、固定夹具、激光打标头、多个料盒以及移料机构,所述机架设有机台,所述机台设有打标工位和安装位;所述固定夹具设于所述打标工位,用于固定待打标的晶圆;所述激光打标头设于所述机架,所述激光打标头的出光口的...
清洗界面的操作方法、设备及存储介质技术
本申请公开了清洗界面的操作方法、设备及存储介质,应用于清洗技术领域;通过采用展示等离子清洗控制界面;根据所述等离子清洗控制界面中的工单录入区域接收到的文本信息,确定待处理工单;在根据所述待处理工单确定待清洗物料的物料标识后,获取所述物料...
等离子清洗机制造技术
本发明公开一种等离子清洗机,该等离子清洗机包括等离子清洗机本体和物料放置轨道;所述物料放置轨道用于放置待清洗物料,所述物料放置轨道设于所述等离子清洗机本体内,所述物料放置轨道的裸露面喷涂有复合陶瓷材料。本发明技术方案通过改变传统的普通物...
转移机构及等离子清洗机制造技术
本实用新型提出一种转移机构及等离子清洗机。所述转移机构用于转移料条,所述转移机构包括安装架、夹持组件、承载组件及驱动组件,夹持组件包括多个第一夹持件和多个第二夹持件,多个第一夹持件和多个第二夹持件可活动地设于安装架且一一对应设置,第一夹...
晶圆激光开槽机制造技术
本实用新型公开一种晶圆激光开槽机,所述晶圆激光开槽机包括机台、送料机构以及清洗涂胶结构;其中,所述机台具有上料工位、清洗涂胶工位以及切割工位;所述送料机构用于将晶圆在所述上料工位、所述清洗涂胶工位以及切割工位之间移动切换;所述清洗涂胶机...
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