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深圳泰德半导体装备有限公司专利技术
深圳泰德半导体装备有限公司共有126项专利
定位机构及激光打标装置制造方法及图纸
本实用新型提出一种定位机构及包括所述定位机构的激光打标装置,该定位机构包括传送轨道、压料板、吸附板和驱动件,传送轨道用于运输所述芯片框架,所述传送轨道上设置有打标工位;吸附板设置于所述打标工位;压料板设置于所述打标工位上方,所述压料板上...
定位机构及激光打标装置制造方法及图纸
本实用新型提出一种定位机构及包括定位机构的激光打标装置,该定位机构用于定位芯片框架,芯片框架具有定位孔,该芯片框架包括传送轨道、压料板、驱动件,传送轨道用于运输芯片框架,传送轨道上设置有滑槽,芯片框架的侧边伸入滑槽内,所传送轨道上设置有...
腔体等离子清洗机制造技术
本实用新型公开一种腔体等离子清洗机,其中,腔体等离子清洗机包括清洗箱、进气装置、抽真空装置以及射频电源;所述清洗箱包括箱体和与所述箱体密封连接的箱盖,所述箱体具有进料口,所述箱盖盖设于所述进料口并与所述箱体配合形成有清洗腔,所述清洗腔内...
等离子清洗方法及等离子清洗机技术
本发明公开了一种等离子清洗方法及等离子清洗机,等离子清洗机具有清洗腔和与清洗腔连通的气源装置,气源装置能够输出多路不同类型气源,等离子清洗方法包括以下步骤:接收清洗指令时,对清洗腔抽真空,并获取清洗腔内的气压值;在清洗腔内的气压值达到气...
激光打标装置制造方法及图纸
本实用新型提出一种激光打标装置。激光打标装置用于对芯片框架上的芯片进行打标,激光打标装置包括机台和设于机台上的上料机构、传输机构、打标机构和下料机构,上料机构包括上料提篮机构和上料转移机构,上料提篮机构包括高度调节组件和设于高度调节组件...
除尘装置和激光切割设备制造方法及图纸
本实用新型公开一种除尘装置和激光切割设备,其中,所述除尘装置包括抽尘头以及抽尘座,所述抽尘头为两端敞口的筒状结构,所述抽尘头的周壁上设有进气口;所述抽尘座设于所述抽尘头的下端,所述抽尘座设有与所述抽尘头连通的集尘腔,及与所述集尘腔连通的...
等离子清洗机制造技术
本发明提出一种等离子清洗机。等离子清洗机包括推料机构、转移机构、清洗机构、暂存机构和收料机构,推料机构用于将出料盒内的料条向外推出;转移机构包括转移组件和设于转移组件上的推送组件,转移组件可活动地设于机架上,以使得转移组件可在推料机构、...
转移机构及等离子清洗机制造技术
本发明提出一种转移机构及等离子清洗机。所述转移机构用于转移料条,所述转移机构包括安装架、夹持组件、承载组件及驱动组件,夹持组件包括多个第一夹持件和多个第二夹持件,多个第一夹持件和多个第二夹持件可活动地设于安装架且一一对应设置,第一夹持件...
晶圆激光开槽机制造技术
本发明公开一种晶圆激光开槽机,所述晶圆激光开槽机包括机台、送料机构以及清洗涂胶结构;其中,所述机台具有上料工位、清洗涂胶工位以及切割工位;所述送料机构用于将晶圆在所述上料工位、所述清洗涂胶工位以及切割工位之间移动切换;所述清洗涂胶机构对...
升降机构及激光加工装置制造方法及图纸
本发明提出一种升降机构及激光加工装置。升降机构包括工作台、第一基座、第二基座、承载平台及第一传动件,所述第一基座沿前后方向可移动地设于所述工作台上,所述第一基座的背侧自上而下设有斜面;所述第二基座沿所述斜面可移动地设于所述第一基座上;所...
激光打标装置制造方法及图纸
本发明提出一种激光打标装置。激光打标装置用于对芯片框架上的芯片进行打标,激光打标装置包括机台、料盒及设于机台上的上料机构、传输机构、打标机构和下料机构,料盒具有多个供芯片框架间隔放置的容置槽;上料机构包括上料送料机构和推料机构,上料送料...
等离子清洗机制造技术
本实用新型提出一种等离子清洗机。等离子清洗机包括清洗机本体、活动台、夹持治具及腔体组件。其中,清洗机本体包括工作台;活动台可活动地安装于工作台上,活动台包括第一活动台和第二活动台,第一活动台与第二活动台在工作台上的位置可以切换;夹持治具...
料盒安装机构和等离子清洗机制造技术
本实用新型公开一种料盒安装机构和等离子清洗机,其中,该料盒安装机构包括料盒安装座、夹紧把驱动件和夹紧组件。所述夹紧组件安装于所述料盒安装座,并包括沿一直线方向间隔相对的第一夹紧件和第二夹紧件,所述第一夹紧件和所述第二夹紧件中至少一者可被...
托料治具循环机构制造技术
本实用新型公开一种托料治具循环机构,该托料治具循环机构包括托料治具、送料模组、回料模组和升降装置。托料治具用于放置待清洗的物料,送料模组包括并行且间隔排布的两条送料导轨、以及滑动安装于两条送料导轨上的送料件。两条送料导轨的间隔大于托料治...
等离子清洗机制造技术
本实用新型公开一种等离子清洗机,该等离子清洗机包括料盒安装机构和推料机构,所述料盒安装机构用于安装料盒,所述推料机构用于将所述料盒内待清洗的物料推出。所述料盒安装机构包括升降模组、横移模组和料盒安装座。所述升降模组包括升降驱动件和竖向延...
等离子清洗机制造技术
本实用新型提出一种等离子清洗机。所述等离子清洗机包括清洗机本体、安装件、夹持治具及调节装置。其中,所述清洗机本体包括控制器;所述安装件安装于所述清洗机本体上;所述夹持治具安装于所述安装件上,所述夹持治具具有夹槽,所述夹槽的宽度可调;所述...
夹持机构及芯片框架打标机制造技术
本实用新型提出一种夹持机构及芯片框架打标机。夹持机构用于夹持承装有芯片的芯片框架,芯片框架包括相对设置的两个框边,夹持机构包括基座、驱动组件及夹持件。其中,驱动组件安装于基座上;夹持件的数量有多个,多个夹持件相对设置的配置于基座的相对两...
压料治具及芯片框架打标机制造技术
本实用新型提出一种压料治具及芯片框架打标机。所述压料治具用于压平承载有多个芯片的框架,所述框架上设置有位于相邻芯片之间的分隔槽,所述压料治具包括压料板和压料条。其中,所述压料板具有压料口;所述压料条可拆卸地安装于所述压料口内,当所述压料...
等离子清洗机制造技术
本实用新型公开一种等离子清洗机,该等离子清洗机包括清洗机本体、第一腔体、升降装置和限位装置。所述第一腔体安装于所述清洗机本体内并用于对待清洗的物料进行清洗,所述升降装置能够带动所述第一腔体做升降运动,所述限位装置用于在所述升降装置将所述...
等离子清洗机制造技术
本实用新型公开一种等离子清洗机,该等离子清洗机包括料盒安装机构和推料机构,所述料盒安装机构用于安装料盒,所述推料机构用于将所述料盒内待清洗的物料推出,以及将清洗完成的物料推回所述料盒。所述推料机构包括推料模组、调整模组和推料件。所述推料...
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