深圳泰德半导体装备有限公司专利技术

深圳泰德半导体装备有限公司共有126项专利

  • 本实用新型涉及等离子清洗机技术领域,且公开了等离子清洗机片料自动预校准上料调整机构,包括底座,所述底座的顶部固定安装有等离子清洗机本体,所述等离子清洗机本体的正面与背面均固定安装有固定块,两个所述固定块相离的一侧均开设有滑槽,两个所述滑...
  • 本实用新型涉及振镜技术领域,且公开了一种新型自动校准振镜,包括操作台,所述操作台的顶部焊接有放置台,所述放置台的外部焊接有支撑臂,所述支撑臂的内部滑动连接有滑杆,所述滑杆的一端焊接有夹板,所述支撑臂的顶部螺纹连接有固定杆。该新型自动校准...
  • 本实用新型提供一种等离子清洗装置,包括清洗机主体、蓄电池、水管、冷凝板、导热管、散热风扇、轴流泵、冷凝水存储箱、内腔、滑动块以及电动伸缩杆,蓄电池固定在清洗机主体内部左侧,水管安装在冷凝水存储箱上端面,轴流泵安装在水管下端面,冷凝水存储...
  • 一种激光晶圆切割机定位装置
    本实用新型提供一种激光晶圆切割机定位装置,包括激光晶圆切割机主体、工作箱、激光切割头、安装板、第一液压伸缩缸、第一挤压板、第二液压伸缩缸以及第二挤压板,工作箱设置在激光晶圆切割机主体左侧,激光切割头设置在激光晶圆切割机主体上端面左侧,安...
  • 一种激光晶圆切割装置
    本实用新型提供一种激光晶圆切割装置,包括底座、激光晶圆切割主体、激光切割头、工作板、旋转电机、传动轴、微电机、主动辊轮、传送带以及从动辊轮,底座设置在激光晶圆切割主体下侧、工作板安装在激光晶圆切割主体上端面,激光切割头贯穿在工作板上端面...
  • 一种晶圆激光标记定位检查装置
    本实用新型提供一种晶圆激光标记定位检查装置,包括第一支撑架、第一标签、第二标签、固定板、循环水管、回收箱、循环泵以及储水箱,所述第一支撑架安装在储存箱内部上侧,所述第一标签安装在第一支撑架前端面,所述第二标签安装在储存箱前端面下侧,该设...
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