具有吸尘机构的晶圆ID打标设备制造技术

本实用新型专利技术公开一种具有吸尘机构的晶圆ID打标设备，包括机架、固定夹具、激光打标头以及吸尘机构。机架设有机台，所述机台设有打标工位；所述固定夹具设于所述打标工位，用于固定待打标的晶圆；激光打标头，所述激光打标头设于所述机架，所述激光打标头的出光口的朝向所述打标工位设置；所述吸尘机构设于所述固定夹具的外周缘，用以吸除打标过程中的烟尘。本实用新型专利技术技术方案旨在减少加工过程对加工车间环境的污染。间环境的污染。间环境的污染。

【技术实现步骤摘要】
具有吸尘机构的晶圆ID打标设备


[0001]本技术涉及激光打标设备
，特别涉及一种具有吸尘机构的晶圆ID打标设备。

技术介绍

[0002]晶圆也称作硅晶片，是硅半导体电路的重要的原材料。随着晶圆的广泛应用及发展，晶圆的加工厂商通常会通过在晶圆上打标开实现对于晶圆产品的质量跟踪溯源。现有的晶圆ID打标设备中，打标过程会产生烟尘，从而对加工间造成污染。

技术实现思路

[0003]本技术的主要目的是提供一种具有吸尘机构的晶圆ID打标设备，旨在减少加工过程产生的烟尘对加工车间的污染。
[0004]为实现上述目的，本技术提出的具有吸尘机构的晶圆ID打标设备，包括：
[0005]机架，所述机架设有机台，所述机台设有打标工位；
[0006]固定夹具，所述固定夹具设于所述打标工位，用于固定待打标的晶圆；
[0007]激光打标头，所述激光打标头设于所述机架，所述激光打标头的出光口的朝向所述打标工位设置；以及
[0008]吸尘机构，所述吸尘机构设于所述固定夹具的外周缘，用以吸除打标过程中的烟尘。
[0009]在本技术的一实施例中，所述吸尘机构包括：
[0010]吸尘件，所述吸尘件固定于所述固定夹具的外边缘，所述吸尘件设有多个吸尘孔；
[0011]负压风机，所述负压风机设于所述机架；以及
[0012]吸尘管道，所述吸尘管道的进风端与所述吸尘件连接，并与所述吸尘孔连通，所述负压风机与所述吸尘管道出风端连接。
[0013]在本技术的一实施例中，固定夹具设有进料侧，所述吸尘件围设于所述固定夹具的顶面的外边缘，并与所述进料侧相邻。
[0014]在本技术的一实施例中，所述吸尘机构还包括正压风机，所述正压风机固定于所述机架，并与所述吸尘件相对设置。
[0015]在本技术的一实施例中，所述吸尘件包括相邻设置的第一吸尘部和第二吸尘部，所述第一吸尘部与所述固定夹具的进料侧相邻设置，并与所述正压风机相对设置，所述第二吸尘部与所述固定夹具的进料侧相对设置。
[0016]在本技术的一实施例中，所述吸尘机构还包括固定架，所述固定架固定于所述机台表面，并位于所述固定夹具的外侧，所述第一吸尘部、所述第二吸尘部以及所述正压风机均固定于所述固定架的表面。
[0017]在本技术的一实施例中，所述正压风机内为负离子风机。
[0018]在本技术的一实施例中，所述具有吸尘机构的晶圆ID打标设备还包括设于所
述机台的多个料盒和移料机构，所述料盒用于放置晶圆，所述移料机构可在多个所述料盒和所述打标工位之间移动。
[0019]在本技术的一实施例中，所述移料机构包括：
[0020]底座，所述底座设于所述机架，并位于所述安装位；和
[0021]两移料机械手，两所述移料机械手均固定于所述底座，并可伸出所述机台，两所述移料机械手可分别相对所述底座转动或移动设置。
[0022]本技术技术方案中的具有吸尘机构的晶圆ID打标设备包括机架、固定夹具、激光打标头以及吸尘机构。其中，机架设有机台，机台为晶圆打标的工作台面。打标工位固定有固定夹具，固定夹具用于固定待打标的晶圆。激光打标头的出光口的朝向打标工位设置，以使得从出光口射出激光能投射于待打标的晶圆的表面，从而融化晶圆表面的材质，在晶圆的表面形成有标识。吸尘机构设于固定夹具的外周缘，用以吸除打标过程中的产生的烟尘，以避免烟尘在机架周围弥漫，从而降低烟尘对加工车间的污染，提升加工车间环境的舒适性。
附图说明
[0023]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
[0024]图1为本技术具有吸尘机构的晶圆ID打标设备立体图；
[0025]图2为图1中吸尘机构和固定夹具的结构示意图。
[0026]附图标号说明：
[0027][0028]本技术目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
[0029]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0030]需要说明，本技术实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后
……
)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
[0031]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“固定”等应做广义理解，例如，“固定”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0032]另外，在本技术中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，全文中出现的“和/或”的含义为，包括三个并列的方案，以“A和/或B为例”，包括A方案，或B方案，或A和B同时满足的方案。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本技术要求的保护范围之内。
[0033]本技术提供一种具有吸尘机构的晶圆ID打标设备100。
[0034]参照图1和图2，在本技术的一个实施例中，还具有吸尘机构的晶圆ID打标设备100包括机架10，所述机架10设有机台11，所述机台11设有打标工位13；
[0035]固定夹具20，所述固定夹具20设于所述打标工位13，用于固定待打标的晶圆；
[0036]激光打标头70，所述激光打标头70设于所述机架10，所述激光打标头70的出光口71的朝向所述打标工位13设置；以及
[0037]吸尘机构80，所述吸尘机构80设于所述固定夹具20的外周缘，用以吸除打标过程中的烟尘。
[0038]本技术技术方案中的具有吸尘机构的晶圆ID打标设备100包括机架10、固定夹具20、激光打标头70以及吸尘机构80。其中，机架10设有机台11，机台11为晶圆打标的工作本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有吸尘机构的晶圆ID打标设备，其特征在于，包括：机架，所述机架设有机台，所述机台设有打标工位；固定夹具，所述固定夹具设于所述打标工位，用于固定待打标的晶圆；激光打标头，所述激光打标头设于所述机架，所述激光打标头的出光口的朝向所述打标工位设置；以及吸尘机构，所述吸尘机构设于所述固定夹具的外周缘，用以吸除打标过程中的烟尘。2.如权利要求1所述的具有吸尘机构的晶圆ID打标设备，其特征在于，所述吸尘机构包括：吸尘件，所述吸尘件固定于所述固定夹具的外边缘，所述吸尘件设有多个吸尘孔；负压风机，所述负压风机设于所述机架；以及吸尘管道，所述吸尘管道的进风端与所述吸尘件连接，并与所述吸尘孔连通，所述负压风机与所述吸尘管道出风端连接。3.如权利要求2所述的具有吸尘机构的晶圆ID打标设备，其特征在于，固定夹具设有进料侧，所述吸尘件围设于所述固定夹具的顶面的外边缘，并与所述进料侧相邻。4.如权利要求3所述的具有吸尘机构的晶圆ID打标设备，其特征在于，所述吸尘机构还包括正压风机，所述正压风机固定于所述机架，并与所述吸尘件相对设置。5.如权利要求4所述的具有吸尘机构的晶圆ID打标设备...

【专利技术属性】
技术研发人员：李志强，李文强，杨建新，朱霆，盛辉，周学慧，张凯，
申请(专利权)人：深圳泰德半导体装备有限公司，
类型：新型
国别省市：