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本实用新型公开一种具有吸尘机构的晶圆ID打标设备，包括机架、固定夹具、激光打标头以及吸尘机构。机架设有机台，所述机台设有打标工位；所述固定夹具设于所述打标工位，用于固定待打标的晶圆；激光打标头，所述激光打标头设于所述机架，所述激光打标头的出...
该专利属于深圳泰德半导体装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳泰德半导体装备有限公司授权不得商用。

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